一种改善电镀取片的方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118880422A

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202411346204.0

    申请日:2024-09-26

    IPC分类号: C25D21/00 C25D7/12

    摘要: 本申请提供了一种改善电镀取片的方法,包括:提供完成电镀的晶圆,晶圆通过密封件进行定位与固定;对完成电镀的晶圆进行甩干,用以吹干水膜;设置密封件连接处的压力为2.4PSI,以降低密封件连接处的真空度;通过机器手对晶圆进行取片;其中,在密封件的外壁上开设细槽,以增加密封件连接处的粗糙度;细槽朝向所述密封件的边缘处进行延伸,且细槽的两端与晶圆的边缘处保持分离,本发明通过在密封件的外壁上设置细槽,可以有效地提高密封件连接处的粗糙度,进而可以进一步地降低密封件连接处的真空度,从而可以有效地避免机械手在取片的过程中发生取片失败的情况。

    一种电镀结构
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221522821U

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202421629713.X

    申请日:2024-07-11

    发明人: 赖礼钢 邱启新

    IPC分类号: C25D7/12 C25D5/08 C25D17/00

    摘要: 本申请提供了一种电镀结构,包括:具有中间轴线的待电镀件,待电镀件上设置有电镀部;靠近待电镀件的导流件,导流件的中间位置开设有进液部;安装在导流件远离待电镀件一侧的阻挡部,阻挡部与导流件朝向待电镀件的侧壁抵触;其中,导流件的轴线与待电镀件的中间轴线重合,阻挡部朝向进液部所在的方向延伸,且阻挡部延伸至与进液部的边缘处重叠,本实用新型通过设置阻挡部安装在导流件远离待电镀件一侧上,且阻挡部朝向进液部所在的方向延伸,阻挡部延伸至与进液部的边缘处重叠,进而可以使得在对待电镀件进行电镀的过程中,电镀药水附着在电镀部上形成的电镀层的厚度可以更加均匀。