公开(公告)号：CN112509911B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202011405526.X

申请日：2020-12-02

Applicant: 湖北文理学院

Inventor： 汪竞阳 ,  何子越 ,  梁桂杰 ,  李望南 ,  王松 ,  钟志成 ,  屈少华

IPC: H01L21/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明涉及一种氧化锌/氧化钛双层纳米棒阵列异质结结构及其制备方法。本发明中通过优化溅射参数，以在TiO2纳米棒阵列中每根纳米棒的顶部沉积获得ZnO纳米颗粒，后续再以如上ZnO纳米颗粒为晶种通过水热法在TiO2纳米棒的顶部再生长获得ZnO纳米棒，并最终经洗净、退火，即可获得一种具有一维氧化锌纳米棒阵列和一维二氧化钛纳米棒阵列的双层纳米棒阵列异质结复合结构。上述制备中由于ZnO晶种颗粒的存在使得后续ZnO纳米棒可以沿着TiO2纳米棒的生长方向继续生长，从而使得最终生长获得的两层纳米棒阵列因均垂直于基底生长而具有结构一致性好且取向高度有序的优点。

公开(公告)号：CN112509911A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011405526.X

申请日：2020-12-02

Applicant: 湖北文理学院

Inventor： 汪竞阳 ,  何子越 ,  梁桂杰 ,  李望南 ,  王松 ,  钟志成 ,  屈少华

IPC: H01L21/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明涉及一种氧化锌/氧化钛双层纳米棒阵列异质结结构及其制备方法。本发明中通过优化溅射参数，以在TiO2纳米棒阵列中每根纳米棒的顶部沉积获得ZnO纳米颗粒，后续再以如上ZnO纳米颗粒为晶种通过水热法在TiO2纳米棒的顶部再生长获得ZnO纳米棒，并最终经洗净、退火，即可获得一种具有一维氧化锌纳米棒阵列和一维二氧化钛纳米棒阵列的双层纳米棒阵列异质结复合结构。上述制备中由于ZnO晶种颗粒的存在使得后续ZnO纳米棒可以沿着TiO2纳米棒的生长方向继续生长，从而使得最终生长获得的两层纳米棒阵列因均垂直于基底生长而具有结构一致性好且取向高度有序的优点。