公开(公告)号：CN115165903A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202210810302.X

申请日：2022-07-11

Applicant: 湖北工业大学 ,  凌云科技集团有限责任公司

Inventor： 夏军勇 ,  阳若林 ,  范谋堂 ,  蔡佑元 ,  金邦振 ,  叶晓铁 ,  王升伟 ,  谭景林 ,  叶育萌 ,  钟飞 ,  吴庆华 ,  赵子丹

IPC: G01N21/89 ,  G01N29/04 ,  G01N29/27

Abstract: 本发明公开一种轴类零件表面缺陷检测平台，其包括：基台；扫描组件，其安装于所述基台，其具有检测轴类零件的检测端；转动组件，其包括转动驱动件和沿直线排列的至少两个承托件，所述承托件形成承托轴类零件的承托面，所述转动驱动件传动连接轴类零件或/和至少一个所述承托件，以带动轴类零件相对所述基台转动。首先将轴类零件放置承托件，使得轴类零件能够相对基台转动，并利用转动驱动件带动工件以一定的速度转动。同时将扫描组件架设与轴类零件的上方，并利用扫描组件获知轴类零件得表面。随着轴类零件的不断转动，扫描组件可以完整的轴类零件的外表面，从而可以全面的评估轴类零件的表面缺陷情况。

公开(公告)号：CN117654408A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311436124.X

申请日：2023-11-01

Applicant: 湖北工业大学

Inventor： 夏军勇 ,  阳若林 ,  周宏娣 ,  肖伟 ,  肖凯 ,  杨健

IPC: B01J19/18 ,  C01B33/021 ,  G06F18/27 ,  G06F18/15 ,  G06N3/044 ,  G06N3/084

Abstract: 本发明涉及一种晶圆研磨用硅溶胶晶种生长控制方法、系统及介质，所述方法包括：U1.在反应釜中，打开硅酸计量泵按设定速度加入定量硅酸，同时打开稳定剂计量泵加入碱性稳定剂进行调节PH值，搅拌器按照一定速度进行搅拌，并加热至一定温度进行反应，保温一定时间后得到硅溶胶晶种初始品；U2.采用激光粒度仪对所述硅溶胶晶种初始品的粒径进行检测，得到硅溶胶晶种初始品的粒径数据信息，采用硅酸计量泵实时获取硅酸加入速度的数据信息，采用稳定剂计量泵实时获取稳定剂加入速度的数据信息，采用PH值传感器实时获取反应物的PH值数据信息。本发明不仅能够对硅溶胶晶种的生长进行精确控制，而且能够提高硅溶胶的生产效率。