公开(公告)号：CN114318532B

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202210131827.0

申请日：2022-02-14

Applicant: 浙江精工集成科技股份有限公司

Inventor： 袁华中 ,  谢剑舟 ,  陈妙荣 ,  来迪文 ,  朱一鸣 ,  史冰冰

IPC: C30B29/06 ,  C30B15/00 ,  C30B15/20

Abstract: 本发明涉及一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法，包括固定部件、水平监测部件、控制部件和自适应调平部件。副炉室升降运动产生倾斜，水平监测部件监测到倾斜角度并与零位对比，并将结果反馈给控制部件。控制部件收集到水平监测部件发出的信号后，处理生成控制数据，并将控制指令发送至自适应调平部件。自适应调平部件中，电机收到控制指令后产生驱动力，经减速机减速后带动丝杆旋转，丝杆带动与丝杆螺母固定的拉力臂沿直线导轨前后运动，带动副炉室上端连接块随拉力臂移动，从而矫正副炉室的倾斜。本发明操作简单耗时少，可实时监测到工作状态下副炉室的倾斜幅度并快速进行自适应调整，有效保证各阶段、各工作状态下的副炉室法兰面水平。

公开(公告)号：CN114411241B

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202210245069.5

申请日：2022-03-11

Applicant: 浙江精工集成科技股份有限公司

Inventor： 袁华中 ,  朱吉元 ,  朱一鸣 ,  谢剑舟 ,  来迪文 ,  史冰冰

IPC: C30B15/02

Abstract: 本发明涉及一种单晶炉加料装置，通过控制直线模组将石英玻璃管定位到炉体内合适位置，将竖波纹管和装料单元连接后，将装料单元内抽真空，打开真空闸板阀，通过控制气缸将尼龙套移动到下位，装料单元中的硅料通过可伸缩非金属管、尼龙套和尼龙弯头后落入到具有一定倾斜角度的石英玻璃管中，通过电机控制传动装置带动石英玻璃管旋转，石英玻璃管内壁的螺旋状表面或槽筋状表面能够推送硅料顺利的进入到炉体内。本发明实现了在炉体不降温的情况下对炉内硅料的补充，减少炉子降温和升温过程中的能耗，节约时间成本；采用传动装置带动粗糙内壁的石英玻璃管旋转推送物料的方式，避免了对单晶炉内热场环境的影响，提升了产品品质。

公开(公告)号：CN108588825B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN201810733684.4

申请日：2018-07-06

Applicant: 浙江精工集成科技股份有限公司

Inventor： 谢剑舟 ,  袁华中 ,  卫国军 ,  朱一鸣 ,  金越顺

IPC: C30B28/06 ,  C30B29/06 ,  C30B33/02

Abstract: 本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种侧加热器可移动的铸锭炉及其铸锭工艺，包括炉体，位于炉体内的隔热笼，隔热笼内设置有通过护板围合并在其内有多晶硅的容腔；其特征在于：所述炉体内壁设置有搁置台，隔热笼搁置在搁置台上；所述隔热笼连接有提升装置，所述容腔的两侧设置有侧加热装置，所述提升装置和侧加热装置通过并联架同步连接于炉体外。本发明在铸锭的加热、熔化、长晶及退火阶段调节侧部加热器与石英坩埚的相对位置，来实现对多晶硅内部温度分布的有效控制，充分利用能量，并获得一个平坦的固液界面，从而实现节能、高效、高品质铸锭。