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公开(公告)号:CN115051526A
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN202210809086.7
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H02K33/12
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN111417884B
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN201880077358.0
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN111417884A
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN201880077358.0
申请日:2018-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 致动器装置包括:支承部;第1可动部;第2可动部;将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部;将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部;设置于第2可动部的螺旋状的线圈;产生作用于线圈的磁场的磁场产生部;设置于支承部的第1外部端子;和与线圈的内侧端部和上述第1外部端子连接的第1配线。第1配线具有:与第1外部端子连接的引出配线;和以跨越线圈的方式设置于第2可动部且与线圈的内侧端部和引出配线连接的跨接配线。跨接配线的宽度比线圈的宽度宽,跨接配线的厚度比线圈的厚度薄。
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公开(公告)号:CN116745235A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202180092015.3
申请日:2021-11-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明的致动器器件的制造方法依次包括:准备工序,准备致动器器件,该致动器器件具备:支承部、可动部、以可动部能够绕规定的轴线摆动的方式将可动部与支承部连结的连结部、以及以在可动部绕轴线摆动时应力作用的方式配置的金属构件;摆动工序,使可动部绕轴线摆动规定时间;取得工序,其取得与可动部绕轴线的振动的粘性阻力有关的参数;以及判定工序,在取得工序中取得的参数与对应于摆动工序的开始时间点的参数的基准值之间的差在粘性阻力减小的方向上为规定值以上的情况下,将致动器器件判定为合格,在差小于规定值的情况下,将致动器器件判定为不合格。
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