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公开(公告)号：CN116992760A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310890677.6
申请日：2023-07-19
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F30/27 , G06F30/398 , G06N3/08 , G06F119/02
Abstract: 本发明涉及一种用于晶圆沉积膜厚度工艺预测和解释的方法及系统，所述方法包括：获取生产线数据，对所述生产线数据进行预处理，生成样本数据；将所述样本数据输入至CatBoost模型进行预测，输出预测结果；利用SHAP模型对所述样本数据进行处理，结合所述预测结果，从局部可解释性和全局可解释性两个角度，分析所述样本数据中的特征对所述预测结果的影响程度，生成分析结果。其有益效果是，本方法及系统加强了模型预测结果的可信性，本领域技术人员可依据预测结果，及时对生产设备参数做出调整，从而减少晶圆工艺过程中的偏差，达到了节约晶圆工艺成本，优化晶圆工艺流程的目的。
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公开(公告)号：CN109085224B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN201810982280.9
申请日：2018-08-27
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N27/327
Abstract: 本发明公开了一种用于细胞表面区域ATP检测的敏感微电极。它包括绝缘层、第一导电层和开孔层；所述的第一导电层设置于绝缘层上表面，第一导电层中包含一组或多组电极、信号线和焊盘，电极通过信号线与焊盘相连；所述的开孔层覆盖于第一导电层的上方，且在所述的电极上方位置开设有通孔，所述通孔的孔壁与下方的电极上表面构成敞口的槽腔；所述槽腔内设有与下方电极接触的第二导电层，第二导电层上表面与通孔的孔壁共同围合成不透水的液体盛装凹槽，且第二导电层的上表面分布有若干个百纳米级凹坑。本发明的敏感微电极实现了单细胞表面区域的ATP释放的检测，且响应速率快，灵敏度高，在研究单细胞ATP释放机理方面有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN116756662A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310755878.5
申请日：2023-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F18/243 , G06N3/006 , G06F18/15 , G06Q50/04
Abstract: 本发明公开了一种基于哈里斯鹰算法优化随机森林的良率预测方法及系统，方法包括：获取历史晶圆允收测试数据集；对历史晶圆允收测试数据集中的允收测试数据进行预处理，得到允收测试样本集；通过哈里斯鹰算法迭代优化随机森林模型的关键框架参数并基于关键框架参数对随机森林模型进行修改，构建晶圆良率预测预训练模型；基于允收测试样本集对晶圆良率测试预训练模型进行训练，得到晶圆良率预测模型；将待测允收测试数据输入晶圆良率预测模型中，得到预测结果。本发明能够降低良率预测成本，提高良率预测准确性。
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公开(公告)号：CN109030600B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201810854287.2
申请日：2018-07-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N27/327 , B81B1/00 , B81B7/00
Abstract: 本发明公开了一种可打磨的微电极阵列及其封装和使用方法，属于传感器领域。微电极阵列包括电极引出电路板和微电极簇，电极引出电路板的上表面中心设有若干个相互绝缘的电极触点组成的触点阵列，电极引出电路板的上表面沿周向边缘分布有若干个相互绝缘的外部触点，每个电极触点通过内部导线最多与1个外部触点相连；微电极簇由多根相互绝缘分离的微电极组成，通过环氧树脂封装固定在电极引出电路板的上表面；每根微电极呈线形，末端通过固定件固定于一个电极触点上且微电极与电极触点构成电连接，尖端延伸至环氧树脂封装的上表面。本发明可以实现微电极的高效利用，提高使用效率和便捷度，在微电极研究领域有着较好的实用价值。
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公开(公告)号：CN110490760B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN201910671818.9
申请日：2019-07-24
Applicant: 国网浙江省电力有限公司 , 浙江大学
Abstract: 本发明为一种基于隐马尔科夫链的非侵入式电器负荷辨识方法，公开了一种基于隐马尔科夫模型的非侵入式用户负荷辨识算法。构建电器负荷模型的隐藏状态数量，统计所有电器的挡位状态和每个电器的挡位状态的数量；构建模型观测序列取值范围，计算电器的最大总和功率；确定转移状态矩阵，统计每两个隐藏状态之间的转换概率组成转移矩阵；统计隐藏状态的耗电功率，得到隐藏状态到观测序列的发射矩阵；统计各个隐藏状态在电器用电过程中出现的概率，组成每个隐藏状态的初始概率向量；获取当前电表的读数为当前观测序列，处理获得最优隐藏状态，得到每个电器当前的使用情况。本发明方法简单有效，获得用户的用电情况，不需要部署太多的传感器，也不需要高频采样，并对负荷过高进行预警，降低用电风险。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112327100A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011194611.6
申请日：2020-10-30
Applicant: 浙江大学 , 国网浙江省电力有限公司
Abstract: 本发明提供的一种基于物联网的电力故障检测方法，包括：物联网节点实时接收故障检测设备输出的检测信号；物联网节点根据接收到的检测信号进行预警优先级判断，并将该节点下的各检测信号中所包含的故障信息按照预警优先级从大到小进行排列，物联网节点将故障信息按照排列顺序发送至监管服务器；监管服务器接收各物联网节点发送的故障信息，监管服务器将各物联网节点各优先级的故障信息进行再次预警优先级判断，找出所有节点中优先级最高的故障信息进行解析处理，并输出处理结果发送至下位维检终端；能够对电力设备的故障参数进行实时采集，并能够及时上传至监控中心进行处理，确保数据采集的实时性、全面性。
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公开(公告)号：CN104780657A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201510111961.4
申请日：2015-03-13
Applicant: 浙江大学
IPC: H05B37/02
CPC classification number: Y02B20/42
Abstract: 本发明公开了一种植物工厂用大规模LED光源控制器，它由处理器模块以及与其相连的SD卡模块、网络控制器模块、FPGA模块、LCD模块和红外接收模块组成。FPGA模块提供对LED光源的快速控制功能；网络控制器模块可接入互联网，实现远程网络控制功能，亦可多控制器互联，实现超大规模LED光源的统一控制管理；SD卡模块能够存储光源控制数据，提供脱机自动控制功能；智能化处理器模块可实现智能化无人管理功能。本发明能够为不同植物生长阶段提供各自所需的光质、光强、光周期，提高了光源的利用率；网络化功能实现了LED光源的远程集群管理，大大提高人员工作效率；智能无人管理功能，可大幅节省生产成本。
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公开(公告)号：CN103177248A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310132965.1
申请日：2013-04-16
Applicant: 浙江大学
IPC: G06K9/00
Abstract: 本发明公开了一种基于视觉的快速行人检测方法，该方法首先通过安装在车辆上的摄像头获取车辆前进道路上的视频图像，然后采用类哈尔特征作为行人描述特征，构建多尺度级联分类器作为行人检测器，采用串联级联策略实现快速的实时行人与非行人的分类识别，最后用非极大值抑制算法确定与行人特征最匹配的滑动窗口，确定行人的位置。若经过上述步骤判断后没有与行人特征相匹配的滑动窗口，则判断输入的图像中无行人。本发明方法将行人检测技术推向实用化，使行人检测技术能够适用于实际的工程应用中，如在安防视频监控领域、汽车主动防御安全领域均有巨大的适用前景。
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公开(公告)号：CN116662809A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310652271.4
申请日：2023-06-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F18/214 , G06F18/213 , G06N3/0464 , G06N3/126
Abstract: 本发明涉及一种基于CNN‑XGBoost‑GA模型的集成电路沉积膜厚预测方法，通过运用CNN的卷积层和池化层对提取的集成电路沉积膜特征数据集做归一化、卷积和池化处理，并按预设比例将池化后集成电路沉积膜特征数据集内所有数据随机划分为训练集、测试集和验证集，将用训练集、测试集和验证集训练验证处理后的XGBoost模型作为初始集成电路沉积膜厚预测模型，而后用GA算法对初始集成电路沉积膜厚预测模型做超参数优化，将具有全局最优解超参数的超参数优化后集成电路沉积膜厚预测模型作为最终的集成电路沉积膜厚预测模型，利用最终的集成电路沉积膜厚预测模型预测集成电路沉积膜厚，从而高效率且精准预测集成电路制造中膜厚沉积过程的薄膜厚度。
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