公开(公告)号：CN114585585A

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202080073186.7

申请日：2020-08-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木大几 ,  松本享宏 ,  井出智行 ,  高桥干人

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02 ,  G02B7/198

Abstract: 本发明的反射镜器件的制造方法，其中，反射镜器件具备：包含基底部和支撑在基底部的可动部的结构体、以及设置在可动部的反射镜层，本发明的反射镜器件的制造方法具备：准备具有支撑层、器件层和配置在支撑层与器件层之间的中间层的晶圆的第一工序；在第一工序之后，通过将支撑层、器件层和中间层中的各个的一部分从晶圆去除，以可动部相对于基底部可动的方式在晶圆形成狭缝，并且将分别与结构体对应的多个部分形成在晶圆的第二工序；在第二工序之后，实施通过清洗液清洗晶圆的湿法清洗的第三工序；以及在第三工序之后，将多个部分中的各个从晶圆切出的第四工序，在第二工序中，将中间层的一部分通过各向异性蚀刻从晶圆去除。

公开(公告)号：CN114555513A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202080073178.2

申请日：2020-08-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木大几 ,  松本享宏 ,  井出智行 ,  高桥干人

IPC: B81C1/00 ,  G02B5/08

Abstract: 本发明的反射镜器件的制造方法，其中，反射镜器件具备：包含基底部和支撑在基底部的可动部的结构体、以及设置在可动部的反射镜层，本发明的反射镜器件的制造方法具备：准备具有支撑层和器件层的晶圆的第一工序；在第一工序之后，通过将支撑层和器件层中的各个的一部分通过蚀刻从晶圆去除，以可动部相对于基底部可动的方式在晶圆形成狭缝，并且将分别与结构体对应的多个部分形成在晶圆的第二工序；在第二工序之后，实施通过清洗液清洗晶圆的湿法清洗的第三工序；以及在第三工序之后，将多个部分中的各个从晶圆切出的第四工序，在第二工序中，通过蚀刻，在晶圆中的、狭缝以外的部分，形成贯通晶圆的流通孔。