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公开(公告)号：CN108107680B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201611053164.6
申请日：2016-11-25
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Inventor： 洪旭东
Abstract: 本发明涉及半导体加工领域，具体地说是一种堆叠式涂胶显影系统，晶圆通过片盒卸装料机器人在片盒、增粘工艺塔和第一热处理工艺塔间传送，并通过第一上下层传输机器人在增粘工艺塔中的增粘单元和中转单元间传送，在不同工艺站组中，晶圆均通过上下叠置的显影工艺机器人与涂胶工艺机器人在热处理工艺塔和涂胶显影工艺塔间传送，不同工艺站组的热处理工艺塔通过传片单元传递晶圆，晶圆通过第二上下层运输机器人在第二显影工艺机器人、第二涂胶工艺机器人、晶圆中转站塔和边缘曝光单元间传送，晶圆通过接口站传送机器人在晶圆中转站塔和光刻机间传送。本发明具有机器人服务工艺单元数少、晶片传递方向唯一、设备占地面积小等特点。
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公开(公告)号：CN114435813A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202011214845.2
申请日：2020-11-04
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Abstract: 本发明属于电子半导体生产技术领域，特别涉及一种片盒保管搬运系统。包括片盒保管搬运机器人和片盒存储框架，其中片盒存储框架的一侧从上至下依次设有天车位、缓存位和人工位，另一侧设有装载设备；片盒保管搬运机器人设置于片盒存储框架内，用于片盒在各工位之间的传输。片盒存储框架的一侧设有与人工位相对应的推拉门，推拉门上设有安全门锁；片盒存储框架上设有用于控制安全门锁开合的取片盒按钮和放片盒按钮。本发明的片盒存储框架配合片盒保管搬运机器人可以设计两列缓存区，增加了片盒的存储量，满足高产能的要求。片盒存储框架上的人工位可以在天车出现故障时，由人工将片盒取出和放置到人工位上。
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公开(公告)号：CN111796493A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010768885.5
申请日：2020-08-03
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块，设置于所述载体块和所述接口块之间，且包括第一液体处理模块以及设置于所述第一液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括四层层叠设置的第一热处理单元，所述第一液体处理模块包括四层层叠设置的第一液体处理单元，所述第二热处理模块包括四层层叠设置的第二热处理单元，且每一个单元均具有一个相适配的机械手。所述涂胶显影设备中，大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。
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公开(公告)号：CN110161804A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910542776.9
申请日：2019-06-21
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Inventor： 洪旭东
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种涂胶显影设备，所述涂胶显影设备包括片盒单元、增粘工艺单元、涂胶显影工艺单元、接口单元和热处理工艺单元。所述涂胶显影工艺单元内设置有第一显影工艺机械手、第二显影工艺机械手以及涂胶工艺机械手，且所述第一显影工艺机械手、所述第二显影工艺机械手以及所述涂胶工艺机械手在所述涂胶显影单元内上下排列设置，一方面，合理利用了纵向空间，使得结构紧凑，减小了占地面积，另一方面有利于合理利用光刻机的产能，提高了工作效率。本发明还提供了一种涂胶显影系统。
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公开(公告)号：CN110161804B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN201910542776.9
申请日：2019-06-21
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Inventor： 洪旭东
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种涂胶显影设备，所述涂胶显影设备包括片盒单元、增粘工艺单元、涂胶显影工艺单元、接口单元和热处理工艺单元。所述涂胶显影工艺单元内设置有第一显影工艺机械手、第二显影工艺机械手以及涂胶工艺机械手，且所述第一显影工艺机械手、所述第二显影工艺机械手以及所述涂胶工艺机械手在所述涂胶显影单元内上下排列设置，一方面，合理利用了纵向空间，使得结构紧凑，减小了占地面积，另一方面有利于合理利用光刻机的产能，提高了工作效率。本发明还提供了一种涂胶显影系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114435935A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202011214239.0
申请日：2020-11-04
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
IPC: B65G47/90
Abstract: 本发明属于电子半导体生产技术领域，特别涉及一种片盒保管搬运设备。包括片盒保管搬运机器人；片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构、Z轴驱动机构及R轴驱动机构，其中R轴驱动机构包括旋转驱动机构、大臂、小臂及端拾器，旋转驱动机构通过Z轴滑板与Z轴驱动机构连接；大臂的后端与旋转驱动机构连接，大臂的前端与小臂的后端转动连接，小臂的前端与端拾器转动连接；旋转驱动机构驱动大臂转动，大臂带动小臂反向转动，从而带动端拾器沿R轴方向平移。本发明的R轴驱动机构能够使端拾器在水平方向上前后移动，使得机器人具有X轴、Z轴和R轴三个方向的自由度，更加灵活，增大了抓取范围。
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公开(公告)号：CN109254504B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201710573077.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
IPC: G03F7/30 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明涉及半导体生产领域，具体地说是一种可扩展连接多台光刻机的涂胶显影设备系统，包括涂胶显影设备、晶圆传输模块、接口站模块和光刻机，其中各个接口站模块通过晶圆传输模块依次串联，所述光刻机与所述接口站模块一一对应连接，涂胶显影设备与起始端的接口站模块相连，所述接口站模块上设有转移晶圆用的接口站机器人，所述晶圆传输模块内设有晶圆传输机构，所述晶圆传输模块两端分别通过可伸缩的框架长度调节组件与两侧的接口站模块连接。本发明具有模块化结构特点，并通过模块堆叠实现两个或多个光刻机的拓展联机功能，同时还能够适应机台间距安装误差。
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公开(公告)号：CN108962804B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201710356787.9
申请日：2017-05-19
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明涉及一种不间断式进片回片装置，在底部设置LOAD PORT，从左向右依次为第一LOAD PORT、第二LOAD PORT、第三LOAD PORT和第四LOAD PORT，在第一LOAD PORT和第四LOAD PORT的对应上方分别设置第一缓存区和第二缓存区，用于临时存放FOUP缓存；在第一缓存区和第二缓存区的对应上方分别设置出片区和进片区，用于天车取放FOUP；还包括传送机构，用于在LOAD PORT、缓存区、进片区、出片区之间传递FOUP，设置于与LOAD PORT和缓存区所在平面不同且平行的平面内。本发明采用平面内FOUP交换功能，大大提高空间利用率，节省资源；采用双侧单独内循环方式进行循环，增加FOUP利用率；避免由于多单元换片盒时，片盒都空载等待回片而短时间不能进片的影响，实现无间断连续送片。
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公开(公告)号：CN111796492A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010768884.0
申请日：2020-08-03
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块包括液体处理模块以及设置于所述液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括两层层叠设置的第一热处理单元，所述液体处理模块包括四层层叠设置的液体处理单元，所述第二热处理模块包括两层层叠设置的第二热处理单元，且每一层所述第一热处理单元和每一层所述第二热处理单元均具有两个相适配的机械手；第二工艺模块与所述第一工艺模块的结构相同，且与所述第一工艺模块对称设置，大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。
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公开(公告)号：CN111796493B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202010768885.5
申请日：2020-08-03
Applicant: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块，设置于所述载体块和所述接口块之间，且包括第一液体处理模块以及设置于所述第一液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括四层层叠设置的第一热处理单元，所述第一液体处理模块包括四层层叠设置的第一液体处理单元，所述第二热处理模块包括四层层叠设置的第二热处理单元，且每一个单元均具有一个相适配的机械手。所述涂胶显影设备中，大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。
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