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公开(公告)号：CN118778380A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202411280459.1
申请日：2024-09-13
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种基于可控多点阵灰度刻写的双光子高通量直写装置和方法，该装置通过对微透镜阵列和数字微镜阵列的协同调控得到强度均一的焦点阵列，还通过像旋模块控制并行直写光斑阵列的旋向角度，通过控制旋向角度和刻线间距实现高精度的灰度刻写。该方法能够根据实际的灰度刻写需求调整设备的刻写策略，且刻写曝光过程位移台仅需保持匀速扫描，节省了平台重复加减速的时间，同时充分利用了飞秒激光光斑的入瞳能量，使得该方法兼具高通量大面积与2.5D高精度灰度刻写的优势，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN117369222A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311672579.1
申请日：2023-12-07
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法。本发明极紫外物镜装调全息图的制备系统通过光纤阵列结构的设计可以实现高通量，同一时间由于光纤阵列中有多根光纤，所以通量是常规刻写的多倍。本发明通过光纤阵列的设计，可以实现高通量刻写，提高刻写效率，同时能够生产出亚波长纳米结构的大面积计算全息片（CGH），进一步降低了计算全息片的特征线宽，线宽可以达到nm级别，采用亚波长纳米结构的大面积计算全息片，解决了现有极紫外光刻物镜系统中，非球面面形高精度检测需求。
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公开(公告)号：CN116879326B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311146883.2
申请日：2023-09-07
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： G01N23/041 , G01N23/083
摘要： 本发明公开一种基于多频条纹的X射线光学相衬成像系统及方法，系统包括：光源聚焦模块，X射线产生装置产生X射线被聚焦装置收集并聚焦；相位光栅模块包括第一光栅、第二光栅及第三光栅，相互平行，并且结构相同、厚度相同及光栅周期相同；探测器模块包括闪烁体、成像模块及图像采集模块，闪烁体接收不同频率的摩尔条纹，通过闪烁体表面成像以形成不同频率的摩尔条纹分布图像，图像采集模块采集摩尔条纹图像；处理模块进行分解，得到吸收衬度图像、暗场衬度图像及微分相位衬度图像。通过本方法解决了传统泰伯劳三光栅X射线光学相衬成像系统的光子利用率低、光源相干性差导致成像灵敏度低等问题；同时能够在成像速度快的同时得到质量(56)对比文件Siwei Tao等.Image Quality Improvementin Sparse-View X-Ray Phase-ContrastTrimodal CBCT With Multifrequency FringeModulation and Iterative Methods《.IEEETRANSACTIONS ON RADIATION AND PLASMAMEDICAL SCIENCES》.2023,第7卷(第6期),第650-661页.李冀等.基于级联光栅的 Ｘ 射线相衬成像实验研究《.光子学报》.2019,第48卷(第1期),第1-5页.
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公开(公告)号：CN117392025B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311684036.1
申请日：2023-12-11
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
摘要： 本发明公开一种X射线锥束CT位姿矫正方法、系统及装置，方法包括：获取多张X射线投影图像；对多张X射线投影图像进行分割预处理得到多张标定小球图像，基于多张标定小球图像得到所有标定小球的球心位置；得到矫正几何位姿参量，基于第三标定小球的球心位置得到摆放位置及旋转角，基于第二标定小球的球心位置与第一标定小球的球心位置之间的距离得到扭转角及倾斜角；基于矫正几何位姿参量对探测器的实际摆放位置及实际摆放角度进行矫正。本发明操作简单，几何位姿参量矫正只需一块几何位姿矫正标定板就可以实现对几何位姿参量的矫正，使得锥束CT系统后续的应用数据更加准确，同时对(56)对比文件韩玉;闫镔;李磊;李永丽;李建新.一种迭代的锥束CT螺旋轨迹几何参数标定算法.仪器仪表学报.2013,(第07期),全文.
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公开(公告)号：CN117289563A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311592943.3
申请日：2023-11-27
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种振幅型计算全息图实现装置及方法。本发明利用边缘光抑制的超分辨激光直写实现用于极紫外光刻物镜装调的大面积振幅型计算全息图克服了激光直写技术刻写精度的不足，对比电子束直写有着更高的效率，有着操作简便、成本低廉等优势。通过补偿模块在刻写中实时进行光功率与相位调制补偿，保证了刻写系统在刻写大面积振幅型计算全息图长时间工作的稳定性与刻写精度。
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公开(公告)号：CN116843596B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311083848.0
申请日：2023-08-28
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： G06T5/50
摘要： 本发明公开一种X射线光栅多模态图像自适应融合方法、系统与装置，方法包括：获取被测样品的吸收衬度图像、暗场衬度图像及微分相位衬度图像；并进行分解，得到对应的第一分解分量、第二分解分量及第三分解分量；分别进行融合前预处理，得到预处理后的结果；将预处理后的结果分别进行融合，得到第二融合经验模态分量和第二融合残差分量；进行细节增强处理得到第二增强经验模态分量，进行对比度增强处理得到第二增强残差分量；进行重建，并进行图像清晰度处理，得到重建图像。本发明解决了三种特征图像所反映的特征信息无法直接反映到统一结果之内的问题，融合后图像数据不受影响，具有直接在分解重建过程中进行图像降噪和增强的优势。
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公开(公告)号：CN116009017A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211624120.X
申请日：2022-12-15
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： G01S17/89 , G01S17/894 , G01S7/481 , G02B27/42 , G02B27/44
摘要： 本发明涉及光电探测技术领域，公开了一种基于光谱时空双编码的非视域成像系统与方法，宽谱脉冲激光器发射激光经过处理输出离散脉冲序列；将离散脉冲序列经过处理得到反射方向的线偏光，将反射方向的线偏光进行色散输出多个光束，多个光束在中继墙表面发生漫反射照射在被遮挡的隐藏物体表面，后又通过反射回到中继墙表面，在中继墙表面再次漫反射后的非视域三次回波光束经过空间色散元件被探测器进行采集；再由处理单元计算得到所需成像信息；本发明引入光谱时空双编码，利用时间编码和空间编码将照射点的空间位置信息与光子飞行时间信息同时编码在非视域三次回波的时间域中，实现非视域成像；具有快速无扫描、集成度高、重构精度高的优势。
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公开(公告)号：CN115856833A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211618045.6
申请日：2022-12-15
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： G01S7/481 , G01S7/4863 , G01S7/487 , G01S7/48 , G01S17/89
摘要： 本发明涉及光电探测技术领域，公开了一种基于分布式多通道并行探测的非视域成像系统，脉冲激光器发出激光后进行分束，得到透射光部分，透射光部分通过扫描振镜照射在中继墙表面，在中继墙表面发生漫反射后照射在隐藏物体表面；再次发生反射回到中继墙表面后通过扫描振镜、分布式光纤探测阵列被单光子探测器阵列所采集，处理单元根据探测信号计算所需成像信息；分布式光纤探测阵列包含中间探测通道、分布于中间探测通道侧壁外的多个边缘探测通道，多个边缘探测通道内设有光纤且通过光纤连接至单光子探测器阵列；边缘探测通道对应的边缘探测点与中继墙表面照射点之间的距离为预定值，以提升对应非视域三次回波光束的探测信号的信噪比。
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公开(公告)号：CN118135238A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410570392.9
申请日：2024-05-09
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
摘要： 本发明公开一种基于X射线衬度图像的特征提取方法、系统及装置，方法包括：获取待测样品的衬度图像，包括吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像；通过预处理及增强，得到增强后吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像；通过提取边缘特征及纹理特征，得到吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的边缘特征及纹理特征；基于吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的边缘特征并进行形状特征提取，得到吸收衬度图像、微分相位衬度图像及暗场衬度图像对应的形状特征。本方法解决传统特征提取方法主要针对光学或数字图像的问题，通过调整优化，适应X射线衬度图像的独特属性，实现全面、准确描述图像特征的目的。
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