六氟化硫放电降解装置及降解方法

    公开(公告)号:CN115888343A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211489955.9

    申请日:2022-11-25

    IPC分类号: B01D53/32 B01D53/48 B01D53/68

    摘要: 本发明涉及气体净化装置技术领域,尤其是涉及一种六氟化硫放电降解装置及降解方法;放电降解装置包括供气单元、搅拌混合单元和放电反应单元,供气单元包括供气主管、以及与所述供气主管连接的惰性气体供入模块、六氟化硫供入模块和外加气体供入模块,惰性气体供入模块、六氟化硫供入模块、外加气体供入模块分别可向所述供气主管供入惰性气体、六氟化硫气体和反应气体,通过搅拌混合单元对惰性气体、六氟化硫和反应气体的搅拌,可使惰性气体、六氟化硫和反应气体充分混合,进而实现六氟化硫的稀释以及与反应气体的充分混合,放电反应单元通过对该混合气体进行放电反应,可实现对混合气体中的六氟化硫的充分电解,进而提升六氟化硫的降解效果。

    一种基于滑动弧放电等离子体降解SF6的装置和方法

    公开(公告)号:CN118356788A

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202410610758.0

    申请日:2024-05-16

    IPC分类号: B01D53/32 B01D53/78

    摘要: 本发明公开了一种基于滑动弧放电等离子体降解SF6的装置和方法,本发明采用杆状或棒状的高压电极以及锥形螺旋状的低压电极,且高压电极和低压电极均可旋转,这种新结构电极和电极的旋转方式,可引起电极在轴向和角向上的三维运动以及放电电弧进行伸长,进而增加等离子体放电区域,使SF6在等离子体放电区域的停留时间边长,近而使SF6废气充分降解,大大提高了SF废气的降解率和降解量。本发明解决了现有技术仅针对六氟化硫气体降解效率低、降解量低的问题,采用旋转滑动弧放电等离子体可有效提高SF6降解率和降解量,实现SF6快速无害化降解。

    一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置

    公开(公告)号:CN116947102B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202310643329.9

    申请日:2023-06-01

    摘要: 本发明公开了一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置,所述的方法如下:S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内;S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体,惰性气体被电离成等离子体,六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物;S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应,生成MoF6气体和硫单质。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与Mo进行反应生成MoF6,与传统以金属Mo和氟气(F2)在高温下(250℃以上)制备MoF6的方法相比,大幅度降低了反应的温度,从而大幅度降低了能耗,而且操作安全,实现了SF6的硫氟资源利用,解决了SF6转化率低的问题。

    以六氟化硫制备六氟化钼的装置及方法

    公开(公告)号:CN117339489A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311293699.0

    申请日:2023-10-08

    IPC分类号: B01J8/02 C01G39/04

    摘要: 本发明提供了一种以六氟化硫制备六氟化钼的装置及方法。装置包括反应系统、回收系统、分离系统、收集腔室以及管道系统;其中,反应系统包括反应腔室和第一温度调节组件,反应腔室内填充有催化剂和金属钼;回收系统包括回收腔室和第二温度调节组件;分离系统包括分离腔室和第三温度调节组件;管道系统包括进气管和出气管,反应腔室分别与进气管、回收腔室连通,分离腔室分别与回收腔室、收集腔室连通。本申请实施例通过在反应系统中进行热催化法降解转化;在回收系统中回收液态和固态的低氟钼化物;在分离系统中收集液态的六氟化钼。实现六氟化硫气体的资源化再利用,能耗较低,降解效率较高,减少资源浪费,便于后期储存、运输和提纯。

    一种基于光电协同制备六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117285075A

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202311214902.0

    申请日:2023-09-20

    IPC分类号: C01G41/04

    摘要: 本发明公开了一种基于光电协同制备六氟化钨的方法和装置,本发明在等离子体反应器放电区域内沿着气体进入的方向依次填充光催化剂和金属钨,并对等离子体反应器放电区域进行光照射,背景气体在放电反应区域内产生大量的等离子体(高能电子),SF6在光催化和等离子体的协同作用下发生分解,SF6分解生成氟原子和SF5、SF4等低氟硫化物,产生的氟离子和SF5、SF4等低氟硫化物进一步与金属钨发生反应,生成WF6电子特气,不仅实现SF6的氟资源利用,而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应,操作安全,能耗低。

    一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置

    公开(公告)号:CN116947102A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202310643329.9

    申请日:2023-06-01

    摘要: 本发明公开了一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置,所述的方法如下:S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内;S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体,惰性气体被电离成等离子体,六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物;S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应,生成MoF6气体和硫单质。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与Mo进行反应生成MoF6,与传统以金属Mo和氟气(F2)在高温下(250℃以上)制备MoF6的方法相比,大幅度降低了反应的温度,从而大幅度降低了能耗,而且操作安全,实现了SF6的硫氟资源利用,解决了SF6转化率低的问题。

    一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117401717A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202311291163.5

    申请日:2023-10-08

    摘要: 本发明公开了一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置,本发明利用高温和光催化的联合作用对SF6气体进行降解,SF6气体降解为氟粒子和低氟硫化物(SFx),氟粒子和低氟硫化物(SFx)与钨金属发生氟化反应,合成WF6电子特气,不仅实现SF6的氟资源利用,而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应,操作安全,能耗低。

    一种以六氟化硫为氟源合成六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117023640A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202311214889.9

    申请日:2023-09-20

    IPC分类号: C01G41/04

    摘要: 本发明公开了一种以六氟化硫为氟源合成六氟化钨的方法和装置,本发明等离子体将SF6解离为氟粒子和低氟硫化物(SFx),实现SF6解离产生的含氟粒子与金属钨发生原位氟化反应,将氟粒子转化为高附加值的WF6电子特气,合成了WF6电子特气的同时降解SF6气体,为SF6降解及资源化转化提供了新的方法和思路。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与W进行反应生成WF6,与传统以金属W和氟气(F2)在高温下制备WF6的方法相比,大幅度降低了反应的温度,从而大幅度降低了能耗。

    一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117401717B

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202311291163.5

    申请日:2023-10-08

    摘要: 本发明公开了一种基于加热法制备六氟化钨的方法和装置,本发明利用高温和光催化的联合作用对SF6气体进行降解,SF6气体降解为氟粒子和低氟硫化物(SFx),氟粒子和低氟硫化物(SFx)与钨金属发生氟化反应,合成WF6电子特气,不仅实现SF6的氟资源利用,而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应,操作安全,能耗低。