垂直度测量探头及测量装置

    公开(公告)号:CN114894122B

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202210443972.2

    申请日:2022-04-26

    IPC分类号: G01B11/26

    摘要: 本申请提供了一种垂直度测量探头及测量装置。所述垂直度测量探头包括:第一透镜阵列,所述第一透镜阵列包括多个第一透镜,所述多个第一透镜用于将平行的第一光束分成会聚的多束第二光束,并分别聚焦至第一待测物面,然后经由所述多个第一透镜再分别接收被第一待测物面沿原光路反射或后向散射的多束第三光束,并合成平行的第四光束,所述第四光束可用于判断所述第一待测物面是否与第一预设基准线垂直,其中,所述第一预设基准线与所述多个第一透镜所在平面垂直。本申请提供的垂直度测量探头能够提高垂直度测量的精度。

    测厚探头、测厚装置及测厚方法

    公开(公告)号:CN115077401B

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202210890444.1

    申请日:2022-07-27

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本申请提供了一种测厚探头、测厚装置及测厚方法。测厚探头包括:准直镜,用于将发散的第一高斯光束转换为准直的第二高斯光束;以及光束转换组件,与准直镜间隔设置,用于将第二高斯光束转换为第一贝塞尔光束,输出的第一贝塞尔光束出射至透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面,光束转换组件还用于分别接收透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面反射的两束第一光束,并转换合成准直的第二光束,第二光束经由准直镜转换为会聚的第三光束,第三光束用于计算透明或半透明待测平板或薄膜的厚度。本申请提供的测厚探头通过光束转换输出第一贝塞尔光束进行测厚提高了测量量程,且在量程范围内保持了横向采样分辨率的一致。

    颜色传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN117723155B

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410179223.2

    申请日:2024-02-18

    IPC分类号: G01J3/50 G01J3/02 G01J3/46

    摘要: 本申请提供一种颜色传感器,包括光源、发射镜组、接收镜组及光敏元件组。发射镜组包括第一透镜。接收镜组包括第二透镜。光敏元件组包括朝向接收镜组的感光面。感光面包括沿第一方向依次排列且对应三原色的第一像素区域、第二像素区域和第三像素区域。被测物位于第一测量位置时对应的第一接收光斑的第一光斑区域覆盖感光面,第二光斑区域位于感光面之外。被测物位于第二测量位置时对应的第二接收光斑的第三光斑区域位于感光面之外,第四光斑区域覆盖感光面。本申请提供的颜色传感器能够保证不同测量距离下颜色识别的一致性,且能够降低噪声,提高不同测量距离下对于灰度值辨别的准确性。

    锂电池极片边缘破损检测方法及边缘传感器

    公开(公告)号:CN116840247A

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202310781086.5

    申请日:2023-06-28

    IPC分类号: G01N21/892 G01N21/01

    摘要: 本申请涉及锂离子电池技术领域,公开了一种锂电池极片边缘破损检测方法及边缘传感器,锂电池极片边缘破损检测方法,包括:在锂电池极片处于卷绕状态下,获取面阵感光器件瞬时采集的长条矩形面阵图像;基于激光衍射原理与长条矩形面阵图像,提取得到极片边缘位置的第一测量值;计算长条矩形面阵图像的遮光比,基于遮光比确定极片边缘位置的第二测量值;根据一系列连续瞬时得到的第一测量值与第二测量值,确定锂电池极片边缘的破损情况。通过在锂电池极片处于卷绕状态下,根据基于激光衍射原理提取得到的第一测量值与基于遮光比确定的第二测量值,确定锂电池极片边缘的破损情况,本申请能够提高在卷绕情况下对锂电池极片边缘破损检测的准确性。

    颜色传感器
    5.
    发明公开
    颜色传感器 审中-实审

    公开(公告)号:CN118129912A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410554128.6

    申请日:2024-05-07

    摘要: 本申请提供一种颜色传感器。本申请的颜色传感器包括:光源,用于发射检测光线;发射透镜组,所述发射透镜组设置于所述光源的一侧,用于将所述检测光线会聚后投射至被测物,所述发射透镜组具有光轴;接收反射镜,所述接收反射镜设置于所述发射透镜组背离所述光源的一侧,所述接收反射镜的中心位于所述光轴上,所述接收反射镜包括透光部及反射部,所述反射部环绕所述透光部的外周设置,所述透光部用于透过经所述发射透镜组出射的所述检测光线,所述反射部用于反射经被测物反射后的所述检测光线;以及感光元件,设置于所述接收反射镜背离所述发射透镜组的一侧,所述感光元件用于检测经所述反射部反射的所述检测光线,以识别所述被测物的颜色信息。

    倾角测量探头及测量装置

    公开(公告)号:CN114964157B

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202210443977.5

    申请日:2022-04-26

    IPC分类号: G01C9/00 G01B11/26

    摘要: 本申请提供了一种倾角测量探头及测量装置。所述倾角测量探头包括:透镜阵列,所述透镜阵列包括第一透镜、第二透镜及第三透镜,所述第一透镜与所述第二透镜在第一方向上对齐,所述第二透镜与所述第三透镜在第二方向上对齐,其中,所述第二方向垂直于所述第一方向;以及偏振片阵列,所述偏振片阵列包括第一偏振片、第二偏振片及第三偏振片,所述第一偏振片对应所述第一透镜设置,所述第二偏振片对应所述第二透镜设置,所述第三偏振片对应所述第三透镜设置,且所述第二偏振片为45°线偏振片,所述第一偏振片及所述第三偏振片中一者为0°线偏振片,另一者为90°线偏振片。本申请提供的倾角测量探头能够提高倾角测量的精度。

    测距装置及测距方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114966724B

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202210890443.7

    申请日:2022-07-27

    IPC分类号: G01S17/08 G01S7/481

    摘要: 本申请提供了一种测距装置及测距方法。测距装置包括:宽谱光源,用于输出初始高斯光束;光分合器,用于将初始高斯光束分束为第一高斯光束及第二高斯光束;测距探头,用于将第一高斯光束转换为第一贝塞尔光束并输出至待测物面,并将返回的第一光束转换为第二光束;参考组件,透镜组件用于将第二高斯光束转换为第三光束出射至参考物面,并将返回的第四光束转换为第五光束;光分合器还用于将第五光束与第二光束合束为第六光束;光谱仪,接收第六光束并进行功率谱测量得到干涉功率谱;以及数据处理机,接收干涉功率谱并计算光程差。本申请提供的测距装置在提高横向采样分辨率的同时,还提高了纵向测距量程,并保持了量程范围内横向采样分辨率的一致。

    一种倾角位移传感器及光学防抖系统

    公开(公告)号:CN116892883B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202311166194.8

    申请日:2023-09-11

    IPC分类号: G01B11/02 G01C9/00 G01C9/02

    摘要: 本申请涉及一种倾角位移传感器及光学防抖系统,倾角位移传感器包括第一分束镜、第二分束镜和CMOS感光器;第二分束镜配置将穿过第一分束镜的检测激光线引导至待检传感器并将经过待检传感器反射的检测激光线反射至第一分束镜;第一分束镜配置为将经由第二分束镜反射的检测激光线反射至CMOS感光器;色散镜,配置为将检测多色光束进行色散;第三分束镜,配置为将经过色散且在待检传感器发生反射的多波长混合光线组反射至光阑处。本申请公开的倾角位移传感器及光学防抖系统,使用位移测量的光线与用于倾角测量的光线共轴的方式来避免位移测量值受待检面倾角测量值的影响,用以在能够以更快的速度进行检测的同时降低制造成本和减小空间占用。

    平行度测量探头及测量装置

    公开(公告)号:CN115046500B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202210443998.7

    申请日:2022-04-26

    IPC分类号: G01B11/26 G01C15/00

    摘要: 本申请提供了一种平行度测量探头及测量装置。平行度测量探头包括第一透镜阵列,第一透镜阵列包括多个第一透镜,多个第一透镜将平行的第一光束分成会聚的多束第二光束并出射,然后经由多个第一透镜再分别接收返回的发散的多束第三光束并合成平行的第四光束;第二透镜阵列,第二透镜阵列与第一透镜阵列间隔平行设置,第二透镜阵列包括多个第二透镜,多个第二透镜将平行的第一光束分成会聚的多束第五光束并出射,然后经由多个第二透镜再分别接收返回的发散的多束第六光束并合成平行的第七光束;分束镜,分束镜对应第一透镜阵列设置;以及反射镜,反射镜对应第二透镜阵列设置。本申请提供的平行度测量探头能够提高两物面平行度测量的精度。

    位移测量探头、测量装置及位移测量方法

    公开(公告)号:CN115096194A

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202210890553.3

    申请日:2022-07-27

    IPC分类号: G01B11/02

    摘要: 本申请提供了一种位移测量探头、测量装置及位移测量方法。位移测量探头包括:光束输出组件,用于输出准直的第一高斯光束;光束转换组件,用于将准直的第一高斯光束转换为第一贝塞尔光束并出射至待测物面;成像组件,成像组件包括成像透镜及线阵图像传感器,成像透镜的光轴与第一贝塞尔光束成第一角度,成像透镜用于对第一贝塞尔光束照射在待测物面所形成的亮斑成像,线阵图像传感器与光轴成第二角度设置,用于接收成像透镜对亮斑所成的亮斑图像,亮斑图像用于计算待测物面相对基准面的位移。本申请提供的位移测量探头能以高横向分辨率对具有精细台阶式轮廓的物面进行高纵向分辨率位移测量的同时,增大测量量程。