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公开(公告)号：CN117766365A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311737884.4
申请日：2023-12-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种基于高重频微波加速的高能电子显微系统，该系统对应的方法包括：利用电子枪产生初始电子束；对初始电子束进行压缩或加速，得到第一电子束；对第一电子束中的电子进行能散降低或加速操作，得到第二电子束；对第二电子束电子的横向尺寸进行整形处理，得到第三电子束；利用探测器对第三电子束中经过待探测的样品后散射的电子进行成像。本发明可解决商用直流电镜能量低、传统高能直流电镜体积大、微波加速电子显微系统流强低、能散大的问题。
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公开(公告)号：CN113053710B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202110272263.8
申请日：2021-03-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种电子层叠成像系统，具有光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪的光阴极表面的电子受驱动激光脉冲的激发而产生电子束团；磁透镜，所述磁透镜用于对所述电子束团进行横向调制；聚束腔，该聚束腔用于对所述电子束团进行纵向调制；样品室，该样品室用于放置待测样品，样品与所述样品室能够相对于运动以使所述电子束团在样品不同位置处成像；探测装置，该探测装置用于探测与所述样品室内放置的样品作用后的成像电子束获得成像信息；图像重建装置，该图像重建装置用于根据所述探测装置获得的成像信息对样品进行图像重建。
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公开(公告)号：CN118847622A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410878399.7
申请日：2024-07-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种用于清洗表面有机物和金属氧化物的等离子体处理装置，其包括第一壳体、供气组件、抽气组件和等离子体发生组件，第一壳体具有内腔；供气组件用于向内腔中输送工作气体；抽气组件用于抽排内腔中的气体；等离子体发生组件包括功率源和线圈，线圈设在内腔中，功率源与线圈连接，等离子体发生组件利用微波源通过电感耦合放电方式使通入内腔中的工作气体产生等离子体，提高等离子体密度和清洗效果，避免对物品表面造成的破坏。本发明还通过设置压力控制组件、加热组件和光纤光谱仪，能够对内腔中的气压、温度、电子密度等反应参数进行监控和调节，优化和提高等离子体清洗的效果，并为等离子体清洗技术的研究提供技术支持。
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公开(公告)号：CN113053710A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110272263.8
申请日：2021-03-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种电子层叠成像系统，具有光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪的光阴极表面的电子受驱动激光脉冲的激发而产生电子束团；磁透镜，所述磁透镜用于对所述电子束团进行横向调制；聚束腔，该聚束腔用于对所述电子束团进行纵向调制；样品室，该样品室用于放置待测样品，样品与所述样品室能够相对于运动以使所述电子束团在样品不同位置处成像；探测装置，该探测装置用于探测与所述样品室内放置的样品作用后的成像电子束获得成像信息；图像重建装置，该图像重建装置用于根据所述探测装置获得的成像信息对样品进行图像重建。
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