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发明公开
基于二氧化碳/甲烷混合气碳源制备单晶金刚石的方法审中-实审

公开(公告)号：CN119392362A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202411536490.7

申请日：2024-10-31

Applicant: 浙江工业大学

Inventor： 胡晓君 , 杨睿生 , 陈成克 , 赵浩楠

IPC: C30B23/00 , C30B29/04

Abstract: 本发明公开了一种基于二氧化碳/甲烷混合气碳源制备单晶金刚石的方法，本发明提出采用微波等离子体化学气相沉积法，以CH4/CO2混合气为碳源，制备出高质量的单晶金刚石，并且显著提高了单晶金刚石生长速率；本发明解决了现有二氧化碳甲烷化转化率不高，转化后输出的二氧化碳/甲烷混合气体无法直接转变为高价值单晶金刚石的问题，该方法对于二氧化碳转化为金刚石具有重要意义。

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