公开(公告)号：CN119901754A

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202510345084.0

申请日：2025-03-24

Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心

Inventor： 杨青 ,  胡慧琴 ,  路天畅 ,  金伟正 ,  徐月暑 ,  崔玉栋 ,  匡翠方 ,  刘旭

IPC: G01N21/95 ,  G06T7/00 ,  G06V10/764 ,  G06V10/82 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/096 ,  G06N3/045

Abstract: 本发明公开一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括：双光梳光源模块、空间编码照明模块、时间编程控制模块、信号采集处理模块及数据分析处理模块，数据分析处理模块接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并进行分析，提取缺陷相关特征，建立光谱特征与缺陷之间的映射关系，对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类和位置信息。本发明采用基于双光梳时空编码的晶圆缺陷检测技术，利用双光梳干涉技术实现快速扫描和并行探测，大幅提高检测效率，本发明能够获得晶圆表面的绝对距离信息，将此结果反馈给精密气浮运动平台可以省去自动对焦光路系统及反馈控制部分，提高检测效率，降低整个晶圆检测系统的体积、复杂度和成本。

公开(公告)号：CN119395899A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202411841259.9

申请日：2024-12-13

Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心

Inventor： 包宜骏 ,  董超逸 ,  匡翠方 ,  刘家明 ,  张城玮 ,  赵公铭 ,  徐月暑 ,  徐良 ,  卞殷旭 ,  柏凌 ,  胡慧琴 ,  王依 ,  刘旭

IPC: G02B27/58 ,  G03H1/26 ,  G03H1/12 ,  G02B21/36

Abstract: 本发明公开一种复用SLM实现菲涅尔非相干相关全息超分辨显微系统及方法，系统包括：显微镜模块、起偏模块、空间光调制模块、全息探测模块及图像处理模块；显微镜模块使用光源照射样品并将样品光收集；起偏模块包括透镜及偏振单元，形成偏振样品光；空间光调制模块包括空间光调制器及转换单元，将第二调制样品光输入至全息探测模块中；全息探测模块包括第二四分之一波片、成像透镜单元及偏振相机，图像处理模块获取偏振图像集并进行处理，得到再现图像。本方法保持了波带片图案的完整性，解决了现有菲涅尔非相干相关全息技术中随机误差及像质减弱的问题，同时提高系统的灵活性。