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公开(公告)号:CN109141222A
公开(公告)日:2019-01-04
申请号:CN201710460914.X
申请日:2017-06-18
申请人: 南京申特立华信息科技有限公司
发明人: 不公告发明人
CPC分类号: G01B9/02027 , G02B27/283
摘要: 一种U轴干涉仪结构,构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和干涉模块。所述的五轴分光系统由4个45o平面分光镜、3个45o全反镜和1个光程补偿全透镜组成。本发明具有元件易加工、非线性误差小、各路光束温漂一致以及光路调节方便等优点。
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公开(公告)号:CN104487799B
公开(公告)日:2018-07-06
申请号:CN201380039375.2
申请日:2013-07-18
申请人: 赫克斯冈技术中心
发明人: 托马斯·延森
IPC分类号: G01B9/02
CPC分类号: G01B9/02091 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B11/14
摘要: 本发明涉及一种用于测量表面的干涉距离测量装置,使用:至少一个可调谐激光器,该可调谐激光器具有用于生成利用波长斜坡调制的测量辐射;光束路径,该光束路径具有光学发送系统,用于向表面发射测量辐射;以及光学采集系统,用于采集有该表面反向散射的测量辐射,其包括测量臂和基准臂;以及辐射检测器和估计单元,用于确定从距离测量装置的基准点至表面的距离。分别通过针对测量辐射的并行发射的至少一个分束器(13、29)来定义n≥2个通道,在预定的发射时间点将波长斜坡的一个不同的子区域分配至所述通道。
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公开(公告)号:CN104520667B
公开(公告)日:2018-07-03
申请号:CN201380039172.3
申请日:2013-07-18
申请人: 赫克斯冈技术中心
发明人: 托马斯·延森
IPC分类号: G01B9/02
CPC分类号: G01B9/02091 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B11/007
摘要: 本发明涉及一种用于测量表面的干涉型距离测量装置,所述干涉型距离测量装置具有:能够被调谐的至少一个激光源,所述激光源具有相干长度,用于产生被波长斜坡调制的测量辐射;光路,所述光路具有用于向表面发射测量辐射的光学传导系统以及用于捕捉由表面反向散射的测量辐射的光学捕捉系统,所述光学捕捉系统包括测量臂以及参考臂;以及辐射探测器和评估单元,用于确定从所述距离测量装置的参考点到所述表面的距离。由至少一个分光器限定用于并行发射测量辐射的n≥2条通道,为所述通道分别分配由相干长度限定的测量范围的一个不同子域。
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公开(公告)号:CN104121851B
公开(公告)日:2018-03-20
申请号:CN201410170082.4
申请日:2014-04-25
申请人: 沃柯有限公司
发明人: 不公告发明人
IPC分类号: G01B11/00
CPC分类号: G01B11/2441 , A61B6/145 , G01B9/02001 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02032 , G01B9/02047 , G01B9/02067 , G01N21/211 , G01N21/453 , G01N2021/213 , G01S7/4815 , G01S17/36 , G02B5/32 , G02B21/367 , G03H1/0005 , G03H1/0443 , G03H1/0465 , G03H1/0486 , G03H1/2645 , G03H1/265 , G03H1/32 , G03H2001/0033 , G03H2001/0212 , G03H2001/0445 , G03H2001/046 , G03H2001/0491 , G03H2001/266 , G03H2210/63 , G03H2222/13 , G03H2222/16 , G03H2222/17 , G03H2222/31 , G03H2222/34 , G03H2222/35 , G03H2222/44 , G03H2223/19 , G03H2223/22 , G03H2223/23
摘要: 用于检测对象的3D结构的设备,包括:第一激光发射器,其产生具有第一波长的激光辐射;第二激光发射器,其产生具有第二波长的激光辐射,其中,第一波长不同于第二波长;光学器件,其中的至少一个是分束器,所述分束器在每种情况下将所述激光发射器的激光辐射分裂成参考辐射和照明辐射,其中,所述照明辐射撞击在要测量的对象上,被所述对象作为对象辐射反射并与参考辐射相干涉;以及检测器,其接收从其那里形成的干涉图。激光发射器被定位为使得第一激光发射器的照明辐射和第二激光发射器的照明辐射以不同的入射角撞击在对象上。设备还包括测量装置,其测量激光发射器的激光辐射的两个波长,并影响对干涉图的记录。
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公开(公告)号:CN106017307A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610477872.6
申请日:2016-06-27
申请人: 南京法珀仪器设备有限公司
IPC分类号: G01B9/02
CPC分类号: G01B9/02007 , G01B9/02027
摘要: 本发明提供一种准全程补偿的激光回馈干涉仪,包括:一激光模组输出两束同向且相互平行的激光;一分光镜使激光模组输出的两束激光透射后成为第一透射光及第二透射光;一声光移频模组对第一透射光及第二透射光进行移频;一汇聚透镜将第一透射光及第二透射光汇聚;一第一发散透镜将汇聚后的第一透射光及第二透射光分离;一准直模组使分离后的第一透射光及第二透射光准直且相互平行;一参考镜将第一透射光反射后沿原路返回第一激光器,第二透射光被待测目标反射后沿原路返回第二激光器;一光电探测模组将第一反射光及第二反射光转换为电信号;以及一信号处理系统,将光电探测模组输入的电信号进行处理。本发明能够准确测量远距离待测目标的位移。
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公开(公告)号:CN102858231B
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201180018081.2
申请日:2011-03-25
申请人: 佳能株式会社
发明人: 坂川幸雄
CPC分类号: G01N21/4795 , A61B3/0025 , A61B3/102 , A61B5/0037 , A61B5/0066 , G01B9/02007 , G01B9/02019 , G01B9/02027 , G01B9/0203 , G01B9/02089 , G01B9/02091
摘要: 一种图像处理设备,其能够获取OCT断层图像,其中OCT断层图像是利用用于沿着预定的主扫描线、利用低相干光扫描拍摄对象的OCT摄像设备能够拍摄到的断层图像。所述图像处理设备包括:图像获取部件,用于获取沿着方向不同的多个主扫描线的所述拍摄对象的多个OCT断层图像;以及显示控制部件,用于使用如下布局来将多个OCT断层图像显示在显示画面上:该布局能够表示各主扫描线的方向的差异,从而在各OCT断层图像中反映各主扫描线的方向相对于所述拍摄对象的相对关系。
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公开(公告)号:CN105486225A
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201510869463.6
申请日:2015-12-01
申请人: 哈尔滨工程大学
IPC分类号: G01B9/02
CPC分类号: G01B9/02015 , G01B9/02027 , G01B9/02072
摘要: 本发明公开了一种抑制光强波动噪声的相位解调装置及解调方法。包括光纤干涉仪和数字解调装置;本发明对传统的相位生成载波算法进行改进,将被测相位的基频分量与倍频分量做乘积,同时将基频分量的微分值与倍频分量的微分值做乘积,将这两个乘积相除从而去掉光强抖动引起的噪声,再通过积分的方法求解被测相位;同时,本发明将降噪解调算法集成于FPGA与DSP大规模高速信号处理器中,根据FPGA并行处理能力强以及DSP浮点运算性能优越的特点,分别将微分以及相位求解部分实现于两个处理器内,保证实时性;本发明有效抑制了光强波动引起的噪声,提高了长期稳定性,可广泛用于高精度光纤测量和光纤传感等领域。
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公开(公告)号:CN102648402B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201080053976.5
申请日:2010-09-08
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号: G03F7/70833 , G01B9/02027 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G01B2290/15 , G03F7/70233 , G03F7/70258
摘要: 本发明关于一种光学系统,尤其是在微光刻投射曝光设备中的系统,其包含第一光学组件(110,210,910)、第二光学组件(120,220,920)、以及用于确定第一光学组件和第二光学组件在六个自由度上的相对位置的测量布置,其中测量布置用于确定第一光学组件及第二光学组件在六个不同长度测量区段(131-136;231-236)的相对位置,其中所述长度测量区段(131-136;231-236)直接延伸于第一光学组件(110,210,910)及第二光学组件之间(120,220,920)。
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公开(公告)号:CN104854423A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201380063727.8
申请日:2013-07-24
申请人: 周超
发明人: 周超
CPC分类号: G01B9/02091 , A61B3/102 , A61B5/0066 , G01B9/02019 , G01B9/02027 , G01B9/02028 , G01B9/0207
摘要: 本发明披露了空分复用光学相干断层扫描设备及其系统。在一个实施例中,所述系统包括光源、参考臂和样品臂。样品臂将采样光分成可被同时扫描在样品表面上的多条采样光束。扫描之前,采样光束可以引入光延迟。多个从样品返回的反射光信号被采集。在一个布局中,可将信号合并以产生单一反射光信号。反射光信号和参考光信号合并产生包含代表实际物体数字化图像数据的干涉信号。在一个实施例中,单一样品臂可以用于扫描和收集图像数据。本发明还提供了相关的扫描方法。
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公开(公告)号:CN102695946B
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201080048672.X
申请日:2010-10-26
申请人: TGS地球物理(英国)有限公司
发明人: 爱德华·奥斯汀
CPC分类号: G01D5/26 , G01B9/02003 , G01B9/02014 , G01B9/02023 , G01B9/02027 , G01B11/02 , G01B2290/45 , G01D5/35303 , G01H9/004 , G01V1/16
摘要: 本发明描述了用于对从光学传感器返回的光脉冲进行处理的方法和装置。其中将光脉冲施加给两个干涉仪布置,第一干涉仪简单地布置成将两个脉冲叠加并且检测第一生成值,并且另一个干涉仪布置成在将这两个脉冲叠加以便检测第二生成值以前施加大约π/2的相对相移。相对相移是通过移动这两个脉冲其中一个或两个的相位而施加的。将第一生成值和第二生成值进行相除以获得代表传感器状态的第三值。还描述了使用这种装置来处理返回脉冲的地震传感器阵列。
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