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公开(公告)号：CN117328025A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311274131.4
申请日：2023-09-28
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明公开了一种小尺寸靶材与背板的绑定方法，先将靶材与背板进行预处理；将双面导电布的A单面粘贴在背板焊接面上，加热背板和靶材焊接面到恒定温度；开启超声波振动仪施加到背板焊接面的导电布B单面上；撕开B单面上的离型纸，将靶材对接到背板焊接面上，开启加热振动平台，并在靶材上施加配重，恒温加热后按冷却，即完成绑定。本发明中的绑定方法适用于六英寸及其以下的小尺寸靶材绑定，该绑定方法不会对靶材和背板造成污染，可降低残靶回收提纯成本，背板能进行重复使用，操作简单，不会造成靶材晶粒尺寸长大。通过该焊接方法得到的靶材与背板的焊合率大于99％，满足靶材溅射需求。
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公开(公告)号：CN117431510A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311325482.3
申请日：2023-10-13
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种磁旋存储用钴铁硼靶材的制备方法，包括称取中间合金粉高能球磨活化、镀钴处理、真空预热压、热等静压热压烧结、背板焊接等步骤。该方法能够很好地制备出高致密的符合磁旋存储用的钴铁硼靶材，在较低温度下成型且提高了钴铁硼靶材的透磁率(PTF)；并且真空预热压过程中增加的粉料排气过程能够有效地防止内裂纹产生，整体有效降低了真空热压温度、降低了经济成本。
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公开(公告)号：CN116878271A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310826541.9
申请日：2023-07-07
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： F27B14/04 , F27B14/10 , F27B14/14 , F27B14/20 , C04B35/453 , C04B35/622 , C04B35/64 , C23C14/35 , C23C14/34
摘要： 本发明公开了一种等离子体熔炼炉及高致密MgO靶材的制备方法。熔炼炉具有：炉体、氧化镁坩埚以及感应等离子枪，氧化镁坩埚嵌设在炉体内部，感应等离子枪竖直设置在氧化镁坩埚上方，其枪口置入氧化镁坩埚内。感应等离子枪包括氧化镁外管、石墨引发棒以及感应线圈组成，石墨引发棒穿设在氧化镁外管内，感应线圈套设在氧化镁外管外壁，感应等离子枪的上部连通至氩气源，感应等离子枪的下部枪口为等离子焰出口。本发明利用等离子熔炼工艺制备高致密MgO靶材，步骤少，周期短，能减少其他杂质的混入，能保证靶材高纯度，MgO靶材的致密度能达到99.99％以上。
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公开(公告)号：CN221390789U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202322886000.3
申请日：2023-10-26
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： B25B11/02
摘要： 本实用新型涉及直线电机组装技术领域，特别是一种用于固定直线电机钕铁硼磁铁块的夹具，包括夹具立板，所述夹具立板外部上下方的两侧均开设有插孔，两组所述插孔的内部均安装有支撑杆，两组所述支撑杆的上方均放置有磁铁块，所述夹具立板外部中位的上下方均安装有可上下往复运动的移动块。本实用新型的优点在于：夹具立板外部的一侧安装有两组支撑杆，其可对磁铁块进行支撑，在夹具立板外部的上下方均安装有可上下往复运动的移动块，移动块的外侧安装有导向杆，其外部安装有压筒，可由压筒压住磁铁块，避免其上下跳动，在压筒的外端安装有固定板，压筒向里收回，可夹紧磁铁块，使得磁铁块不会前后晃动，方便同时对两个磁铁块进行充磁。
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公开(公告)号：CN221956222U
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202323370041.3
申请日：2023-12-11
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及电化学镀铝技术领域，尤其为一种镁靶材电化学镀铝装置，包括移动连接架，所述移动连接架的底部连接有可切换式升降结构，所述移动连接架的端面上连接有控制器，所述可切换式升降结构包括驱动电机，所述驱动电机连接在移动连接架的底部，所述驱动电机的驱动端通过联轴器连接有驱动杆，本实用新型通过在镁靶材电化学镀铝装置中设置可切换式升降结构,从而利用可切换式升降结构中的驱动电机经过传动结构使得电镀效率提高的设计，从而使得在镁靶材电化学镀铝装置使用的过程中，可以在电镀的同时，进行材料的下挂和上挂的工作，从而节约了电镀的时间，继而提高了工作的效率，从而解决了工作效率低的问题。
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公开(公告)号：CN221387843U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202323070349.6
申请日：2023-11-14
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及靶材加工技术领域，尤其为一种靶材超声振动清洗装置，包括机架，所述机架顶部一侧设置有操作台，所述机架内部设置有便于使用组件；所述便于使用组件包括设置于机架内部底端中部的超声波发生器，所述机架内部顶部设置有清洗箱，所述清洗箱下端设置有超声波换能器，所述机架顶部两侧均设置有滑槽箱，本实用新型中，通过设计一种靶材超声振动清洗装置，利用伸缩缸伸缩带动一端滑块移动从而带动清洗槽进行上下移动到清洗箱内部，便于靶材放入到清洗箱内部超声清洗，通过清洗槽上移到机架顶端外部，通过气缸伸缩带动一端的支撑板下移，通过风机与电热管使靶材进行烘干，操作简单，更加便于使用。
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公开(公告)号：CN221408637U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202322926979.2
申请日：2023-10-31
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： H02K15/03
摘要： 本实用新型涉及直线电机组装技术领域，特别是一种用于直线电机钕铁硼磁铁块的定位装置，包括多个弧卡板，多个所述弧卡板均为弧形，其可围成圆形，且相邻的二者之间卡接，多个所述弧卡板的内弧面均安装有磁铁块，多个所述弧卡板内弧面的两侧均安装有多个夹板，多组所述夹板分别位于所述磁铁块外部的两侧。本实用新型的优点在于：磁铁块安装在弧卡板上，弧卡板内弧面的两侧均开设有多个卡口，在卡口的内部安装有夹板，其可对磁铁块进行夹紧，且改变夹板的安装位置，能够对不同尺寸的磁铁块进行夹紧，在弧卡板外弧面中位的上下方均安装有弹板，通过弹板可将弧卡板卡装在电机壳的内部，达到对磁铁块进行定位安装的目的，且便于进行安装和拆卸。
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公开(公告)号：CN221210458U
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202323162337.6
申请日：2023-11-21
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及焊接设备技术领域，尤其为一种大尺寸靶材与背板焊接防变形装置，包括放置架，所述放置架的内部设置有防变形机构，所述放置架的内部且在防变形机构的底部固定连接有电动滑轨，所述电动滑轨的外壁安装有滑台，所述滑台的顶部固定连接有卡块，所述放置架的正面安装有控制器，所述放置架的外壁且在靠近控制器位置处安装有接线柱；所述防变形机构包括固定连接在放置架内部的固定板，所述固定板的内部滑动连接有连接杆，通过设计一种大尺寸靶材与背板焊接防变形装置，利用该装置中的防变形机构来防止大尺寸靶材发生形变，解决了现有的靶材背板焊接装置在焊接大尺寸靶材时，靶材容易因为焊接产生的热量发生形变，影响焊接效果的问题。
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公开(公告)号：CN221791086U
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202323454355.1
申请日：2023-12-18
申请人： 河南东微电子材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及精密机加工技术领域，尤其为一种镁靶材加工用精密机加工装置，包括工作板，所述工作板的上端安装有固定组件，所述固定组件的一侧且位于工作板的上端安装有第一安装块，所述第一安装块的内壁上安装有第一电控伺服模组，所述第一电控伺服模组移动端的外壁上安装有第二安装块，所述第二安装块的内壁上安装有第二电控伺服模组，本实用新型通过设置固定组件中的移动夹持块和丝杆，工作人员再利用把手转动丝杆将移动夹持块移动到最大，工作人员再将镁靶材放到固定夹持块和移动夹持块之间，工作人员再利用把手转动丝杆将移动夹持块慢慢移动到镁靶材旁，工作人员再利用把手转动丝杆将移动夹持块慢慢将注镁靶材紧固定即可。
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公开(公告)号：CN221215332U
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202323309163.1
申请日：2023-12-05
申请人： 河南东微电子材料有限公司
IPC分类号： B65D61/00
摘要： 本实用新型涉及靶材固定技术领域，尤其为一种镁靶材包装固定装置，包括固定架，所述固定架的内壁设置有固定机构，所述固定架的外壁且在固定机构对应位置处转动连接有定位销，所述定位销的内部固定连接有内螺纹套筒；所述固定机构包括滑动连接在固定架内部的夹板，所述夹板的外壁且在固定架内固定连接有导向杆，所述夹板的外壁且在靠近导向杆位置处固定连接有压紧弹簧，所述夹板的外壁固定连接有缓冲垫，所述固定架的内部固定连接有转轴，所述转轴的外壁且在固定架的正面和背面均转动连接有托板，通过设计一种镁靶材包装固定装置，利用该装置中的固定机构来固定镁靶材，解决了现有的镁靶材包装固定装置对镁靶材的保护效果较差的问题。
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