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公开(公告)号:CN116209131A
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202111443651.4
申请日:2021-11-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本公开的实施例涉及电子束团注入系统和极紫外(EUV)光源。该电子束团注入系统包括:光阴极电子枪、直线加速器和展束环。光阴极电子枪用于产生特定时间结构、特定电荷量的电子束团串,直线加速器用于对电子枪产生的电子束团串进行加速并保证其发射度在一定的范围内,展束环用于对多个电子束团进行展束,以形成长度至少为1ns的连续电子束团。该注入系统可以为一种加速器型的极紫外光源装置提供高流强的均匀电子源,从而实现kW量级的EUV平均输出功率。
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公开(公告)号:CN110911257B
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN201911199796.7
申请日:2019-11-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明实施例提供一种多焦点脉冲X射线光管及CT设备,包括:阶梯形阳极靶、多个阴极,以及与多个阴极相对应的多个聚焦电极;所述多个阴极发射电子束后经各自对应的聚焦电极进行聚焦后入射到所述阶梯形阳极靶上,使得在所述阶梯形阳极靶上产生多个焦点;焦点在X轴方向上的距离通过调节阴极的间距来实现,焦点在Z轴方向上的距离通过调节阶梯形阳极靶不同阶梯面的距离来实现。本发明实施例提供的多焦点脉冲X射线光管,由于其阳极靶为阶梯形结构,因此可以通过调节阶梯形阳极靶不同阶梯面的距离,来调节多个阴极发射的电子束入射到阳极靶上产生多个焦点的距离,从而满足不同的成像应用场合。
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公开(公告)号:CN110944439B
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN201911034934.6
申请日:2019-10-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种极紫外光源装置,包括:电子源(2),该电子源提供电子束流;注入段(3),该注入段加速所述电子束流以形成具有一定能量一定长度的电子束流;储存环(4),所述储存环被设计为能约束电子束流做环形运动;其中,所述注入段(3)将所述电子束流在加速后注入到所述储存环(4)内,其中,所述储存环(4)还包括:一个或多个辐射段,每个所述辐射段包括激光调制段(5)、束团压缩段(61)、辐射波荡器、束团拉伸段(62)、激光反调制段(7);一个或多个增能段(8),所述增能段被设计用于为所述储存环(4)中的电子束流补充能量。
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公开(公告)号:CN110391894B
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN201910817436.2
申请日:2019-08-30
Applicant: 清华大学 , 北京合志超越科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种同步系统的接收端、同步系统及粒子加速器。该同步系统的接收端包括:同步终端,设置在用于发送参考信号的发送端与相位处理装置之间,包括发送端相变获得装置与接收端相变获得装置;相位处理装置,设置在同步终端与负载之间,其中,发送端相变获得装置获得参考信号从发送端传送到同步终端的相位变化并传送给相位处理装置;接收端相变获得装置按时序切换参考信号与来自负载的反馈信号到相位处理装置的导通,以使得相位处理装置基于参考信号和反馈信号在接收端相变获得装置处的相位差与参考信号的相位变化,得到要发送给负载的驱动信号的相位。由此,本发明能够提高发送端与接收端的锁相精度,提高同步系统的精度。
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公开(公告)号:CN107481912B
公开(公告)日:2019-06-11
申请号:CN201710842782.7
申请日:2017-09-18
Applicant: 同方威视技术股份有限公司 , 清华大学
IPC: H01J35/08
Abstract: 本申请公开一种阳极靶、射线光源、计算机断层扫描设备及成像方法。涉及射线处理技术领域,该阳极靶包括:第一阳极靶,用于通过其上承载的第一电压使得由阴极发射出的电子束在所述第一阳极靶的靶点上产生第一射线;第二阳极靶,用于通过其上承载的第二电压使得由阴极发射出的电子束在所述第二阳极靶的靶点上产生第二射线;以及陶瓷板,用于隔离所述第一阳极靶与所述第二阳极靶。本申请的阳极靶、射线光源、计算机断层扫描设备及成像方法,能够提供双能分布式射线成像数据,提高射线系统的成像质量。
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公开(公告)号:CN107481912A
公开(公告)日:2017-12-15
申请号:CN201710842782.7
申请日:2017-09-18
Applicant: 同方威视技术股份有限公司 , 清华大学
IPC: H01J35/08
Abstract: 本申请公开一种阳极靶、射线光源、计算机断层扫描设备及成像方法。涉及射线处理技术领域,该阳极靶包括:第一阳极靶,用于通过其上承载的第一电压使得由阴极发射出的电子束在所述第一阳极靶的靶点上产生第一射线;第二阳极靶,用于通过其上承载的第二电压使得由阴极发射出的电子束在所述第二阳极靶的靶点上产生第二射线;以及陶瓷板,用于隔离所述第一阳极靶与所述第二阳极靶。本申请的阳极靶、射线光源、计算机断层扫描设备及成像方法,能够提供双能分布式射线成像数据,提高射线系统的成像质量。
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公开(公告)号:CN104470176B
公开(公告)日:2017-11-14
申请号:CN201310427001.X
申请日:2013-09-18
Applicant: 同方威视技术股份有限公司 , 清华大学
CPC classification number: H01J35/06 , H01J35/12 , H01J35/16 , H01J35/24 , H01J2235/068 , H01J2235/087 , H05G1/10 , H05G1/70
Abstract: 本发明提供一种曲面阵列分布式X射线装置,其特征在于,具备:真空盒,四周密封并且内部为高真空;多个电子发射单元,以在曲面上沿所述曲面的轴线方向面向所述轴线排列多排的方式配置在所述真空盒的壁上;阳极,由金属构成并且以布置在所述轴线上的方式配置在所述真空盒内,包括阳极管道和阳极靶面;电源与控制系统,具有与所述阳极连接的高压电源、与所述多个电子发射单元的每一个连接的灯丝电源、与所述多个电子发射单元的每一个连接的栅极控制装置、用于对各电源进行控制的控制系统。
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公开(公告)号:CN107306474A
公开(公告)日:2017-10-31
申请号:CN201610239844.0
申请日:2016-04-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种医用电子直线加速器,包括高压脉冲调制器、微波功率源、微波传输机构和加速管,所述高压脉冲调制器与所述微波功率源连接,所述微波传输机构分别与所述微波功率源和所述加速管连接,所述微波功率源固定安装在一机架上,所述微波传输机构包括:环流器或隔离器,与所述微波功率源连接;以及多个波导,所述多个波导之间分别通过多个波导旋转接头顺序连接,所述波导旋转接头能调整任意两个所述波导之间的夹角,所述环流器或隔离器与所述多个波导的第一波导连接,所述加速管与所述多个波导的最末波导连接,所述加速管在所述多个波导的带动下实现空间位置的调整和移动。
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公开(公告)号:CN104465279B
公开(公告)日:2017-08-25
申请号:CN201310426917.3
申请日:2013-09-18
Applicant: 清华大学 , 同方威视技术股份有限公司
Abstract: 本发明的外置热阴极分布式X射线装置具备:真空盒,四周密封且内部为高真空;多个电子发射单元,每个电子发射单元互相独立且排成线形阵列安装在真空盒的侧壁上;阳极,安装在真空盒内的中部,在长度方向上与电子发射单元的排列线平行且在宽度方向上与电子发射单元的安装平面形成预定角度的夹角;电源与控制系统,具有高压电源、聚焦电源、发射控制装置及控制系统,电子发射单元具有:加热灯丝;与加热灯丝连接的阴极;包围阴极与灯丝的绝缘支撑件;聚焦极,以位于阴极的上方的方式配置在绝缘支撑件的顶端;连接固定件,配置在所述聚焦极的上方,与所述真空盒的盒壁密封连接,灯丝引线穿过绝缘支撑件与发射控制装置连接。
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公开(公告)号:CN104470192A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201310432067.8
申请日:2013-09-22
Applicant: 同方威视技术股份有限公司 , 清华大学
IPC: H05H9/00
CPC classification number: H05H7/22 , H05H7/02 , H05H7/18 , H05H9/00 , H05H9/048 , H05H2007/027 , H05H2007/227
Abstract: 公开了一种电子直线加速器系统。在本发明中,提出了快速切换的双路微波系统,其中一路可直接接入加速管,另一路可通过衰减器、功分器、脉冲压缩器甚至放大器等器件改变微波功率的大小,然后再输入到加速管,以此实现对加速器输入功率进行快速切换,调变加速器的输出能量。
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