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公开(公告)号：CN1395677A
公开(公告)日：2003-02-05
申请号：CN01803896.4
申请日：2001-01-18
申请人： 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人： S·沃格勒 , R·卡普兰 , R·维克尔特 , R·维纳恩德茨-范-雷桑德特
摘要： 一种用于可移动测量目标，特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中一种借助光源(2)产生的测量光束(6)被测量目标(10)反射到一个位置灵敏光探测器(12)上，借助该光探测器实施一个对应于测量目标(10)位置的信息转换。本发明的任务是构造一个方法，即用简单的光学构件能实现反光镜，尤其是旋转反光镜的一个迅速的光学位置测量。为完成该任务本发明建议：借助一个光学系统(8)将测量光束(6)聚焦在一个光探测器(12)上并且由该借助光探测器(12)获取的测量值确定对应于所聚焦的测量光斑强度分布最大值或重心的信号。
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公开(公告)号：CN102369483A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN200980146357.8
申请日：2009-10-23
申请人： 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人： R·威纳恩茨范雷桑特 , R·卡普兰
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/70283 , G03F7/70308 , G03F7/70358 , G03F7/70466
摘要： 本发明公开了一种对辐射敏感的基片(17)成像用的方法，其中在应用具有以下波长的相干辐射(2)的情况下把可编程模板(6)投影在辐射敏感的基片(17)上，在所述波长时该基片(17)是辐射敏感的。通过声学-光学或电光学偏转单元(11)这样地同时进行地推移具有图像栅格(30)的可编程模板(6)的整个图像，使得多次投影在不同的位置处射在该基片(17)上，以便在基片(17)上在图像栅格(30)中产生精细的部分栅格(31)。另外，本发明还描述一种执行该方法的装置。
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公开(公告)号：CN1659478A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN03812896.9
申请日：2003-04-11
申请人： 海德堡显微技术仪器股份有限公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70275 , G03F7/70258 , G03F7/70358 , G03F7/70791 , G03F7/70991
摘要： 本发明涉及一种用于把掩模(1)投影到衬底(2)上的方法，其中借助于一个照明单元(8)和一个光学单元(9)把所述掩模(1)投影到所述衬底(2)上。此外本发明还涉及一种用于执行所述方法的装置。应如下构造所述方法和装置，即用高的工作可靠性把所述掩模(1)及其小结构精确地投影到所述衬底(2)上，其中应校正所述衬底(2)的变形。本发明建议：相对于所述掩模(1)和所述衬底(2)移动所述照明单元(8)和所述光学单元(9)，测定所述衬底(2)的变形，以及根据所测定的变形借助于所述光学单元(9)使所述掩模(1)的图像变形并且匹配所述衬底(2)的变形。
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公开(公告)号：CN102369483B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN200980146357.8
申请日：2009-10-23
申请人： 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人： R·威纳恩茨范雷桑特 , R·卡普兰
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/70283 , G03F7/70308 , G03F7/70358 , G03F7/70466
摘要： 本发明公开了一种对辐射敏感的基片(17)成像用的方法，其中在应用具有以下波长的相干辐射(2)的情况下把可编程模板(6)投影在辐射敏感的基片(17)上，在所述波长时该基片(17)是辐射敏感的。通过声学-光学或电光学偏转单元(11)这样地同时进行地推移具有图像栅格(30)的可编程模板(6)的整个图像，使得多次投影在不同的位置处射在该基片(17)上，以便在基片(17)上在图像栅格(30)中产生精细的部分栅格(31)。另外，本发明还描述一种执行该方法的装置。
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公开(公告)号：CN1199031C
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN01803896.4
申请日：2001-01-18
申请人： 海德堡显微技术仪器股份有限公司
发明人： S·沃格勒 , R·卡普兰 , R·维克尔特 , R·维纳恩德茨-范-雷桑德特
摘要： 一种用于可移动测量目标，特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中光源(2)产生的一束测量光束(6)被测量目标(10)反射到一个位置灵敏光探测器(12)上，借助该光探测器实施一个对应于测量目标(10)位置的信息转换。本发明的任务是构造一个方法，即用简单的光学构件能实现反光镜，尤其是旋转反光镜的一个迅速的光学位置测量。为完成该任务本发明建议：借助一个光学系统(8)将测量光束(6)聚焦在一个光探测器(12)上并且由该借助光探测器(12)获取的测量值确定对应于所聚焦的测量光斑强度分布最大值或重心的信号。
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