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公开(公告)号:CN102844680A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201180019086.7
申请日:2011-01-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01T1/2018 , H01L27/14634 , H01L27/14661 , H01L27/14663
Abstract: 放射线检测器模块(10A)包括:闪烁器,其将自规定方向入射的放射线转换成光;二维PD阵列(12),其接收来自闪烁器的光;连接基板(13),其层叠电介质层(130a~130f)而成,且在一个板面上搭载二维PD阵列(12);及集成电路器件(14),其搭载于连接基板(13)的另一个板面上,读取自二维PD阵列(12)输出的电信号。集成电路器件(14)具有相互隔开的多个单位电路区域(14b)。连接基板(13)包含多个贯通导体(20)、及与多个贯通导体(20)分别一体地形成并且相互隔开的多个放射线屏蔽膜(21a~23a)。由此,能够以简易的构成保护集成电路器件的读取电路以防放射线。
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公开(公告)号:CN107532941B
公开(公告)日:2021-05-25
申请号:CN201680024252.5
申请日:2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括:法布里‑珀罗干涉滤光器(10);光检测器(3);间隔件(4),其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面;及粘合构件(5),其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式,位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部,且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号:CN102844680B
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:CN201180019086.7
申请日:2011-01-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01T1/2018 , H01L27/14634 , H01L27/14661 , H01L27/14663
Abstract: 放射线检测器模块(10A)包括:闪烁器,其将自规定方向入射的放射线转换成光;二维PD阵列(12),其接收来自闪烁器的光;连接基板(13),其层叠电介质层(130a~130f)而成,且在一个板面上搭载二维PD阵列(12);及集成电路器件(14),其搭载于连接基板(13)的另一个板面上,读取自二维PD阵列(12)输出的电信号。集成电路器件(14)具有相互隔开的多个单位电路区域(14b)。连接基板(13)包含多个贯通导体(20)、及与多个贯通导体(20)分别一体地形成并且相互隔开的多个放射线屏蔽膜(21a~23a)。由此,能够以简易的构成保护集成电路器件的读取电路以防放射线。
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公开(公告)号:CN113049100B
公开(公告)日:2023-11-28
申请号:CN202110473132.6
申请日:2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括:法布里‑珀罗干涉滤光器(10);光检测器(3);间隔件(4),其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面;及粘合构件(5),其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式,位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部,且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号:CN113049100A
公开(公告)日:2021-06-29
申请号:CN202110473132.6
申请日:2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括:法布里‑珀罗干涉滤光器(10);光检测器(3);间隔件(4),其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面;及粘合构件(5),其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式,位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部,且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号:CN102870006B
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201180019155.4
申请日:2011-01-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01T1/2018 , H01L27/14623 , H01L27/14634 , H01L27/14661 , H01L27/14663 , H05K1/0218 , H05K1/0242 , H05K1/025 , H05K1/113 , H05K2201/09727 , H05K2201/10545 , H05K2201/10674
Abstract: 本发明的连接基板(13)具备由多个电介质层(130a~130f)层叠而成的基材(130)、以及贯通相互邻接的电介质层(130c~130f)而设置的多个贯通导体(20)。与多个贯通导体(20)各自形成为一体且相互隔开的多个放射线屏蔽膜(21a~23a),设置于电介质层(130c~130f)中的两个以上的层间部分。将在一个层间部分中与一贯通导体(20)形成为一体的放射线屏蔽膜(21a(21b))投影至垂直于规定方向的假想平面而获得的区域(PR1)、与将在其他层间部分中与其他贯通导体(20)形成为一体的放射线屏蔽膜(22b)或(22c(22c))投影至假想平面而获得的区域相互不重合。由此,可保护集成电路器件的读取电路以防放射线,且抑制寄生电容的增加。
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公开(公告)号:CN102870006A
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201180019155.4
申请日:2011-01-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01T1/2018 , H01L27/14623 , H01L27/14634 , H01L27/14661 , H01L27/14663 , H05K1/0218 , H05K1/0242 , H05K1/025 , H05K1/113 , H05K2201/09727 , H05K2201/10545 , H05K2201/10674
Abstract: 本发明的连接基板(13)具备由多个电介质层(130a~130f)层叠而成的基材(130)、以及贯通相互邻接的电介质层(130c~130f)而设置的多个贯通导体(20)。与多个贯通导体(20)各自形成为一体且相互隔开的多个放射线屏蔽膜(21a~23a),设置于电介质层(130c~130f)中的两个以上的层间部分。将在一个层间部分中与一贯通导体(20)形成为一体的放射线屏蔽膜(21a(21b))投影至垂直于规定方向的假想平面而获得的区域(PR1)、与将在其他层间部分中与其他贯通导体(20)形成为一体的放射线屏蔽膜(22b)或(22c(22c))投影至假想平面而获得的区域相互不重合。由此,可保护集成电路器件的读取电路以防放射线,且抑制寄生电容的增加。
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公开(公告)号:CN102449764A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201080022947.2
申请日:2010-03-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14 , A61B6/03 , G01T1/20 , H01L27/146
CPC classification number: H01L31/02322 , A61B6/032 , A61B6/4208 , G01T1/20 , G01T1/2018 , H01L27/14618 , H01L27/14636 , H01L27/14661 , H01L27/14663 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 以在并列配置多个单元的情况下能够防止产生相对于放射线的不敏感带为目的。该放射线检测单元(1)具备包含与闪烁器(3)相对配置的多个PD元件(13)以及对应于PD元件(13)排列的输出电极垫(23)的PD阵列(5)、处理来自PD元件(13)的信号的集成电路(7)、搭载PD阵列(5)以及集成电路(7)的挠性基板(9)、隔着挠性基板(9)而与PD阵列(5)相对设置且端部(11a)形成为位于PD阵列(5)的内侧的放射线屏蔽板(11),输出电极垫(23)的排列间距比PD元件(13)短,通过挠性基板(9)在PD阵列(5)以及集成电路(7)的搭载区域之间的中间区域(A3)沿着端部(11a)弯折,从而集成电路(7)隔着放射线屏蔽板(11)而配置于PD元件(13)的相反侧。
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公开(公告)号:CN107532941A
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201680024252.5
申请日:2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G02B5/28 , G02B7/008 , G02B26/00
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括:法布里‑珀罗干涉滤光器(10);光检测器(3);间隔件(4),其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面;及粘合构件(5),其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式,位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部,且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号:CN102449764B
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201080022947.2
申请日:2010-03-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/14 , A61B6/03 , G01T1/20 , H01L27/146
CPC classification number: H01L31/02322 , A61B6/032 , A61B6/4208 , G01T1/20 , G01T1/2018 , H01L27/14618 , H01L27/14636 , H01L27/14661 , H01L27/14663 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 以在并列配置多个单元的情况下能够防止产生相对于放射线的不敏感带为目的。该放射线检测单元(1)具备包含与闪烁器(3)相对配置的多个PD元件(13)以及对应于PD元件(13)排列的输出电极垫(23)的PD阵列(5)、处理来自PD元件(13)的信号的集成电路(7)、搭载PD阵列(5)以及集成电路(7)的挠性基板(9)、隔着挠性基板(9)而与PD阵列(5)相对设置且端部(11a)形成为位于PD阵列(5)的内侧的放射线屏蔽板(11),输出电极垫(23)的排列间距比PD元件(13)短,通过挠性基板(9)在PD阵列(5)以及集成电路(7)的搭载区域之间的中间区域(A3)沿着端部(11a)弯折,从而集成电路(7)隔着放射线屏蔽板(11)而配置于PD元件(13)的相反侧。
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