公开(公告)号：CN117497470A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311252351.7

申请日：2023-09-26

Applicant: 温州大学

Inventor： 朱德华 ,  林希建 ,  蔡燕 ,  刘珍峰 ,  周海慧

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/324 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种利用激光对半导体退火的设备，包括机架、激光光源、晶圆载台、驱动部和光线整形部件；机架上设有动力部和移动平台，动力部用于驱使移动平台沿机架直线运动；移动平台上设有反射镜；晶圆载台上设有收拢机构，收拢机构包括环形套、电磁铁和多根固定在晶圆载台侧壁上的支杆，电磁铁位于环形套的下方；多根支杆沿晶圆载台的周向均匀分布；晶圆载台上设有一端与环形套连接的弹性件；支杆上转动连接有伸缩杆，伸缩杆的下端铰接在环形套上。在本方案中收拢机构的设置能保证晶圆最终都位于晶圆载台的中心位置，不会出现偏差，这样确保了后续激光光源扫描的有效性，能有效避免激光扫描至晶圆边缘导致产品破片。

公开(公告)号：CN218135678U

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202222658994.9

申请日：2022-10-10

Applicant: 温州大学平阳智能制造研究院

Inventor： 王家国 ,  林月浩 ,  林希建 ,  朱德华

IPC: B23K26/00

Abstract: 本实用新型属于激光修复技术领域，具体涉及一种用于汽车轴瓦的激光修复装置，包括框架，所述框架上焊接有支板，所述框架上设置有调节机构，所述调节机构上设置有支撑盘，所述支撑盘上设置有限位机构，所述框架上固定安装有液压缸，所述液压缸的液压杆和框架滑动连接，所述液压杆上焊接有吊板，所述吊板上设置有伸缩杆，所述吊板上设置有激光发射管。本实用新型通过设置导槽、筒体、挡环、吸盘、活塞、螺筒、螺杆等结构，通过将筒体在导槽内滑动，并通过转动螺杆和螺筒做螺纹运动，进而使得活塞向下移动，进而使得装置可以对任意型号汽车轴瓦进行固定，使用更加方便。

公开(公告)号：CN218306897U

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202222861084.0

申请日：2022-10-28

Applicant: 温州大学

Inventor： 林希建 ,  朱德华 ,  王家国 ,  林月浩 ,  罗鑫 ,  盛杰

IPC: B01D46/24 ,  B01D46/88 ,  B01D46/42

Abstract: 本实用新型属于除尘器领域，具体涉及一种激光微纳加工除尘器，包括除尘箱、滤筒、进气管、出气孔、密封安装机构、更换机构、风机管，所述除尘箱的内部滑动连接有滤筒，所述除尘箱上滑动连接有进气管，所述除尘箱上开设有出气孔，所述除尘箱上设置有密封安装机构，所述除尘箱上设置有更换机构。本实用新型通过在除尘箱上加设铰接架、密封环与弹簧一等结构，可以通过弹簧一的弹力推动进气管卡接在铰接架上的弹性块上，便可完成对进气管的限位，在需要拆卸时只需要将铰接架脱离进气管即可完成拆卸，并且可以通过弹簧二的弹力带动限位板对滤筒进行限位，在需要拆卸时只需要将限位板脱离滤筒即可解除对滤筒的限位。