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公开(公告)号：CN112680702B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202011494634.9
申请日：2020-12-17
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
发明人： 汪选林
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明公开了一种靶体可移动的平面靶结构，包括：安装座，安装座上设有第一驱动机构和第二驱动机构；第一挡板，第一挡板与安装座固定相连，第一挡板限定出容纳腔，容纳腔的的一侧敞开形成工作口；第二挡板，第二挡板与安装座转动相连，第一驱动机构与第二挡板相连，第一驱动机构用于驱动第二挡板转动以打开或关闭工作口；靶体，靶体位于容纳腔内，靶体的上端设有靶头，靶头与安装座滑动相连，第二驱动机构与靶头相连，第二驱动机构用于驱动靶头滑动以使得靶头和靶体的至少部分通过工作口滑出容纳腔外或滑入容纳腔内。本装置中的靶体位置可根据需要进行改变，能够根据靶材的不同来调整靶基距，结构简单，便于实现。
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公开(公告)号：CN110373644B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201910702317.2
申请日：2019-07-31
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要： 一种光学炫彩薄膜及制作方法，该方法包括：S1、在基底材料表面沉积TiO2层作为第一层；S2、在所述第一层上沉积SiO2层作为第二层；S3、在所述第二层上沉积TiO2层作为第三层；S4、在所述第三层上沉积SiO2层作为第四层；S5、在所述第四层上沉积TiO2层作为第五层；S6、在所述第五层上沉积SiO2层作为第六层；S7、在所述第六层上沉积TiO2层作为第七层；其中，控制所述多层膜的沉积过程，使所述多层膜产生炫彩颜色，并在保持炫彩颜色的状态下持续沉积所述第七层即最外层40～50分钟。本发明大大地改善了光学薄膜的耐磨性能，同时又保证了光学薄膜的炫彩效果。
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公开(公告)号：CN115613000A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211208611.6
申请日：2022-09-30
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要： 本发明公开了一种适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器，该真空镀膜器中包括有炉体；用于搭载靶材进行镀膜加工的靶材组件；用于搭载基材进行镀膜加工的基材组件；沿其周向开设多个基材槽的转盘；以及，用于输出驱动力的中心驱动器；靶材组件、基材组件以及转盘均设置在炉体内；靶材组件与炉体连接；中心驱动器与炉体连接，转盘套在中心驱动器的动力输出轴上并与其连接；基材组件与基材槽相适配，基材组件均嵌入基材槽中，且每一个基材组件均与转盘可拆卸式连接。相比于现有技术，本申请提供的适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器具有工位多且适应性强、驱动方便、便于灵活使用的有益效果。
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公开(公告)号：CN110373644A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910702317.2
申请日：2019-07-31
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要： 一种光学炫彩薄膜及制作方法，该方法包括：S1、在基底材料表面沉积TiO2层作为第一层；S2、在所述第一层上沉积SiO2层作为第二层；S3、在所述第二层上沉积TiO2层作为第三层；S4、在所述第三层上沉积SiO2层作为第四层；S5、在所述第四层上沉积TiO2层作为第五层；S6、在所述第五层上沉积SiO2层作为第六层；S7、在所述第六层上沉积TiO2层作为第七层；其中，控制所述多层膜的沉积过程，使所述多层膜产生炫彩颜色，并在保持炫彩颜色的状态下持续沉积所述第七层即最外层40～50分钟。本发明大大地改善了光学薄膜的耐磨性能，同时又保证了光学薄膜的炫彩效果。
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公开(公告)号：CN108914060A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810753049.2
申请日：2018-07-10
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/35 , H01M8/0228
摘要： 本发明公开了一种燃料电池双极板表面防护涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、设置镀膜室的靶材配置为一对Cr靶和一对Ta靶，并将Ta靶和Cr靶分别放置在镀膜设备的两端；S2、将燃料电池双极板的基底材料放入所述镀膜室中，采用等离子体增强磁控溅射技术进行真空镀膜，在所述燃料电池双极板的表面沉积CrN/TaN超晶格膜层。与现有技术相比，本发明充分结合氮化铬的耐腐蚀性、氮化钽的硬度和耐腐蚀性，复合后的多层膜在耐腐蚀性、韧性和耐磨性方面都有大幅提升，在表面制备的贵金属或非晶碳膜可以提供优异的导电性，从而可以满足燃料电池金属双极板的高导电耐蚀和长时间使用要求。
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公开(公告)号：CN112680702A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011494634.9
申请日：2020-12-17
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
发明人： 汪选林
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明公开了一种靶体可移动的平面靶结构，包括：安装座，安装座上设有第一驱动机构和第二驱动机构；第一挡板，第一挡板与安装座固定相连，第一挡板限定出容纳腔，容纳腔的的一侧敞开形成工作口；第二挡板，第二挡板与安装座转动相连，第一驱动机构与第二挡板相连，第一驱动机构用于驱动第二挡板转动以打开或关闭工作口；靶体，靶体位于容纳腔内，靶体的上端设有靶头，靶头与安装座滑动相连，第二驱动机构与靶头相连，第二驱动机构用于驱动靶头滑动以使得靶头和靶体的至少部分通过工作口滑出容纳腔外或滑入容纳腔内。本装置中的靶体位置可根据需要进行改变，能够根据靶材的不同来调整靶基距，结构简单，便于实现。
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公开(公告)号：CN110373645B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201910702325.7
申请日：2019-07-31
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要： 一种超黑色耐磨涂层，在基底材料表面由内至外依次沉积Ti层、第一WTiAlSiN层、第二WTiAlSiN层、WC层，这种多层膜结构中，最下层为由Ti靶形成的纯Ti层，中间两层为由WTiAlSi四种混合靶掺氮形成的过渡层和功能层，表面是由W靶掺乙炔形成的WC层进行颜色的覆盖，相比传统的黑色涂层，具有上述四层结构的涂层不仅颜色超黑，而且硬度和耐磨性大大提高，其超黑色、高耐磨性能显著优于现有涂层。该涂层的制作工艺简单，成本低。该涂层及其制作工艺尤其适于钟表、3C电子产品壳体等的涂层应用。
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公开(公告)号：CN108914060B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201810753049.2
申请日：2018-07-10
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/35 , H01M8/0228
摘要： 本发明公开了一种燃料电池双极板表面防护涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、设置镀膜室的靶材配置为一对Cr靶和一对Ta靶，并将Ta靶和Cr靶分别放置在镀膜设备的两端；S2、将燃料电池双极板的基底材料放入所述镀膜室中，采用等离子体增强磁控溅射技术进行真空镀膜，在所述燃料电池双极板的表面沉积CrN/TaN超晶格膜层。与现有技术相比，本发明充分结合氮化铬的耐腐蚀性、氮化钽的硬度和耐腐蚀性，复合后的多层膜在耐腐蚀性、韧性和耐磨性方面都有大幅提升，在表面制备的贵金属或非晶碳膜可以提供优异的导电性，从而可以满足燃料电池金属双极板的高导电耐蚀和长时间使用要求。
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公开(公告)号：CN115365214A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210943866.0
申请日：2022-08-04
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要： 本发明公开了一种自动清洗机，该清洗机包括有吊装机械手组件、至少一个上下料组件以及至少一个清洗槽组件；所有的清洗槽组件按序排列，上下料组件设置在清洗槽组件的上游位置或下游位置处，且上下料组件与清洗槽组件接续形成连续的自动化清洗流水线；吊装机械手组件设置在上下料组件以及清洗槽组件的上方；该自动清洗机结构简洁，具有良好的可拓展性，可根据实际滚轴的清洗需要接续不同数量的清洗槽组件以分次、多次清洗。本发明中还有一种自动清洗机的自动清洗方法，该清洗方法上述的自动清洗机，本发明的另一个目的在于提供一种自动清洗机的自动清洗方法，该清洗方法操作便捷、自动化程度高，清洗效果良好，便于广泛推广。
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公开(公告)号：CN110373645A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910702325.7
申请日：2019-07-31
申请人： 深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要： 一种超黑色耐磨涂层，在基底材料表面由内至外依次沉积Ti层、第一WTiAlSiN层、第二WTiAlSiN层、WC层，这种多层膜结构中，最下层为由Ti靶形成的纯Ti层，中间两层为由WTiAlSi四种混合靶掺氮形成的过渡层和功能层，表面是由W靶掺乙炔形成的WC层进行颜色的覆盖，相比传统的黑色涂层，具有上述四层结构的涂层不仅颜色超黑，而且硬度和耐磨性大大提高，其超黑色、高耐磨性能显著优于现有涂层。该涂层的制作工艺简单，成本低。该涂层及其制作工艺尤其适于钟表、3C电子产品壳体等的涂层应用。
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