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公开(公告)号：CN116840665A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310912255.4
申请日：2023-07-22
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： G01R31/28
摘要： 本申请公开了一种低温晶圆自动探针测试机及测试方法，涉及晶圆检测的技术领域，低温晶圆自动探针测试机包括机体，所述机体内设有测试腔，所述机体内每个侧壁的两端位置均设置有吹气组件；每组所述吹气组件均包括若干个能够向所述测试腔内吹入干燥气体的吹气喷嘴，若干个所述吹气喷嘴沿所述机体高度方向间隔分布，每个所述吹气喷嘴均朝向所述测试腔内设置。本申请中的测试机能够在低温条件下进行温度控制，从而保证低温条件下无霜，提高晶圆检测的准确性。
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公开(公告)号：CN116047247A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210480733.4
申请日：2022-05-05
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种探针卡分析仪，属于半导体设备领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构，机座位于翻转板下方设置有检测机构，检测机构包括用于与探针接触的传感器组，机座设置有用于控制检测机构沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构，检测机构连接于Z轴位移机构，机座位于翻转板上方设置有第一放大观察件，机座设置有用于供第一放大观察件滑移的调位机构。本申请具有提高探针的检测效率的作用。
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公开(公告)号：CN114563603A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210199701.7
申请日：2022-03-01
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种探针卡承载用调平平台，包括底座、用于防止探针卡的测量台、用于驱动所述测量台靠近或远离所述底座的驱动机构和至少三个用于调平所述测量台的调平装置，多个所述调平装置与所述测量台的中心位置距离相等，所述调平装置位于所述测量台与所述底座之间，所述调平装置包括固定座、调平球和用于与所述测量台和所述调平球连接的连接组件；所述固定座安装在所述底座上方，所述固定座开设有调平槽，所述调平槽沿靠近所述测量台中心位置水平延伸，所述调平球滑移安装在所述固定座位于所述调平槽内，以使所述测量台调平。本申请具有降低检测探针卡性能出现误差的效果。
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公开(公告)号：CN217639372U
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202221058196.6
申请日：2022-05-05
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种探测针翻转承载平台，属于半导体领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座安装有用于观察探针的放大观察件，机座位于翻转板背离放大观察件的一侧安装有传感器组，传感器组用于与探针接触，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构。本申请具有提高探针的检测效率的效果。
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公开(公告)号：CN217034013U
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202220442000.7
申请日：2022-03-01
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种探针卡承载用调平装置，包括底板、连接组件和至少三个固定座，所述固定座位于所述底板下方，多个所述固定座与所述底板的中心位置距离相等，所述固定座均开设有调平槽，所述调平槽沿所述固定座长度方向延伸，所述固定座位于所述调平槽的位置设有调平球，所述调平球滑移安装在所述调平槽内，所述调平球通过所述连接组件与所述底板连接，以使所述底板调平。本申请具有保持承载探针卡的平台稳定性的效果。
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公开(公告)号：CN220188665U
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202321955750.5
申请日：2023-07-22
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是涉及一种晶圆探针测试机。包括机体，机体内设有可容物的容纳腔，机体上设有和容纳腔导通的进气口和出气口，机体侧壁上设有吹气组件，吹气组件包括通气管和吹气嘴，通气管两端开口设置，一端和进气口连通，另一端和出气口连通，通气管上设有孔洞，孔洞处设有吹气嘴，吹气嘴和孔洞连通，机体上还设有排汽口，机体上设有滑动组件，滑动组件上设有遮挡组件，遮挡组件能通过滑动组件相对机体滑动遮挡或避让排汽口，使容纳腔和排汽口之间封堵或导通。本申请具有增加测试机内部与外界的空气流通，使测试机内部的空气能够快速被排出的效果。
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公开(公告)号：CN214797366U
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202023243210.3
申请日：2020-12-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , G01R1/04 , G01R1/067
摘要： 本实用新型实施例公开了一种晶圆探针测试台及其升降机构，升降机构包括：底座；两个立柱，间隔装设在底座的顶部；工作面板，置于两个立柱的上方；两个传动组件；两个同步轮；动力轮，与同步轮间隔设置；同步带，套设于动力轮和同步轮；及驱动组件，包括转动轴、手柄和摇杆，转动轴的一端穿过底座插接在动力轮的内圈中，另一端与手柄固定连接，摇杆固定连接在转动轴的中部；手柄被转动，带动转动轴转动，以带动动力轮和同步轮转动，同步轮通过传动组件驱动工作面板以第一速度升降；摇杆被转动，带动转动轴转动，以带动动力轮和同步轮转动，同步轮通过传动组件驱动工作面板以第二速度升降；第一速度小于第二速度。
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公开(公告)号：CN214503707U
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202023238084.2
申请日：2020-12-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： G01R1/067
摘要： 本实用新型实施例公开了一种高压探针治具，包括：高压线缆；固定套筒，包裹高压线缆；探针，探针的一端的端面与第一伸出部的端面对接；导体管，包裹探针与第一伸出部的对接处，且导体管的一端与第二伸出部的端面对接；第一高压绝缘层，包裹第二伸出部靠近第一伸出部的一端，且包裹导体管；保护层，包裹第一高压绝缘层，且保护层的一端与第三伸出部的端面对接；第二高压绝缘层，包裹第三伸出部靠近保护层的一端，并包裹保护层；连接锁头，包裹第二高压绝缘层的至少部分，连接锁头包括第二端，第二端自第一端露出，第二端设有第一通孔，探针自第一通孔露出；及锁件，穿过第一通孔后与第一端的内侧壁固定连接，以锁定探针。
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