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公开(公告)号：CN119704059A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411910058.X
申请日：2024-12-24
Applicant: 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室 , 西安交通大学
IPC: B24D3/06 , B24D3/34 , B24D18/00 , B24D5/06 , B24D7/06 , B28B7/34 , B28B1/24 , B22F1/18 , B22F1/0655 , B22F1/12
Abstract: 本发明涉及磨料磨具技术领域，尤其涉及一种预制双层空心颗粒的多孔金属‑陶瓷复合结合剂金刚石砂轮及其制备。本发明提供的双层空心颗粒，从内到外，依次为中心空腔、陶瓷结合剂层和钎料合金层。本发明通过预制双层空心颗粒，然后将其用于多孔金属‑陶瓷复合结合剂金刚石砂轮工作层节块的制备，可实现多孔金刚石砂轮孔隙率的调整及孔隙结构的排布，在提高孔隙率、增加容屑空间的同时，保持砂轮强度，满足不同硬脆材料的高质量加工要求。
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公开(公告)号：CN116047139A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310092196.0
申请日：2023-02-09
Applicant: 西安交通大学 , 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于光通量检测的MEMS光学电场传感器，硅微结构栅格层与玻璃镀铬栅格层上下排布组成敏感结构，下层硅微结构通过弹簧连接在底层硅结构之上，上层玻璃镀铬层通过键合的方式固定在硅微结构之上，上层结构固定不动下层硅微结构随电场变化发生形变，光源从正上方垂直入射，再穿过两层结构后被接收，下层硅微结构的形变引发的栅格与上层栅格重叠面积发生变化，从而实现接收光通量的变化，能够实现强电磁环境下的电场强度测量，制备封装方法简单，便于安装使用，且成本较低，可应用于电力系统状态监测、空间电场检测等多场景测电场。
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公开(公告)号：CN117038419A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310991349.5
申请日：2023-08-08
Applicant: 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
Abstract: 本发明公开一种碳纳米管冷阴极微焦点X射线管，涉及真空微纳电子技术领域，包括壳体、在壳体内部由下至上依次设置的阴极电子发射部分、栅极结构、聚焦极和阳极以及在壳体上设置的射线出射窗口；其中，阴极电子发射部分、栅极结构、聚焦极、阳极和射线出射窗口的中心均在一条直线上；栅极结构采用六边形蜂窝结构，通过控制变量法改变六边形蜂窝结构中各六边形的边长、厚度及宽度，使栅极结构在正电压的作用下，与阴极电子发射部分之间形成均匀电场；聚焦极采用曲面状结构，曲面状结构与电子被聚焦时的运动轨迹相吻合。本发明结构简单且聚焦效果优良，电流大，焦斑尺寸更小。
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公开(公告)号：CN111504219B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202010368586.2
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01B11/16 , G01H9/00 , G01K11/3206 , G01K1/14
Abstract: 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L‑悬臂梁，L‑悬臂梁、第一支撑梁、第二支撑梁、第一基座及第二基座顶部正中开设有凹槽，光纤粘贴于凹槽正中位置，光纤悬空处分别刻有少模光纤光栅和光纤光栅；少模光纤与单模光纤形成F‑P腔，通过对F‑P腔和少模光纤光栅信号的联合解调，得到温度和应变信号；在测量振动时，L‑悬臂梁产生受迫振动，压缩或拉伸光纤光栅，通过对光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，即可排除温度信号的干扰，得到振动信号。本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN111504219A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010368586.2
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L-悬臂梁，L-悬臂梁、第一支撑梁、第二支撑梁、第一基座及第二基座顶部正中开设有凹槽，光纤粘贴于凹槽正中位置，光纤悬空处分别刻有少模光纤光栅和光纤光栅；少模光纤与单模光纤形成F-P腔，通过对F-P腔和少模光纤光栅信号的联合解调，得到温度和应变信号；在测量振动时，L-悬臂梁产生受迫振动，压缩或拉伸光纤光栅，通过对光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，即可排除温度信号的干扰，得到振动信号。本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108950703A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201811088786.1
申请日：2018-09-18
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: D01D5/00 , B29C64/106 , B29C64/20 , B33Y10/00 , B33Y30/00
CPC classification number: D01D5/0061 , B29C64/106 , B29C64/20 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , D01D5/0092
Abstract: 本发明公开一种基于近场静电纺丝一步化工艺制备压电聚合物MEMS结构的装置及方法，该装置包含了注射系统、前驱液、直流高压电源、可编程三轴移动平台、A4打印纸等关键部件，结合了近场静电纺丝的在线压电极化作用及其对纤维沉积位置的精确控制能力。以压电聚合物材料配制前驱液，利用近场静电纺丝过程中的强电场作用与静电拉伸作用实现对纤维的在线压电极化；同时，以A4打印纸作为纤维收集器，通过可编程三维移动平台运动轨迹的重复，实现纤维的一致性重复堆叠，完成可控三维结构的“增材”制造。通过本发明可实现聚合物MEMS结构与压电功能化的一步化快速高效制造。
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公开(公告)号：CN116819407A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310806366.7
申请日：2023-07-03
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01R33/032 , G01R33/12 , A61B5/245
Abstract: 本发明公开了一种原子磁强计系统及双平面线圈磁场均匀性的测试方法，属于弱磁场传感器技术领域，原子磁强计系统包括泵浦激光器、探头和光纤耦合器，所述泵浦激光器、λ/2波片、光束取样器、起偏器处于共光轴状态；所述探头包括腔体，所述腔体中设置有碱金属原子气室和第一全反射镜和第二全反射镜，所述第一全反射镜和第二全反射镜分别设置在碱金属原子气室两侧；所述光纤耦合器通过光纤和第一透镜连接，第一透镜输出的光线依次经过λ/4波片和第一全反射镜；双平面补偿线圈包括分别设置在腔体上、下表面的上平面补偿线圈和下平面补偿线圈。本发明将双平面线圈作为剩磁补偿结构，大幅简化线圈的空间结构复杂度，有利于原子磁强计的芯片化。
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公开(公告)号：CN110398536B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201910696430.4
申请日：2019-07-30
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01N29/02 , G01N29/036
Abstract: 本发明公开了一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法，本发明采用石墨烯、二硫化钼以及MXenes(二维过渡金属碳化物或氮化物)等同时具有高弹性模量、气体敏感性以及导电性的多功能材料作为CMUTs敏感元件，即单层悬空薄膜同时用作CMUTs振动薄膜、上电极以及敏感材料层，实现了振动薄膜、上电极以及敏感材料层等多层复合薄膜的一体化设计，可有效减小薄膜质量、提高单元一致性以及谐振频率，进而可实现CMUTs气体传感器检测极限及检测灵敏度等综合性能的大幅提高。
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公开(公告)号：CN110361445B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910696445.0
申请日：2019-07-30
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01N29/02 , G01N29/036 , G01N27/12 , G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种多参数高选择性CMUTs气体传感器及其使用与制备方法，本发明采用SnO2、ZnO、Fe2O3、WO3等半导体金属氧化物，将其同时用作CMUTs上电极以及敏感识别材料，利用其吸附气体后同时引起薄膜质量及上电极电阻变化的特性，实现物理、化学性质相近或相似气体分子的高选择性敏感。薄膜质量的变化会引起CMUT谐振频率的变化；上电极电阻的变化会引起CMUT上下电极间交流电压幅值的变化，进而引起CMUT薄膜振动幅值的变化，通过谐振频率和薄膜振动位移幅值这两种输出参数的变化可实现气体分子的高选择性检测。此外，由于半导体氧化物敏感材料在温度调节下具有可重复使用性，因此本发明CMUT气体传感器除了具有高选择性外，还具有很好的重复性。
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公开(公告)号：CN110398536A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910696430.4
申请日：2019-07-30
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01N29/02 , G01N29/036
Abstract: 本发明公开了一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法，本发明采用石墨烯、二硫化钼以及MXenes(二维过渡金属碳化物或氮化物)等同时具有高弹性模量、气体敏感性以及导电性的多功能材料作为CMUTs敏感元件，即单层悬空薄膜同时用作CMUTs振动薄膜、上电极以及敏感材料层，实现了振动薄膜、上电极以及敏感材料层等多层复合薄膜的一体化设计，可有效减小薄膜质量、提高单元一致性以及谐振频率，进而可实现CMUTs气体传感器检测极限及检测灵敏度等综合性能的大幅提高。
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