双路水冷旋转轴式真空动密封器件

    公开(公告)号:CN202719135U

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201220390774.6

    申请日:2012-08-08

    IPC分类号: F16J15/16 C23C14/56

    摘要: 本实用新型公开了一种双路水冷旋转轴式真空动密封器件,包括动力旋转轴,动力旋转轴通过轴承与密封座传动连接,轴承外设有通过六角螺钉连接的轴承压盖,还包括弹性挡圈,动力旋转轴的中心钻有孔,导水管插入动力旋转轴的中心孔内,且中心孔的开口端通过导水孔补芯封堵;进水嘴与导水管的内部相连通,导水管的末端与导水管与动力旋转轴的中心孔的内部之间夹层相通,最后与出水嘴相通,且进水嘴和出水嘴都安装在水冷密封座上。本实用新型具有的有益效果是:动力旋转轴与插入动力旋转轴的导水管构成的冷却水通道,对动力旋转轴以及轴承、骨架油封以及填充的真空脂等材料和构件进行了充分冷却,避免了烘烤高温对它们的影响。

    提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件

    公开(公告)号:CN202717837U

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201220389627.7

    申请日:2012-08-08

    IPC分类号: C23C14/24

    摘要: 本实用新型提供一种提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件,包括靶材和磁环调节杆以及磁环,磁环固定在磁环调节杆上,磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构,磁环的前端是靶材;螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位,将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然后将卡套螺母套在弹性卡圈上与螺纹法兰相连接;靶材与靶材伸缩套之间通过橡胶密封圈密封;本实用新型具有的有益效果是:卡套螺母、弹性卡簧、靶材、定位螺钉、橡胶密封圈、隔离板(靶材快要烧蚀穿的时候才用)和靶材伸缩套形成的连接方式,省却了在靶材上加工大直径螺纹(螺纹约占靶材厚度的30%左右)的弊端,提高了靶材利用率。