公开(公告)号：CN101261223B

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN200810060649.7

申请日：2008-04-15

Applicant: 浙江大学

Inventor： 余小燕 ,  王帆 ,  肖司淼 ,  王翔 ,  郝寅雷 ,  周强 ,  江晓清 ,  王明华 ,  杨建义

IPC: G01N21/41 ,  G02B6/13

Abstract: 本发明公开了一种基于狭缝波导的光微环谐振传感器的制作方法。利用光刻，氧化，干法腐蚀，SOI技术等半导体制造工艺，在同一衬底上制作一根基于狭缝结构的直波导和一个基于狭缝结构的微环波导，其中微环波导位于直波导的一侧，狭缝位于两波导平面的垂直方向，并制成空腔，微环内环里侧也刻蚀成空腔，且与狭缝相通。将生物/化学微流体注入微环内壁里侧空腔，改变了波导包层和狭缝的折射率，利用微环对不同折射率分布响应的谐振点不同的特性，结合狭缝波导结构，获得光能量集中，利于传感检测的谐振效果，从而有效地实现对不同生物/化学微流体的传感检测。在信息传感领域具有重要的实际应用价值。

公开(公告)号：CN101261223A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810060649.7

申请日：2008-04-15

Applicant: 浙江大学

Inventor： 余小燕 ,  王帆 ,  肖司淼 ,  王翔 ,  郝寅雷 ,  周强 ,  江晓清 ,  王明华 ,  杨建义

IPC: G01N21/41 ,  G02B6/10 ,  G02B6/13

Abstract: 本发明公开了一种基于狭缝波导的光微环谐振传感器及其制作方法。利用光刻，氧化，干法腐蚀，SOI技术等半导体制造工艺，在同一衬底上制作一根基于狭缝结构的直波导和一个基于狭缝结构的微环波导，其中微环波导位于直波导的一侧，狭缝位于两波导平面的垂直方向，并制成空腔，微环内环里侧也刻蚀成空腔，且与狭缝相通。将生物/化学微流体注入微环内壁里侧空腔，改变了波导包层和狭缝的折射率，利用微环对不同折射率分布响应的谐振点不同的特性，结合狭缝波导结构，获得光能量集中，利于传感检测的谐振效果，从而有效地实现对不同生物/化学微流体的传感检测。在信息传感领域具有重要的实际应用价值。