用于清洗表面有机物和金属氧化物的等离子体处理装置

    公开(公告)号:CN118847622A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202410878399.7

    申请日:2024-07-02

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于清洗表面有机物和金属氧化物的等离子体处理装置,其包括第一壳体、供气组件、抽气组件和等离子体发生组件,第一壳体具有内腔;供气组件用于向内腔中输送工作气体;抽气组件用于抽排内腔中的气体;等离子体发生组件包括功率源和线圈,线圈设在内腔中,功率源与线圈连接,等离子体发生组件利用微波源通过电感耦合放电方式使通入内腔中的工作气体产生等离子体,提高等离子体密度和清洗效果,避免对物品表面造成的破坏。本发明还通过设置压力控制组件、加热组件和光纤光谱仪,能够对内腔中的气压、温度、电子密度等反应参数进行监控和调节,优化和提高等离子体清洗的效果,并为等离子体清洗技术的研究提供技术支持。

    一种细胞裂解系统和方法

    公开(公告)号:CN107090403B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201710175299.8

    申请日:2017-03-22

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明实施例公开一种细胞裂解系统和方法,所述系统包括:微流控芯片、驱动模块、控制模块、和电源模块;微流控芯片包括基片层和柔性聚合物膜层,柔性聚合物膜层与基片层键合连接,基片层上设置有沟道,沟道上设置有样品入口和裂解细胞出口,样品入口和裂解细胞出口之间设置有细胞裂解区;柔性聚合物膜层上设置有与样品入口和裂解细胞出口对应通孔;驱动模块包括入口控制阀、出口控制阀和带有挤压装置的驱动机构,其中,驱动机构带动挤压装置在柔性聚合物膜层上细胞裂解区对应的位置处进行运动和挤压;控制模块与驱动模块连接,电源模块与控制模块和驱动模块分别连接。所述方法为上述系统的使用方法。本发明实施例提高了细胞裂解系统的小型化。

    一种细胞裂解系统和方法

    公开(公告)号:CN107090403A

    公开(公告)日:2017-08-25

    申请号:CN201710175299.8

    申请日:2017-03-22

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明实施例公开一种细胞裂解系统和方法,所述系统包括:微流控芯片、驱动模块、控制模块、和电源模块;微流控芯片包括基片层和柔性聚合物膜层,柔性聚合物膜层与基片层键合连接,基片层上设置有沟道,沟道上设置有样品入口和裂解细胞出口,样品入口和裂解细胞出口之间设置有细胞裂解区;柔性聚合物膜层上设置有与样品入口和裂解细胞出口对应通孔;驱动模块包括入口控制阀、出口控制阀和带有挤压装置的驱动机构,其中,驱动机构带动挤压装置在柔性聚合物膜层上细胞裂解区对应的位置处进行运动和挤压;控制模块与驱动模块连接,电源模块与控制模块和驱动模块分别连接。所述方法为上述系统的使用方法。本发明实施例提高了细胞裂解系统的小型化。

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