公开(公告)号：CN107112175A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580070708.7

申请日：2015-12-15

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 佐佐木达夫

IPC: H01J1/34 ,  H01J1/78 ,  H01J29/38 ,  H01J31/50 ,  H01J40/06 ,  H01J40/16

CPC classification number: H01J1/34 ,  H01J1/78 ,  H01J29/38 ,  H01J31/49 ,  H01J31/50 ,  H01J31/506 ,  H01J40/06 ,  H01J40/16 ,  H01J2201/3423 ,  H01J2201/3426 ,  H01J2231/50021

Abstract: 本发明的目的在于提高光电面的紫外波段的灵敏度，光电面(1)包括：透射紫外线的窗口材料(2)；在窗口材料(2)形成、具有导电性的导电膜(3)；在导电膜(3)形成、由MgF2构成的中间膜(4)；和在中间膜(4)形成、由CsTe构成的光转换膜(6)，因为光电面(1)具备由MgF2构成的中间膜(4)，所以紫外波段的灵敏度得到提高。

公开(公告)号：CN107112175B

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201580070708.7

申请日：2015-12-15

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 佐佐木达夫

IPC: H01J1/34 ,  H01J1/78 ,  H01J29/38 ,  H01J31/50 ,  H01J40/06 ,  H01J40/16

Abstract: 本发明的目的在于提高光电面的紫外波段的灵敏度，光电面(1)包括：透射紫外线的窗口材料(2)；在窗口材料(2)形成、具有导电性的导电膜(3)；在导电膜(3)形成、由MgF2构成的中间膜(4)；和在中间膜(4)形成、由CsTe构成的光转换膜(6)，因为光电面(1)具备由MgF2构成的中间膜(4)，所以紫外波段的灵敏度得到提高。