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公开(公告)号：CN101408404B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810227374.1
申请日：2008-11-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用于测试曲面间隙的柔顺式双层电涡流传感器的制备方法，属于传感器技术领域。首先在聚酰亚胺薄膜基底上开孔，在聚酰亚胺薄膜基底正反两个表面以及开孔上分别覆合铜箔，在正面铜箔进行光刻，以开孔为中心形成电涡流线圈，在每个电涡流线圈的一侧形成外引线，在反面铜箔进行光刻，在开孔之间形成内引线，得到上层电涡流传感器；重复上述过程，得到下层电涡流传感器；用密封胶使上述上、下层电涡流传感器相互粘结。本发明方法制备的电涡流传感器，由于电磁场的叠加效应，具有高的测试精度和分辨率。电涡流线圈及其基底材料具有良好的柔顺性，可以测试任意曲面形状之间的间隙，适合安装在狭小的空间中进行测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101408404A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810227374.1
申请日：2008-11-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用于测试曲面间隙的柔顺式双层电涡流传感器的制备方法，属于传感器技术领域。首先在聚酰亚胺薄膜基底上开孔，在聚酰亚胺薄膜基底正反两个表面以及开孔上分别覆合铜箔，在正面铜箔进行光刻，以开孔为中心形成电涡流线圈，在每个电涡流线圈的一侧形成外引线，在反面铜箔进行光刻，在开孔之间形成内引线，得到上层电涡流传感器；重复上述过程，得到下层电涡流传感器；用密封胶使上述上、下层电涡流传感器相互粘结。本发明方法制备的电涡流传感器，由于电磁场的叠加效应，具有高的测试精度和分辨率。电涡流线圈及其基底材料具有良好的柔顺性，可以测试任意曲面形状之间的间隙，适合安装在狭小的空间中进行测量。
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公开(公告)号：CN101464126B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910076122.8
申请日：2009-01-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种测量曲面间隙和力的集成化柔顺式传感器的制备方法，属于传感器技术领域。分别制备平面电涡流敏感元件和超薄柔顺导电高分子敏感元件：利用定位胶和封装胶，将已经粘贴超薄柔顺导电高分子敏感元件的平面电涡流敏感元件的基底周边涂覆具有热固性的封装胶，利用封装胶将另一层平面电涡流敏感元件粘附在表面，得到集成化柔顺式传感器，粘附时，使上、下两层平面电涡流线圈、内引线和开孔分别相对。本方法制备的传感器，能够同时测量曲面间隙和挤压力；可以贴附在任意形状的表面间进行测量，适合安装在狭小的空间进行测量；能应用在高温、辐射等测量场合；而且测量量程宽，测量精度高。
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公开(公告)号：CN101458076A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200910076121.3
申请日：2009-01-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01B21/16
Abstract: 本发明涉及一种球面间隙的测量方法，属于测量技术领域。首先在被测两球面的里侧球面上，通过球心任意截取互相垂直的两个大圆，分别沿两个大圆的圆周线均匀分布四个测点，以被测两球面的里侧球面球心为原点，建立直角坐标系，以直角坐标系为基础，建立球面坐标系，分别得到被测两球面半径，每个测点与被测两球面的外侧球面之间的相应距离，根据折线距离计算得到被测两球面的外侧球面的球心坐标，从而计算出被测两球面的里侧球面上任意一点M与外侧球面之前的距离。本发明测量方法，精确、快速、有效的对球面间隙测量数据进行处理，能够用于测量间隙为0～2mm的球面间距离，测量分辨率为：0.001mm；测量精度为±0.02mm。
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公开(公告)号：CN101464126A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200910076122.8
申请日：2009-01-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种测量曲面间隙和力的集成化柔顺式传感器的制备方法，属于传感器技术领域。分别制备平面电涡流敏感元件和超薄柔顺导电高分子敏感元件：利用定位胶和封装胶，将已经粘贴超薄柔顺导电高分子敏感元件的平面电涡流敏感元件的基底周边涂覆具有热固性的封装胶，利用封装胶将另一层平面电涡流敏感元件粘附在表面，得到集成化柔顺式传感器，粘附时，使上、下两层平面电涡流线圈、内引线和开孔分别相对。本方法制备的传感器，能够同时测量曲面间隙和挤压力；可以贴附在任意形状的表面间进行测量，适合安装在狭小的空间进行测量；能应用在高温、辐射等测量场合；而且测量量程宽，测量精度高。
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公开(公告)号：CN101408569A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810227373.7
申请日：2008-11-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01R27/26
Abstract: 本发明涉及一种用于检测微小平面线圈电感的振荡电路，属于电子检测技术领域。其中，电阻Rc2与电源和三极管的集电极相连接，电容C7与三极管的发射极相连接，三极管的发射极与电阻Re2和电容相连接，电阻Re2和电容C8分别接地，电阻Rb3的与电源和三极管的基极相连接，基极同时与电阻Rb4和电容Cb2相连接，电阻Rb4、电容Cb2分别接地，集电极与电容C9的一端相连接，电容C9与电感Ls相连接，电感Ls与电感Lp和被测平面线圈L3相连接，并分别接地。本发明的振荡电路，将敏感线圈并联电感Lp后接入电容三点式振荡电路，从而有效地提高了电路系统的品质因素，使电涡流线圈的信号输出稳定。
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