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公开(公告)号:CN1395677A
公开(公告)日:2003-02-05
申请号:CN01803896.4
申请日:2001-01-18
申请人: 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人: S·沃格勒 , R·卡普兰 , R·维克尔特 , R·维纳恩德茨-范-雷桑德特
摘要: 一种用于可移动测量目标,特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中一种借助光源(2)产生的测量光束(6)被测量目标(10)反射到一个位置灵敏光探测器(12)上,借助该光探测器实施一个对应于测量目标(10)位置的信息转换。本发明的任务是构造一个方法,即用简单的光学构件能实现反光镜,尤其是旋转反光镜的一个迅速的光学位置测量。为完成该任务本发明建议:借助一个光学系统(8)将测量光束(6)聚焦在一个光探测器(12)上并且由该借助光探测器(12)获取的测量值确定对应于所聚焦的测量光斑强度分布最大值或重心的信号。
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公开(公告)号:CN1199031C
公开(公告)日:2005-04-27
申请号:CN01803896.4
申请日:2001-01-18
申请人: 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人: S·沃格勒 , R·卡普兰 , R·维克尔特 , R·维纳恩德茨-范-雷桑德特
摘要: 一种用于可移动测量目标,特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中光源(2)产生的一束测量光束(6)被测量目标(10)反射到一个位置灵敏光探测器(12)上,借助该光探测器实施一个对应于测量目标(10)位置的信息转换。本发明的任务是构造一个方法,即用简单的光学构件能实现反光镜,尤其是旋转反光镜的一个迅速的光学位置测量。为完成该任务本发明建议:借助一个光学系统(8)将测量光束(6)聚焦在一个光探测器(12)上并且由该借助光探测器(12)获取的测量值确定对应于所聚焦的测量光斑强度分布最大值或重心的信号。
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