公开(公告)号：CN113169195A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980071528.9

申请日：2019-09-11

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 泷口亮 ,  河野真 ,  太田庆一 ,  高哲也

IPC: H01L27/146 ,  H04N5/369

Abstract: 固体摄像装置(1)具备：半导体基板(20)，其具有设置有多个光感应区域(3)的主面(20a)；及绝缘膜(30)，其设置于半导体基板(20)的主面(20a)；在将半导体基板(20)的主面(20a)设为基准面(K)的情况下，自基准面(K)起的绝缘膜(30)的厚度(T)为0.5μm以上，绝缘膜(30)中的与主面相反侧的面(主面(30b))为具有平坦性的面，在光感应区域(3)中，在半导体基板(20)的主面(20a)设置有自基准面(K)起的深度互不相同的多种底面(R)。

公开(公告)号：CN113169195B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN201980071528.9

申请日：2019-09-11

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 泷口亮 ,  河野真 ,  太田庆一 ,  高哲也

IPC: H01L27/146 ,  H04N25/76

Abstract: 固体摄像装置(1)具备：半导体基板(20)，其具有设置有多个光感应区域(3)的主面(20a)；及绝缘膜(30)，其设置于半导体基板(20)的主面(20a)；在将半导体基板(20)的主面(20a)设为基准面(K)的情况下，自基准面(K)起的绝缘膜(30)的厚度(T)为0.5μm以上，绝缘膜(30)中的与主面相反侧的面(主面(30b))为具有平坦性的面，在光感应区域(3)中，在半导体基板(20)的主面(20a)设置有自基准面(K)起的深度互不相同的多种底面(R)。

公开(公告)号：CN115362552A

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202180026828.2

申请日：2021-01-20

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 河野真 ,  铃木义之 ,  太田庆一 ,  伊藤真也 ,  泷口亮

IPC: H01L27/146 ,  H01L27/144 ,  H04N5/369

Abstract: 固体摄像装置(1)具备：半导体基板(20)，其具有设置有多个光感应区域(3)的主面(20a)；及绝缘膜(30)，其设置于半导体基板(20)的主面(20a)。在绝缘膜(30)中的半导体基板(20)的主面(20a)的相反侧的面(主面(30b))，形成有多个凹凸(R)，在光感应区域(3)中，存在多个凹凸(R)的高低差。