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公开(公告)号：CN110685007A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910963279.6
申请日：2019-10-11
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅生产技术，特别涉及直拉法生长硅单晶过程中测量晶体直径的方法。包括以下步骤：(1)设置CCD摄像机，根据原始热场设计获得参照物直径Ф1，晶体实际直径，记为Ф；(2)晶体实际生长过程中，CCD摄像机计算得到图像中参照物直径记为φ1，参照物在硅熔体表面的倒影直径φ2，晶体与液面交界面图像，将此时晶体直径记为φ；(3)CCD捕捉到图像中参照物在液面垂直投影直径可近似计算φ3＝(φ1+φ2)/2，直径Ф1＝Ф3，图像中φ/φ3＝Ф/Ф3＝Ф/Ф1，即Ф＝Ф1×(φ/φ3)＝Ф1×[2φ/(φ1+φ2)]。本发明装置最终实现准确测量晶体直径和实时测量，从而提高晶体直径控制精度和工艺稳定性。
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公开(公告)号：CN106119953B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201610791369.8
申请日：2016-08-31
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及直拉式单晶炉，旨在提供直拉式单晶炉硅料复投装置。该直拉式单晶炉硅料复投装置包括装料室和下料管，装料室分为至少两个料斗，每个料斗下方装有对应的合页门，每个合页门上安装有吊环，下料管的上方与装料室的下口套合安装，下料管的上部焊有十字提升条；装料室的上方设有装料室上盖板和装料室上法兰，装料室上盖板上布置有提升电机和气缸，提升电机通过钢丝绳连接十字提升条，用于控制下料管的升降，每个气缸分别通过钢丝绳与对应合页门上的吊环连接，用于控制对应合页门的开闭。本发明能通过一次抽真空，完成多次复投料，节省时间。
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公开(公告)号：CN106119953A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610791369.8
申请日：2016-08-31
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及直拉式单晶炉，旨在提供直拉式单晶炉硅料复投装置。该直拉式单晶炉硅料复投装置包括装料室和下料管，装料室分为至少两个料斗，每个料斗下方装有对应的合页门，每个合页门上安装有吊环，下料管的上方与装料室的下口套合安装，下料管的上部焊有十字提升条；装料室的上方设有装料室上盖板和装料室上法兰，装料室上盖板上布置有提升电机和气缸，提升电机通过钢丝绳连接十字提升条，用于控制下料管的升降，每个气缸分别通过钢丝绳与对应合页门上的吊环连接，用于控制对应合页门的开闭。本发明能通过一次抽真空，完成多次复投料，节省时间。
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公开(公告)号：CN110685007B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201910963279.6
申请日：2019-10-11
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅生产技术，特别涉及直拉法生长硅单晶过程中测量晶体直径的方法。包括以下步骤：(1)设置CCD摄像机，根据原始热场设计获得参照物直径Ф1，晶体实际直径，记为Ф；(2)晶体实际生长过程中，CCD摄像机计算得到图像中参照物直径记为φ1，参照物在硅熔体表面的倒影直径φ2，晶体与液面交界面图像，将此时晶体直径记为φ；(3)CCD捕捉到图像中参照物在液面垂直投影直径可近似计算φ3＝(φ1+φ2)/2，直径Ф1＝Ф3，图像中φ/φ3＝Ф/Ф3＝Ф/Ф1，即Ф＝Ф1×(φ/φ3)＝Ф1×[2φ/(φ1+φ2)]。本发明装置最终实现准确测量晶体直径和实时测量，从而提高晶体直径控制精度和工艺稳定性。
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公开(公告)号：CN206279282U
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201621271680.1
申请日：2016-11-25
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及直拉式单晶炉领域，旨在提供一种直拉式单晶炉硅料连续加料及加速化料装置。包括竖向圆筒状的料筒，其上部的悬吊支承结构的顶端设顶钩；转盘安装在支撑轴承上，中心固定设置竖向的驱动轴，驱动轴通过驱动连接件与转盘驱动装置连接；在转盘上设有异形孔，其一端能让料筒竖向穿过，另一端能将料筒的悬吊支承结构悬挂在转盘上；钢带升降装置的底部通过钢带连接至吊钩，吊钩的侧部设置与顶钩配合的卡装缺口。该装置能通过一次抽真空完成多次连续投料而不需要破坏真空，节省时间；大大减少了对驱动电机的要求，能防止转盘偏心、倾覆；能够有效防止料筒转动，避免料筒顶钩与钢带吊钩位置发生错位；实现多个工位不同工件的切换。
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公开(公告)号：CN206345942U
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201621469068.5
申请日：2016-12-29
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及直拉式单晶炉领域，旨在提供一种双开门式复投器。包括两端开口的中空圆筒形的料筒，在料筒底部的下法兰处设有双开门，两个开门均呈半圆形且相对设置，其圆弧形的中间位置设有转轴连接件；下法兰的外侧沿其径向相对设置两组支块，每组支块之间各贯穿设置一个转轴，所述转轴连接件活动安装在转轴上；两个开门由至少一套开门动作机构实现开关。该复投器采用平板结构的门，门下方设有支腿，方便料筒直立放置。采用双开门式结构，左边门和右边门可以做到90°打开，相较于圆锥台结构，可以做到下料时不卡料、不阻挡料。缓冲板的设置可以缓解装料和卸料时硅料对料筒的冲击，减少金属杂质污染。
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公开(公告)号：CN206052201U
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201621024055.7
申请日：2016-08-31
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及直拉式单晶炉，旨在提供一种直拉式单晶炉硅料复投装置。该种直拉式单晶炉硅料复投装置包括装料室和下料管，装料室分为至少两个料斗，每个料斗下方装有对应的合页门，每个合页门上安装有吊环，下料管的上方与装料室的下口套合安装，下料管的上部焊有十字提升条；装料室的上方设有装料室上盖板和装料室上法兰，装料室上盖板上布置有提升电机和气缸，提升电机通过钢丝绳连接十字提升条，用于控制下料管的升降，每个气缸分别通过钢丝绳与对应合页门上的吊环连接，用于控制对应合页门的开闭。本实用新型能通过一次抽真空，完成多次复投料，节省时间。
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