公开(公告)号：CN111551112A

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN202010410264.X

申请日：2020-05-15

申请人： 深圳大学

发明人： 郭登极 ,  陈章 ,  黄海军 ,  林建军 ,  许佼 ,  伍晓宇 ,  徐斌

IPC分类号： G01B11/00 ,  B81C1/00

摘要： 一种微纳结构的测量方法和加工方法，测量方法包括：获得微纳结构的实时显微图像，微纳结构包括至少一个微纳单元；识别并拟合显微图像而得到微纳单元的拟合图形；测量拟合图形以获取至少一个微纳单元的尺寸和位置信息。本发明提供的微纳结构的测量方法，通过获得微纳结构的实时显微图像，并通过识别和拟合得到与微纳单元的外形轮廓最为一致的拟合图形，测量拟合图形相当于测量对应的微纳单元，从而获得微纳单元精确的尺寸和位置信息，同时由于能够在加工的过程中执行测量方法，以便于对于微纳结构加工过程进行实时监测，有利于微纳结构的高精度加工。

公开(公告)号：CN111551112B

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202010410264.X

申请日：2020-05-15

申请人： 深圳大学

发明人： 郭登极 ,  陈章 ,  黄海军 ,  林建军 ,  许佼 ,  伍晓宇 ,  徐斌

IPC分类号： G01B11/00 ,  B81C1/00

摘要： 一种微纳结构的测量方法和加工方法，测量方法包括：获得微纳结构的实时显微图像，微纳结构包括至少一个微纳单元；识别并拟合显微图像而得到微纳单元的拟合图形；测量拟合图形以获取至少一个微纳单元的尺寸和位置信息。本发明提供的微纳结构的测量方法，通过获得微纳结构的实时显微图像，并通过识别和拟合得到与微纳单元的外形轮廓最为一致的拟合图形，测量拟合图形相当于测量对应的微纳单元，从而获得微纳单元精确的尺寸和位置信息，同时由于能够在加工的过程中执行测量方法，以便于对于微纳结构加工过程进行实时监测，有利于微纳结构的高精度加工。