公开(公告)号：CN118026647B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410120829.9

申请日：2024-01-29

申请人： 河南东微电子材料有限公司

发明人： 李心然 ,  王永超 ,  赵泽良 ,  王伟涛 ,  冯越 ,  段于奇 ,  李洋洋 ,  郭薛可 ,  张亚萌 ,  王留土 ,  范振清 ,  史豪杰 ,  郑海强

IPC分类号： C04B35/053 ,  C04B35/622 ,  C04B35/64 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

摘要： 本发明涉及陶瓷靶材技术领域，具体涉及一种高透明氧化镁靶材及其制备方法。所述靶材由大颗粒和小颗粒两种氧化镁粉末以及粘结剂制备而成，所述大颗粒和小颗粒氧化镁粉末的用量比例为6～8:3，所述大颗粒氧化镁粉末的平均粒径为140～270nm，小颗粒氧化镁粉末的平均粒径为20～30nm。所述的高透明氧化镁靶材的制备方法包括以下步骤：(1)将大颗粒和小颗粒两种氧化镁粉末进行混合；(2)将步骤(1)混合后的氧化镁进行模压成型，得到氧化镁素坯；(3)将步骤(2)中所得的氧化镁素坯进行低温烘烤；(4)将步骤(3)中进行低温烘烤过的氧化镁素坯进行常压烧结；(5)将步骤(4)中所得的氧化镁烧结体进行热等静压烧结即得。

公开(公告)号：CN118026647A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410120829.9

申请日：2024-01-29

申请人： 河南东微电子材料有限公司

发明人： 李心然 ,  王永超 ,  赵泽良 ,  王伟涛 ,  冯越 ,  段于奇 ,  李洋洋 ,  郭薛可 ,  张亚萌 ,  王留土 ,  范振清 ,  史豪杰 ,  郑海强

IPC分类号： C04B35/053 ,  C04B35/622 ,  C04B35/64 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

摘要： 本发明涉及陶瓷靶材技术领域，具体涉及一种高透明氧化镁靶材及其制备方法。所述靶材由大颗粒和小颗粒两种氧化镁粉末以及粘结剂制备而成，所述大颗粒和小颗粒氧化镁粉末的用量比例为6～8:3，所述大颗粒氧化镁粉末的平均粒径为140～270nm，小颗粒氧化镁粉末的平均粒径为20～30nm。所述的高透明氧化镁靶材的制备方法包括以下步骤：(1)将大颗粒和小颗粒两种氧化镁粉末进行混合；(2)将步骤(1)混合后的氧化镁进行模压成型，得到氧化镁素坯；(3)将步骤(2)中所得的氧化镁素坯进行低温烘烤；(4)将步骤(3)中进行低温烘烤过的氧化镁素坯进行常压烧结；(5)将步骤(4)中所得的氧化镁烧结体进行热等静压烧结即得。

公开(公告)号：CN221791086U

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202323454355.1

申请日：2023-12-18

申请人： 河南东微电子材料有限公司

发明人： 王永超 ,  赵泽良 ,  贾时君 ,  卢俊男 ,  李心然 ,  冯越 ,  郭薛可 ,  王静 ,  段于奇 ,  王天会 ,  李洋洋 ,  陈渊博 ,  张亚萌 ,  张霖

IPC分类号： B23B39/14 ,  B23B47/00 ,  B23Q3/06

摘要： 本实用新型涉及精密机加工技术领域，尤其为一种镁靶材加工用精密机加工装置，包括工作板，所述工作板的上端安装有固定组件，所述固定组件的一侧且位于工作板的上端安装有第一安装块，所述第一安装块的内壁上安装有第一电控伺服模组，所述第一电控伺服模组移动端的外壁上安装有第二安装块，所述第二安装块的内壁上安装有第二电控伺服模组，本实用新型通过设置固定组件中的移动夹持块和丝杆，工作人员再利用把手转动丝杆将移动夹持块移动到最大，工作人员再将镁靶材放到固定夹持块和移动夹持块之间，工作人员再利用把手转动丝杆将移动夹持块慢慢移动到镁靶材旁，工作人员再利用把手转动丝杆将移动夹持块慢慢将注镁靶材紧固定即可。

公开(公告)号：CN215237614U

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202120832898.4

申请日：2021-04-22

申请人： 河南东微电子材料有限公司

发明人： 王永超 ,  赵泽良 ,  王伟涛 ,  郭薛可 ,  任慧芳 ,  孙清博 ,  李伟

IPC分类号： B22C9/06 ,  B22C9/22 ,  B22D33/04 ,  B22D29/04

摘要： 本实用新型公开了钴铁硼靶材制备加工装置，包括盖模以及底模，所述盖模上固定安装有滑套，所述底模上固定安装有固定板，所述固定板上通过滑动机构安装有转板，所述转板上固定安装有滑杆，所述滑杆与滑套之间为贯穿滑动连接，所述转板上固定安装有一个弹簧杆一，所述弹簧杆一远离转板的一端上固定安装有垫片，所述垫片与滑套之间为滑动连接，所述滑套上开设有与垫片相配合的环轨。优点在于：可使得盖模与底模自动弹开，避免人工手动分离盖模与底模的操作，大大减小了高温对操作人员带来的危害，有效的提高了本装置的安全性，同时还替代了原始使用高压气泵脱模的方式，降低了脱模成本，同时还可避免高压气体对成品造成的影响。

公开(公告)号：CN221953091U

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202420505868.6

申请日：2024-03-15

申请人： 河南东微电子材料有限公司

发明人： 赵泽良 ,  王永超 ,  冯越 ,  李心然 ,  段于奇 ,  王天会 ,  李洋洋 ,  郭薛可

IPC分类号： B24B41/06

摘要： 本实用新型涉及方形靶材加工技术领域，特别是一种用于方形靶材磨床固定装置，包括固定主座，所述固定主座的底面开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有磁吸块，所述固定主座外部的两端均转动安装有转动座。本实用新型的优点在于：固定主座外部的两端转动安装有转动座，两个转动座的内部均滑动安装有移动座，两个移动座外侧的一端均转动安装有夹杆，两个移动座外侧的另一端均螺纹安装有螺纹杆，其一端转动安装有撑杆，撑杆与夹杆滑动配合，通过调整撑杆的位置，能够使两个夹杆向外打开，在两个夹杆的外端均转动安装有夹座，将靶材放在两个夹座之间，可对靶材进行夹紧固定，避免靶材滑动，方便对靶材表面进行打磨加工。