公开(公告)号：CN106772802A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201710018465.3

申请日：2017-01-11

申请人： 浙江大学

发明人： 郝寅雷 ,  冯泽明 ,  丁君珂 ,  余辉 ,  李宇波 ,  周强 ,  江晓清 ,  杨建义

IPC分类号： G02B6/134

摘要： 本发明公开了一种具有降低模式耦合效应的玻璃基弯曲多模光波导制作方法。该方法的步骤如下：在玻璃基片上制作弯曲条形波导的掩膜，靠近曲率中心一侧的掩膜部分宽度大于远离曲率中心一侧的掩膜部分宽度；将有掩膜玻璃基片放入融熔的硝酸钾中保温，最终在玻璃基片表面形成钾离子扩散区；去除靠近曲率中心一侧的掩膜部分和远离曲率中心一侧的掩膜部分；将玻璃基片放入熔融的硝酸钠和硝酸银混合盐中进行Ag+‑Na+离子交换。本发明只需通过一次光刻的离子掩膜玻璃基光波导制作技术，实现不对称光波导的制作，对设备的要求大幅度降低，有效降低了工艺难度。

公开(公告)号：CN106772802B

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201710018465.3

申请日：2017-01-11

申请人： 浙江大学

发明人： 郝寅雷 ,  冯泽明 ,  丁君珂 ,  余辉 ,  李宇波 ,  周强 ,  江晓清 ,  杨建义

IPC分类号： G02B6/134

摘要： 本发明公开了一种具有降低模式耦合效应的玻璃基弯曲多模光波导制作方法。该方法的步骤如下：在玻璃基片上制作弯曲条形波导的掩膜，靠近曲率中心一侧的掩膜部分宽度大于远离曲率中心一侧的掩膜部分宽度；将有掩膜玻璃基片放入融熔的硝酸钾中保温，最终在玻璃基片表面形成钾离子扩散区；去除靠近曲率中心一侧的掩膜部分和远离曲率中心一侧的掩膜部分；将玻璃基片放入熔融的硝酸钠和硝酸银混合盐中进行Ag+‑Na+离子交换。本发明只需通过一次光刻的离子掩膜玻璃基光波导制作技术，实现不对称光波导的制作，对设备的要求大幅度降低，有效降低了工艺难度。