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公开(公告)号：CN1367523A
公开(公告)日：2002-09-04
申请号：CN01143570.4
申请日：1998-01-13
申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC分类号： B01D53/228 , B01D53/22 , B01D53/225 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
摘要： 一种半导体生产系统,包括:a)至少一个用于接收包括全氟化合物气体和载运气体的气体混合物的反应器容器,该反应器容器上接有一根反应器排气导管;b)至少一个具有一个进料侧和一个渗透侧的粒度选择膜分离单元,所述膜相对于至少一种全氟化合物气体来讲,优先渗透至少一种载运气体,所述膜单元通过该反应器排气导管连接到所述反应器容器,所述膜具有一个渗透物排出导管和一个不渗透物导管,及c)使至少一部分不渗透物流从所述膜单元再循环回到至少一个反应器容器中的装置。
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公开(公告)号：CN1213002C
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN98105134.0
申请日：1998-01-13
申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC分类号： B01D53/228 , B01D53/22 , B01D53/225 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
摘要： 本发明提供的是从气体混合物中回收至少一种全氟化合物气体的方法和系统。本发明的一个方法实施例包括：提供包括至少一种全氟化合物气体和至少一种载运气体的气体混合物，该气体混合物处于一个预定压力；提供至少一个具有一个进料侧和一个渗透侧的粒度选择膜；使至少一个膜的进料侧与该气体混合物接触；在一个基本上等于预定压力的压力下从膜的进料侧提取一种作为不渗透流的主要包括至少一种全氟化合物气体的已浓缩的气体混合物；及从膜的渗透侧提取一种作为渗透流的主要包括至少一种载运气体的贫化气体混合物。
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公开(公告)号：CN1169192C
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN01143570.4
申请日：1998-01-13
申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC分类号： B01D53/228 , B01D53/22 , B01D53/225 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
摘要： 一种半导体生产系统，包括：a)至少一个用于接收包括全氟化合物气体和载运气体的气体混合物的反应器容器，该反应器容器上接有一根反应器排气导管；b)至少一个具有一个进料侧和一个渗透侧的粒度选择膜分离单元，所述膜相对于至少一种全氟化合物气体来讲，优先渗透至少一种载运气体，所述膜单元通过该反应器排气导管连接到所述反应器容器，所述膜具有一个渗透物排出导管和一个不渗透物导管，及c)使至少一部分不渗透物流从所述膜单元再循环回到至少一个反应器容器中的装置。
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公开(公告)号：CN1193619A
公开(公告)日：1998-09-23
申请号：CN98105134.0
申请日：1998-01-13
申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC分类号： B01D53/228 , B01D53/22 , B01D53/225 , B01D53/226 , B01D53/229 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , C07C17/38 , Y02C20/30 , Y02P20/154 , Y02P20/155 , C07C19/08
摘要： 本发明提供的是从气体混合物中回收至少一种全氟化合物气体的方法和系统。本发明的一个方法实施例包括:提供包括至少一种全氟化合物气体和至少一种载运气体的气体混合物,该气体混合物处于一个预定压力;提供至少一个具有一个进料侧和一个渗透侧的粒度选择膜;使至少一个膜的进料侧与该气体混合物接触;在一个基本上等于预定压力的压力下从膜的进料侧提取一种作为不渗透流的主要包括至少一种全氟化合物气体的已浓缩的气体混合物;及从膜的渗透侧提取一种作为渗透流的主要包括至少一种载运气体的贫化气体混合物。
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