公开(公告)号：CN108170103A

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201611116100.6

申请日：2016-12-07

申请人： 沈阳中科博微科技股份有限公司

发明人： 曹阳 ,  祁峰 ,  杨娇 ,  姚呈呈 ,  闫洪旭 ,  白媛 ,  姬小兵 ,  徐增利 ,  王晶 ,  张丽丽

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： Y02P90/02 ,  Y02P90/18 ,  G05B19/4183

摘要： 本发明涉及一种集成电路生产线上设备常量监控的方法，配置设备常量数据文件，形成设备常量数据配置文件；获取设备常量数据配置文件的路径，并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件，读取设备常量数据配置文件的设备常量信息，存放入内存中；根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息，并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比，进行检查和校验，存储至服务器。本发明方法利用设备常量配置文件，从设备中实时读取对应的设备常量数据值，对读取的设备常量数据值进行范围校验，能够实现实时监控设备常量数据值是否出现异常的问题、具有很强的实时性和扩展性等特点。

公开(公告)号：CN108121303A

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201611077006.4

申请日：2016-11-30

申请人： 沈阳中科博微科技股份有限公司

发明人： 曹阳 ,  祁峰 ,  杨娇 ,  姚呈呈 ,  闫洪旭 ,  白媛 ,  姬小兵 ,  徐增利 ,  王晶 ,  张丽丽

IPC分类号： G05B19/418

摘要： 本发明公开一种应用于制造设备统计分析过程的日志记录方法，对制造现场获取的数据进行统计分析，所述的统计分析过程的日志记录方法主要包括以下步骤：步骤1，启动日志采集模块及统计分析过程模块；步骤2，连接现场设备传入待统计的数据；步骤3，分析待统计的数据并进行日志记录；步骤4，判断当前日志信息是否正常，若是正常日志信息，记录并输出到文件，若是异常日志信息，记录输出到文件并反馈到客户端。本发明实现了对制造设备的监控以及对统计分析过程中的异常分析，具有易于操作、实时性高等特点，增强了软件监测制造设备的通用性。