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发明公开
阵列基板及其制备方法、显示装置无效

公开(公告)号：CN109148488A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201811004236.7

申请日：2018-08-30

申请人： 深圳市华星光电技术有限公司

发明人： 肖辉 , 徐源竣

IPC分类号： H01L27/12

CPC分类号： H01L27/1214 , H01L27/1248 , H01L27/1259

摘要： 本发明提供一种阵列基板的制备方法，提供一基板，其中，所述基板包括薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括有源层和覆盖所述有源层的第一绝缘层；在所述第一绝缘层背离所述有源层的表面形成有源隔离层，所述有源隔离层覆盖所述有源层；在所述有源隔离层背离所述第一绝缘层的表面涂布平坦材料层，所述有源隔离层隔离所述平坦材料层和所述有源层；图案化所述平坦材料层以形成平坦层。本发明所述阵列基板的制备方法在所述第一绝缘层背离所述有源层的表面沉积形成结构致密的有源隔离层，可有效阻挡后续形成平坦层或像素层制程中的释放物污染所述有源层，提高阵列基板的可靠性，保证阵列基板的品质。本发明还提供一种阵列基板和显示装置。