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公开(公告)号：CN109206015B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN201811167938.7
申请日：2018-10-08
申请人： 浙江矽瓷科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种低温、低电压阳极键合基板材料及其制备方法，所述阳极键合基板材料的组分包括A2O‑MOx‑SiO2，其中A为Li、Na、K中的至少一种；M为B、Al、Ga、In、Mg、Ca、P、V、Cu、Mn中的至少两种；A2O含量为10～50 wt%，MOx含量为5～40 wt%，SiO2含量为10～70 wt%，各组分含量之和为100wt%。
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公开(公告)号：CN108507621B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201810483326.2
申请日：2018-05-18
申请人： 浙江矽瓷科技有限公司
IPC分类号： G01D21/02
摘要： 本发明提供了一种基于LTCC的无源无线压力、温度集成传感器及其制备方法，解决现有传感器测量参数以及信号响应单一的问题。该传感器具备：相互层叠的无线压力敏感部和无线温度敏感部；无线压力敏感部包括：四层LTCC基板，其分别为中间层、位于中间层上、下方且各自带有对应空腔的第一、第二带空腔层、以及位于第二带空腔层下方的底层，中间层的上表面形成有平面电感和空腔平行板电容的第一电极，底层的上表面形成有空腔平行板电容的第二电极，两电极与第一、第二带空腔层的空腔对应；无线温度敏感部包括由LTCC基板构成的基层，基层的一面形成有平面热敏电感和平面叉指电容；压力敏感部与无线温度敏感部组成两个具有不同谐振频率的LC谐振回路。
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公开(公告)号：CN110272263B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201810204704.9
申请日：2018-03-13
申请人： 浙江矽瓷科技有限公司
IPC分类号： C04B35/10 , C04B35/465 , C04B35/50 , C04B35/622
摘要： 本发明涉及一种低温共烧陶瓷介质材料及其制备方法，所述LTCC介质材料的组分包括高烧结温度的氧化物介质材料和氧化物活化剂，所述氧化物活化剂的含量为1～20 wt%，余量为高烧结温度的氧化物介质材料；所述高烧结温度的氧化物介质材料为M的氧化物，其中，M为Mg、Al、Ti、Ca、Zr、Nd、MgTi、MgAl、CaTi、NdAl中的至少一种；所述氧化物活化剂的组分包括A的氧化物和B的氧化物，A为Zn、Cu、Mn、Sn、Fe、Co、Ni中的至少一种，B为V、Nb、Ta、Ti、Si中的至少一种，所述A的氧化物的质量含量占氧化物活化剂总质量的10～100 wt%。
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公开(公告)号：CN112390534A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201910740118.0
申请日：2019-08-12
申请人： 浙江矽瓷科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种可用于气密性封装的低温共烧低电压可阳极键合微晶玻璃材料及其制备方法和应用，其中，低温共烧的可阳极键合微晶玻璃材料为LAS基微晶玻璃，所述LAS基微晶玻璃的原料组成包括：40～67 wt%的SiO2、16～24 wt%的Al2O3、2.7～7 wt%的Li2O、0～5 wt%的B2O3、0～5 wt%的P2O5、0～4 wt%的TiO2、0～6 wt%的ZrO2、0～4 wt%的Na2O、0～5 wt%的K2O、0～4 wt%的Bi2O3和0～4 wt%的RxOy；其中，所述RxOy中的R为稀土元素或/和碱土金属元素，优选为Ce、Y、Ba、Mg、和La中的至少一种，x=1～2，y=2～5。
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公开(公告)号：CN110332880B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201910672192.3
申请日：2019-07-24
申请人： 浙江矽瓷科技有限公司
摘要： 本发明的目的是提供一种无线位移传感器，无线位移传感器包括两个谐振频率相同的无源无线LC谐振器，其中一个LC谐振器作为传感器定子，另一个LC谐振器作为传感器动子。动子能附着在被监测的位移体上并随之移动。动子与定子保持电磁耦合状态，此时，在信号读取端上呈现出奇模和偶模两个分裂的谐振频率信号；动子在传感器可检测的位移范围内移动时，动子与定子的电磁耦合状态会随之变化，奇模和偶模频率分裂差的大小也随之变化。动子与定子电磁耦合形成的奇模和偶模频率分裂差的大小作为无线位移传感器的位移敏感信号。
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