公开(公告)号：CN221766697U

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202420287625.X

申请日：2024-02-07

申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司

发明人： 王树林 ,  李鹏飞 ,  张才琪 ,  张宇

IPC分类号： H01L21/22 ,  F27D1/00 ,  H01L31/18

摘要： 本实用新型公开了一种扩散炉的框架结构及扩散炉，涉及扩散炉技术领域。该扩散炉的框架结构包括支撑架、隔热组件和电气安装板，支撑架包括炉体安装区域和电气元件安装区域。隔热组件设于炉体安装区域和电气元件安装区域之间，隔热组件用于隔离炉体安装区域中的热量。电气安装板设于电气元件安装区域内，且电气安装板与隔热组件间隔设置。本实用新型提供的扩散炉的框架结构，不仅通过隔热组件对炉体安装区域内的热量进行物理隔热，阻挡热量向电气元件安装区域传递；而且通过将电气安装板与隔热组件间隔设置进行空气隔热，有效降低了热量的传递速度，相对于现有技术中的扩散炉的框架结构隔热效果更好。

公开(公告)号：CN221895190U

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202420287627.9

申请日：2024-02-07

申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司

发明人： 王树林 ,  李鹏飞 ,  张才琪 ,  张宇

IPC分类号： C30B31/10 ,  C30B31/16 ,  C30B31/18 ,  H01L21/67

摘要： 本实用新型公开了一种扩散炉，涉及半导体生产技术领域。该扩散炉包括炉体柜、反应室、废气箱和废气处理机构，反应室设于炉体柜内，反应室的一端设置有炉口，炉口设有可开关的炉门。废气箱设于反应室的一侧，且炉口朝向废气箱设置，炉门打开，反应室与废气箱连通，废气箱上设有排风口。废气处理机构设于炉体柜的顶部，与排风口连通。通过设置废气箱和废气处理机构，并将反应室的炉口朝向废气箱，炉门打开后，反应室与废气箱连通，反应室内反应后的残余气体进入废气箱内，并经排风口进入废气处理机构进行处理，保证反应后的残余气体不外泄，避免了残余气体对设备和外部环境的破坏以及对操作人员的健康产生的影响。