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公开(公告)号：CN117893536B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410292724.1
申请日：2024-03-14
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
发明人： 刘世文
IPC分类号： G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/82 , H01L21/66 , G01B21/30
摘要： 本申请提供了一种检测晶圆平整度的方法及相关装置，所述方法包括：根据第一方向旋转目标托盘L次，每次旋转M度，得到L‑1个距离集合；根据所述L‑1个距离集合获取所述待测晶圆对应的平整度矩阵；确定所述平整度矩阵是否有效；在所述平整度矩阵有效时，将所述平整度矩阵输入预先训练好的分类模型中，得到平整度检测结果。本方案实现了基于图像算法获取平整度矩阵再基于深度学习算法进行晶圆平整度检测的功能，可以在保证检测到的晶圆的平整度的准确度的同时降低需要使用的设备成本，提高对晶圆平整度进行检测的方法的适用的普遍性。
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公开(公告)号：CN117607665B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410099882.5
申请日：2024-01-24
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
发明人： 刘世文
摘要： 本申请提供一种探针台。所述探针台包括：壳体；盖板，所述盖板抵接于壳体，并与壳体围设形成收容空间；卡盘，所述卡盘收容于收容空间内，卡盘具有第一吸附面板，第一吸附面板具有第一吸附面，第一吸附面能够吸附并承载晶圆；机械手，所述机械手用于运输晶圆；及中转组件，所述中转组件设置于盖板邻近卡盘的一侧，中转组件用于在机械手及卡盘之间中转运输晶圆，中转组件包括第二吸附面板，第二吸附面板在背离盖板的一侧具有第二吸附面，第二吸附面能够吸附机械手运输的晶圆，卡盘能够移动至中转组件的一侧，并承接中转组件吸附的晶圆。所述探针台能够顺利完成晶圆的运输过程，避免晶圆无法被卡盘或机械手吸附的情形，从而提升探针台的可靠性。
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公开(公告)号：CN117607665A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202410099882.5
申请日：2024-01-24
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
发明人： 刘世文
摘要： 本申请提供一种探针台。所述探针台包括：壳体；盖板，所述盖板抵接于壳体，并与壳体围设形成收容空间；卡盘，所述卡盘收容于收容空间内，卡盘具有第一吸附面板，第一吸附面板具有第一吸附面，第一吸附面能够吸附并承载晶圆；机械手，所述机械手用于运输晶圆；及中转组件，所述中转组件设置于盖板邻近卡盘的一侧，中转组件用于在机械手及卡盘之间中转运输晶圆，中转组件包括第二吸附面板，第二吸附面板在背离盖板的一侧具有第二吸附面，第二吸附面能够吸附机械手运输的晶圆，卡盘能够移动至中转组件的一侧，并承接中转组件吸附的晶圆。所述探针台能够顺利完成晶圆的运输过程，避免晶圆无法被卡盘或机械手吸附的情形，从而提升探针台的可靠性。
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公开(公告)号：CN117192323A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311469723.1
申请日：2023-11-07
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
发明人： 刘世文
摘要： 本申请涉及一种真空探针台。所述真空探针台包括：第一外壳、样品台、制冷系统以及多个第一导热件，所述第一外壳围合成探针腔；所述样品台设置于探针腔内，且安装于所述第一外壳，用于设置待检测样品；所述制冷系统包括冷媒柱，所述冷媒柱至少部分位于所述探针腔且穿设于所述第一外壳，所述冷媒柱位于所述样品台的一侧，用于设置冷媒以对所述样品台进行冷却；所述多个第一导热件间隔设置于所述样品台与所述冷媒柱之间，且分别连接所述样品台及所述冷媒柱。所述真空探针台中的冷媒对探针腔具有较高的冷却效率。
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公开(公告)号：CN115020270A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202110760954.2
申请日：2021-07-06
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本发明提供一种提高晶圆测试精度的晶圆测试设备及测试方法，包括设备本体和设置在其上的测试机，以及嵌进所述设备本体顶部内倒置的探针卡，所述探针卡与所述测试机电连接，所述设备本体包括：框架；第一移动平台，设置在所述框架内的下部；下显微镜视觉系统和晶圆，均设置在所述第一移动平台上，所述下显微镜视觉系统用于获取所述探针卡的图像，所述第一移动平台可驱动所述下显微镜视觉系统和晶圆沿X、Y、Z三个方向直线运动；第二移动平台，设置在所述框架内的上部，上显微镜视觉系统倒置在所述第二移动平台上，用于获取其下方所述晶圆的图像，所述第二移动平台可驱动所述上显微镜视觉系统沿Y轴或X轴方向直线移动。
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公开(公告)号：CN111796411A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010854024.9
申请日：2020-08-24
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本发明涉及显微镜配件技术领域，特指一种高精度显微镜X轴平移机构，包括底座，底座设有便于显微镜滑动时的驱动组件、以及便于显微镜滑动地滑轨组件、以及与滑轨组件配合设置的辅助滑动组件、以及检测显微镜平移过程的感应组件。本发明采用这样的结构设置，其能够满足微米级传动的要求，传动精密而稳定，能够适用于半导体测试设备上，有效解决需要依赖于国外进口的困局，且成本相比引进国外进口的产品而言较低。
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公开(公告)号：CN110412441A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910551107.8
申请日：2019-06-24
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括真空腔、防辐射屏、样品台、探针臂；真空腔用于形成密封测试环境；所述防辐射屏用于阻挡外界对样品台的辐射，位于所述真空腔中；所述样品台用于放置样品，位于所述防辐射屏中；所述探针臂包括探针针杆以及位于所述探针针杆末端的探针，所述探针针杆穿过所述真空腔、防辐射屏，使所述探针伸入样品所在位置以进行点针。本发明还公开一种半导体器件测试方法，使用如上所述的真空高低温半导体器件测试探针台。本发明提供的半导体器件测试探针台及半导体器件测试方法，通过设置真空腔、防辐射屏等结构，能够有效的营造一个集成高温、低温、真空等测试环境，能够为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境。
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公开(公告)号：CN118016589B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410417555.X
申请日：2024-04-09
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
发明人： 刘世文
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/66 , G01R1/02
摘要： 本申请提供一种机械手组件及探针台。机械手组件包括：手臂本体，手臂本体具有气路及第一收容槽；及旋风吸盘，旋风吸盘具有导气通道，导气通道连通至气路，旋风吸盘还包括底板及盖体，底板嵌设于第一收容槽内以固定至手臂本体，底板在背离手臂本体的一侧具有第二收容槽，盖体收容于第二收容槽内，盖体具有周侧面，底板具有形成第二收容槽的内周面，周侧面与内周面间隔设置并围设形成涡流通道，盖体在邻近涡流通道的一侧还具有第一导流面及第一气孔，第一导流面沿着背离内周面的方向凹陷于周侧面，第一气孔显露设置于第一导流面，第一气孔连通于导气通道，并能够出射气体至涡流通道并形成涡流，使得机械手组件能够稳定地运输超薄晶圆。
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公开(公告)号：CN118016589A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410417555.X
申请日：2024-04-09
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
发明人： 刘世文
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/66 , G01R1/02
摘要： 本申请提供一种机械手组件及探针台。机械手组件包括：手臂本体，手臂本体具有气路及第一收容槽；及旋风吸盘，旋风吸盘具有导气通道，导气通道连通至气路，旋风吸盘还包括底板及盖体，底板嵌设于第一收容槽内以固定至手臂本体，底板在背离手臂本体的一侧具有第二收容槽，盖体收容于第二收容槽内，盖体具有周侧面，底板具有形成第二收容槽的内周面，周侧面与内周面间隔设置并围设形成涡流通道，盖体在邻近涡流通道的一侧还具有第一导流面及第一气孔，第一导流面沿着背离内周面的方向凹陷于周侧面，第一气孔显露设置于第一导流面，第一气孔连通于导气通道，并能够出射气体至涡流通道并形成涡流，使得机械手组件能够稳定地运输超薄晶圆。
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公开(公告)号：CN117672941B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410132005.3
申请日：2024-01-31
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
发明人： 刘世文
摘要： 本申请涉及一种角度调节装置及晶圆检测系统。角度调节装置包括：转轴、承载件、连接件、传动机构及安装座，承载件转动连接转轴且承载目标对象；连接件固定连接承载件并带动承载件绕转轴转动；传动机构包括第一传动组件及第二传动组件，第一传动组件活动连接所述连接件且沿第一方向与第二传动组件滑动连接；安装座用于安装传动机构，第二传动组件沿第二方向可滑动连接安装座，第一方向与第二方向相交，当第二传动组件沿第二方向滑动时，带动第一传动组件沿第二方向滑动并推动连接件带动承载件相对转轴转动，第一传动组件还相对第二传动组件沿第一方向朝向靠近或背离承载件的方向移动。角度调节装置的加工难度及装配工艺的要求较低。
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