一种碳纳米管冷阴极微焦点X射线管

    公开(公告)号:CN117038419A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202310991349.5

    申请日:2023-08-08

    Abstract: 本发明公开一种碳纳米管冷阴极微焦点X射线管,涉及真空微纳电子技术领域,包括壳体、在壳体内部由下至上依次设置的阴极电子发射部分、栅极结构、聚焦极和阳极以及在壳体上设置的射线出射窗口;其中,阴极电子发射部分、栅极结构、聚焦极、阳极和射线出射窗口的中心均在一条直线上;栅极结构采用六边形蜂窝结构,通过控制变量法改变六边形蜂窝结构中各六边形的边长、厚度及宽度,使栅极结构在正电压的作用下,与阴极电子发射部分之间形成均匀电场;聚焦极采用曲面状结构,曲面状结构与电子被聚焦时的运动轨迹相吻合。本发明结构简单且聚焦效果优良,电流大,焦斑尺寸更小。

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