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公开(公告)号:CN111433654B
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN201880077473.8
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括支承部、第1可动部、第2可动部和第2连结部。第2可动部具有:位于第1轴线上的第1可动部的两侧且与一对第1连结部连接的一对第1连接部;和位于第2轴线上的第1可动部的两侧且与一对第2连结部连接的一对第2连接部。一对第2连接部的各个在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,包括具有比第2可动部中的一对第1连接部和一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分。在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的内边缘具有向第2轴方向凹陷的凹部,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的外边缘具有向第2轴方向突出的凸部。
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公开(公告)号:CN111433654A
公开(公告)日:2020-07-17
申请号:CN201880077473.8
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括支承部、第1可动部、第2可动部和第2连结部。第2可动部具有:位于第1轴线上的第1可动部的两侧且与一对第1连结部连接的一对第1连接部;和位于第2轴线上的第1可动部的两侧且与一对第2连结部连接的一对第2连接部。一对第2连接部的各个在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时,包括具有比第2可动部中的一对第1连接部和一对第2连接部以外的部分宽的宽度的部分。在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的内边缘具有向第2轴方向凹陷的凹部,在从与第1轴线和第2轴线正交的方向观察时的一对第2连接部各自的外边缘具有向第2轴方向突出的凸部。
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公开(公告)号:CN116224573A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202310226041.1
申请日:2018-08-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的镜装置具备支承部、可动部(4)、以及配置于第一轴线(X)上的可动部(4)的两侧的一对扭力杆(7、8)。可动部(4)具有连接有一对扭力杆(7、8)的框状的框架(42)和配置于框架(42)的内侧的镜部(41)。镜部(41)在位于与第二轴线(Y)平行的方向上的镜部(41)的两侧的一对连接区域(40a、40b)的各个与框架(42)连接。镜部(41)和框架(42)之间的区域中一对连接区域(40a、40b)以外的区域为空间。在从垂直于第一轴线(X)及第二轴线(Y)的方向观察的情况下,镜部(41)的外缘和框架(42)的内缘在一对连接区域(40a、40b)的各个以曲率连续的方式连接。
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公开(公告)号:CN115347110A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210509890.3
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/09
Abstract: 配置于金属基板的载置面的驱动用压电元件具有:驱动用压电体,其具有与载置面为相反侧的第1主面、载置面侧的第2主面和侧面;和配置于第1主面的第1电极。驱动用压电元件以载置面的一部分位于侧面的外侧的方式配置于载置面。具有导电性的第2粘接构件具有:配置在载置面与驱动用压电元件之间的第1部分;从第1部分连续,且配置于由载置面的一部分和侧面形成的角部的第2部分。第2部分没有到达第1电极。
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公开(公告)号:CN111417884B
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN201880077358.0
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN111417884A
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN201880077358.0
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN114930223B
公开(公告)日:2025-03-14
申请号:CN202080093051.7
申请日:2020-10-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供光学单元,其包括:基体,其由金属构成,具有主面和所述主面的相反侧的背面;光学面,其设置于所述主面;和振动元件,其设置于所述主面或所述背面,所述基体包括:支承部;从所述支承部延伸的第一延伸部和第二延伸部;配置在所述第一延伸部与所述第二延伸部之间的可动部;和将所述第一延伸部与所述可动部连结的第一连结部以及将所述第二延伸部与所述可动部连结的第二连结部,所述振动元件设置于所述支承部,通过使所述支承部振动而在所述第一连结部和所述第二连结部引发扭转振动来使所述可动部摆动,所述光学面在所述可动部中设置于所述主面。
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公开(公告)号:CN115347111A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210508754.2
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/047
Abstract: 致动器装置包括配线基板、金属基板、设置于金属基板的第1电极部、配置于第1电极部上的驱动用压电体、配置于驱动用压电体的第1主面的第2电极部、配置于第2电极部上的检测用压电体、配置于检测用压电体的第3主面的第3电极部、连接部、输入部和输出部。连接部构成为与外部的基准电位电连接,第2电极部的电位成为基准电位。输入部构成为从外部向第1电极部输入驱动信号。输出部构成为将在检测用压电体中产生的输出信号从第3电极部向外部输出。
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公开(公告)号:CN115051526A
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN202210809086.7
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H02K33/12
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN110998408A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201880051445.9
申请日:2018-08-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的镜装置具备支承部、可动部(4)、以及配置于第一轴线(X)上的可动部(4)的两侧的一对扭力杆(7、8)。可动部(4)具有连接有一对扭力杆(7、8)的框状的框架(42)和配置于框架(42)的内侧的镜部(41)。镜部(41)在位于与第二轴线(Y)平行的方向上的镜部(41)的两侧的一对连接区域(40a、40b)的各个与框架(42)连接。镜部(41)和框架(42)之间的区域中一对连接区域(40a、40b)以外的区域为空间。在从垂直于第一轴线(X)及第二轴线(Y)的方向观察的情况下,镜部(41)的外缘和框架(42)的内缘在一对连接区域(40a、40b)的各个以曲率连续的方式连接。
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