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公开(公告)号：CN113517167A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110405488.6
申请日：2021-04-15
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/26
摘要： 本发明公开了一种电子透镜球差调节装置、电子透镜装置和电子显微镜系统，主要包括：微波腔组，与电子透镜共同设置于电子束的传播方向上；微波功率源，连接于微波腔组，为微波腔组提供能量。本发明利用由微波功率源提供能量的微波腔组对入射电子束进行球差控制，进而在电子束经过微波腔组和电子透镜后，微波腔组对电子束所产生的负球差与电子透镜对电子束所产生的正球差相抵消，从而当电子束通过整个电子透镜装置或整个电子显微镜系统后便能够减小甚至消除由电子透镜所产生的球差，提高了电子显微镜空间分辨率。另外，本发明在电子束路径上的设备器件占用空间更小、重量更轻，有利于电子透镜装置和电子显微镜系统的装配和调节以及降低设备成本。
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公开(公告)号：CN116209131A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202111443651.4
申请日：2021-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 本公开的实施例涉及电子束团注入系统和极紫外(EUV)光源。该电子束团注入系统包括：光阴极电子枪、直线加速器和展束环。光阴极电子枪用于产生特定时间结构、特定电荷量的电子束团串，直线加速器用于对电子枪产生的电子束团串进行加速并保证其发射度在一定的范围内，展束环用于对多个电子束团进行展束，以形成长度至少为1ns的连续电子束团。该注入系统可以为一种加速器型的极紫外光源装置提供高流强的均匀电子源，从而实现kW量级的EUV平均输出功率。
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公开(公告)号：CN113517167B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202110405488.6
申请日：2021-04-15
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/26
摘要： 本发明公开了一种电子透镜球差调节装置、电子透镜装置和电子显微镜系统，主要包括：微波腔组，与电子透镜共同设置于电子束的传播方向上；微波功率源，连接于微波腔组，为微波腔组提供能量。本发明利用由微波功率源提供能量的微波腔组对入射电子束进行球差控制，进而在电子束经过微波腔组和电子透镜后，微波腔组对电子束所产生的负球差与电子透镜对电子束所产生的正球差相抵消，从而当电子束通过整个电子透镜装置或整个电子显微镜系统后便能够减小甚至消除由电子透镜所产生的球差，提高了电子显微镜空间分辨率。另外，本发明在电子束路径上的设备器件占用空间更小、重量更轻，有利于电子透镜装置和电子显微镜系统的装配和调节以及降低设备成本。
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公开(公告)号：CN111769017B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202010664695.9
申请日：2020-07-10
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J3/02
摘要： 本发明涉及一种光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪包括：若干加速腔，所述加速腔沿轴线相互连通；光阴极，所述光阴极布置在所述加速腔的轴线上；波导管(102)，所述波导管(102)与所述加速腔相连通；阴极盘(121)，所述阴极盘(121)的盘面中心容纳所述光阴极，所述阴极盘(121)的围绕盘面中心的位置处设有若干真空通道(123)，每个所述真空通道(123)连通所述阴极盘(121)的盘面两侧；以及真空腔(131)，所述真空腔(131)和所述加速腔分别连接所述阴极盘(121)的盘面两侧，通过所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)相互连通。
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公开(公告)号：CN111769017A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN202010664695.9
申请日：2020-07-10
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J3/02
摘要： 本发明涉及一种光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪包括：若干加速腔，所述加速腔沿轴线相互连通；光阴极，所述光阴极布置在所述加速腔的轴线上；波导管(102)，所述波导管(102)与所述加速腔相连通；阴极盘(121)，所述阴极盘(121)的盘面中心容纳所述光阴极，所述阴极盘(121)的围绕盘面中心的位置处设有若干真空通道(123)，每个所述真空通道(123)连通所述阴极盘(121)的盘面两侧；以及真空腔(131)，所述真空腔(131)和所述加速腔分别连接所述阴极盘(121)的盘面两侧，通过所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)相互连通。
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