一种反应仓密封的真空镀膜机

    公开(公告)号:CN207002838U

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201720774416.8

    申请日:2017-06-29

    发明人: 刘世文 熊翊世

    IPC分类号: C23C16/06 C23C16/44

    摘要: 一种反应仓密封的真空镀膜机,包括:仓体、上盖、设置于仓口的T型铜质密封圈和橡胶密封圈以及紧贴反应仓外壁内侧的高温加热器。由于在反应仓的仓口的第一T形凹槽内设置了T型铜质密封圈,巧妙利用真空镀膜机使用过程中需对仓体进行的高温加热的原理,在对仓体加热的同时也对T型铜质密封圈进行加热,加热后的T型铜质密封圈受热膨胀体积变大,与第一T形凹槽和上盖严密的贴合,实现对仓体的一重密封,再在第二T形凹槽内设置常规的橡胶密封圈,实现对仓体的双重密封,可有效防止工作气体外泄,保证反应仓内的真空度。

    一种显微镜检测机台的聚焦装置

    公开(公告)号:CN207008174U

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201720777522.1

    申请日:2017-06-29

    发明人: 刘世文 熊翊世

    IPC分类号: G02B21/24

    摘要: 一种显微镜检测机台的聚焦装置,包括显微镜、探针平台和平台底支架,显微镜为固定式,其高度不可调整,探针平台下方设置有滑动斜面,滑动斜面可向上或向下滑动调整显微镜与探针平台的高度差,滑动斜面与平台底支架之间还设置有至少两根稳定升降杆和至少两根支撑弹簧保持高度调整过程中的稳定性。由于采用了显微镜固定、探针平台移动的方式聚集,这种方式解决了聚集时的震动和抖动问题,聚焦精度受机械结构的影响较小,可以提高聚集时的线性顺滑度,使得3D测量时层次更加清晰,可以实现测量高精度、宽景深多层次测量的画,可以快速捕获高精度,宽景深多层次的测量画面。

    一种凹槽式真空探针检测装置

    公开(公告)号:CN207007127U

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201720777776.3

    申请日:2017-06-29

    发明人: 刘世文 熊翊世

    IPC分类号: G01B21/00

    摘要: 一种凹槽式真空探针检测装置,包括:显微镜、真空反应腔和设备支架,支架设置有的聚焦调节器,显微镜设置有物镜切换盘,真空反应腔为凹槽式,凹槽内的载物台上设置有垂直放置的探针。由于本申请的装置的真空反应腔为凹槽式,扩大了物镜与测量物品表面之间的空隙,并为探针留出更多的工作空间,又由于在真空反应腔内的载物平台上垂直放置探针,使得移动探针时,视线更好,可清晰、准确地观察待测物品的各个细节。