公开(公告)号：CN106289068B

公开(公告)日：2018-10-30

申请号：CN201610587101.2

申请日：2016-07-22

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  倪畅 ,  成荣 ,  杨开明 ,  叶伟楠 ,  王磊杰 ,  丁思奇 ,  崔健章

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02

摘要： 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量方法，所述测量方法采用的测量系统包括读数头、测量光栅、电子信号处理部件。该二自由度测量方法为：读数头给出两束测量光以利特罗角入射至测量光栅，产生两束衍射光沿原路返回，读数头给出一个外差参考电信号和两个外差测量电信号输入至电子信号处理部件，经解算实现两个自由度的位移输出。该测量方法避免了偏振混叠，能实现纳米甚至更高分辨率及精度，且同时测量二自由度的大行程位移。应用该测量方法的测量系统具有对环境不敏感、结构紧凑、体积小、质量轻等优点，适用于光刻机超精密工件台、精密机床等需要多自由度精密位移测量的场合。

公开(公告)号：CN106289068A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610587101.2

申请日：2016-07-22

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  倪畅 ,  成荣 ,  杨开明 ,  叶伟楠 ,  王磊杰 ,  丁思奇 ,  崔健章

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02027

摘要： 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量方法，所述测量方法采用的测量系统包括读数头、测量光栅、电子信号处理部件。该二自由度测量方法为：读数头给出两束测量光以利特罗角入射至测量光栅，产生两束衍射光沿原路返回，读数头给出一个外差参考电信号和两个外差测量电信号输入至电子信号处理部件，经解算实现两个自由度的位移输出。该测量方法避免了偏振混叠，能实现纳米甚至更高分辨率及精度，且同时测量二自由度的大行程位移。应用该测量方法的测量系统具有对环境不敏感、结构紧凑、体积小、质量轻等优点，适用于光刻机超精密工件台、精密机床等需要多自由度精密位移测量的场合。

公开(公告)号：CN106017308B

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201610589089.9

申请日：2016-07-22

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  倪畅 ,  成荣 ,  杨开明 ,  叶伟楠 ,  王磊杰 ,  丁思奇 ,  崔健章

IPC分类号： G01B9/02

摘要： 一种六自由度干涉测量系统及方法，包括双频激光发生器、光纤分光器、外差参考光电转换单元、电子信号处理部件，该系统还包括读数头阵列和测量光栅阵列；读数头阵列由三个光栅读数头和三个外差激光读数头交叉叠放而成，测量光栅阵列由三个测量光栅组件和三个外差激光反射镜交叉叠放而成。应用该系统的测量方法为：双频激光发生器产生双频激光经过光纤分光器分为六路进入读数头阵列，读数头阵列将获得的包含测量光栅阵列位移信息的六个电信号输入电子信号处理部件，经解算实现六自由度测量。该测量系统具有结构紧凑、体积小、质量轻、便于布置等优点，适用于光刻机磁浮粗动台和机床直线度标定等需要较大行程位移的六自由度位移和姿态的测量。

公开(公告)号：CN108106536B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN201711116885.1

申请日：2017-11-13

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 朱煜 ,  王磊杰 ,  张鸣 ,  夏野 ,  成荣 ,  叶伟楠 ,  杨开明 ,  倪畅 ,  丁思奇 ,  贾喆 ,  李情情 ,  王雨竹

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02015 ,  G01D5/26 ,  G01D5/38

摘要： 一种平面光栅干涉仪位移测量系统，包括单频激光器、分束器、声光调制器、光栅干涉仪、平面光栅、接收器、电子信号处理部件、光纤耦合器和频率合成器；光栅干涉仪包括偏振分光镜、折光元件，直角棱镜和四分之一波片；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。当光栅干涉仪与平面光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移；该测量系统具有测量精度高、结构简单优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN106017308A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610589089.9

申请日：2016-07-22

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  倪畅 ,  成荣 ,  杨开明 ,  叶伟楠 ,  王磊杰 ,  丁思奇 ,  崔健章

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02027

摘要： 一种六自由度干涉测量系统及方法，包括双频激光发生器、光纤分光器、外差参考光电转换单元、电子信号处理部件，该系统还包括读数头阵列和测量光栅阵列；读数头阵列由三个光栅读数头和三个外差激光读数头交叉叠放而成，测量光栅阵列由三个测量光栅组件和三个外差激光反射镜交叉叠放而成。应用该系统的测量方法为：双频激光发生器产生双频激光经过光纤分光器分为六路进入读数头阵列，读数头阵列将获得的包含测量光栅阵列位移信息的六个电信号输入电子信号处理部件，经解算实现六自由度测量。该测量系统具有结构紧凑、体积小、质量轻、便于布置等优点，适用于光刻机磁浮粗动台和机床直线度标定等需要较大行程位移的六自由度位移和姿态的测量。

公开(公告)号：CN107860318B

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN201711116154.7

申请日：2017-11-13

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  夏野 ,  成荣 ,  叶伟楠 ,  倪畅 ,  丁思奇 ,  贾喆 ,  胡金春

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02001 ,  G01B9/02015 ,  G01D5/26 ,  G01D5/38

摘要： 一种平面光栅干涉仪位移测量系统，包括单频激光器、分束器、声光调制器、光栅干涉仪、平面光栅、接收器、电子信号处理部件、光纤耦合器和频率合成器；光栅干涉仪包括偏振分光镜、折光元件、后向反射器和四分之一波片；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。当光栅干涉仪与平面光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移；具有测量精度高和结构简单等优点，其作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。