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公开(公告)号：CN104126053A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201380007075.6
申请日：2013-01-29
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： F04C23/003 , F01C21/10 , F01C21/108 , F04C18/123 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C2230/60 , F04C2230/70 , F04C2230/80 , F04C2230/85 , F04C2240/805
摘要： 本发明涉及具有多个泵送级(12、14、16、18)的多级真空泵(10)。泵包括形成相应泵送级的泵送室(32、34、36、38)的定子和用于支撑多个转子(44a、44b；46a、46b；48a、48b；50a、50b)以在相应泵送室中的旋转的至少一根轴(40、42)。定子包括在多个定子级的轴向范围上延伸从而界定所述至少一根轴并形成多个定子级的内部轮廓的一件式定子封壳(20)和位于定子级的任一轴向侧上以形成相应的泵送室的多个横向壁(22、24、26、28、30)。横向壁之一是在定子级之间的级间(26、28、30)，并且定子封壳构造成界定级间以将所述级间从定子零件径向向内地定位。
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公开(公告)号：CN110226042B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201780085563.7
申请日：2017-12-21
申请人： 爱德华兹有限公司
摘要： 一种泵冷却系统可以包括被装配到泵壳体(14)上的冷却体(24)，用于经由冷却体与泵壳体之间的热传导路径(44)从泵壳体接收热量。冷却体(24)可以具有通道(26)，在使用中，冷却流体通过该通道从冷却体导走热量。泵冷却系统包括冷却控制机构，该冷却控制机构被配置为在低于预定温度的泵操作温度下在热传导路径(44)中提供空隙，从而从泵壳体到冷却体的热传导被中断。
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公开(公告)号：CN110753793A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201880041076.5
申请日：2018-06-15
申请人： 爱德华兹有限公司
摘要： 公开了双轴泵，所述双轴泵包括：泵送室；两个可旋转轴，每个被安装在轴承上。两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件，转子元件在泵送室内，并且两个可旋转轴延伸超出泵送室到支撑构件。支撑构件包括安装器件，用于将轴承安装在从彼此隔开的预定距离处，预定距离限定两个轴之间的距离。在泵送室与支撑构件之间提供热中断，用于阻碍泵送室与支撑构件之间的热传导，使得泵送室和支撑构件可维持在不同的温度下。支撑构件和转子元件由不同材料形成，形成支撑构件的材料的热膨胀系数比形成转子元件的材料的热膨胀系数更高。
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公开(公告)号：CN110226042A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201780085563.7
申请日：2017-12-21
申请人： 爱德华兹有限公司
摘要： 一种泵冷却系统可以包括被装配到泵壳体(14)上的冷却体(24)，用于经由冷却体与泵壳体之间的热传导路径(44)从泵壳体接收热量。冷却体(24)可以具有通道(26)，在使用中，冷却流体通过该通道从冷却体导走热量。泵冷却系统包括冷却控制机构，该冷却控制机构被配置为在低于预定温度的泵操作温度下在热传导路径(44)中提供空隙，从而从泵壳体到冷却体的热传导被中断。
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公开(公告)号：CN103443400B
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201280014037.9
申请日：2012-01-17
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： N.特纳 , S.道德斯韦尔 , S.凯拉萨姆 , A.E.K.霍尔布鲁克
IPC分类号： F01C19/10 , F04B39/12 , F01C21/10 , F04C23/00 , F04C25/02 , F04C27/00 , F04C18/12 , F01C19/00
CPC分类号： F04B25/00 , F01C19/005 , F01C19/10 , F01C21/10 , F04C18/12 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C27/008 , F04C2230/60
摘要： 本发明涉及一种多级真空泵，包括：第一半壳定子部件(102)和第二半壳定子部件(104)，限定多个泵送腔室(6)至(116)并且用于沿着相应纵向延伸面(118)、(20)组装在一起；第一端部定子部件(122)和第二端部定子部件(124)，用于在第一半壳定子部件与第二半壳定子部件的相应纵向端面(126)、(128)处组装；纵向密封件(12)，用于当在纵向延伸面处组装在一起时在第一半壳定子部件与第二半壳定子部件(10)之间进行密封；以及，环形密封件(146)，用于当组装时在所述第一端部定子部件和第二端部定子部件与第一和第二半壳定子部件之间进行密封；其中所述纵向密封件具有端部(24)，端部(24)邻接抵靠着环形密封件用于在环形密封件之间进行密封并且第一半壳定子部件和第二半壳定子部件具有用于当端部压缩于第一半壳定子部件与第二半壳定子部件之间时抵抗端部(1)远离环形密封件移动的构造(26)。
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公开(公告)号：CN110753793B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201880041076.5
申请日：2018-06-15
申请人： 爱德华兹有限公司
摘要： 公开了双轴泵，所述双轴泵包括：泵送室；两个可旋转轴，每个被安装在轴承上。两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件，转子元件在泵送室内，并且两个可旋转轴延伸超出泵送室到支撑构件。支撑构件包括安装器件，用于将轴承安装在从彼此隔开的预定距离处，预定距离限定两个轴之间的距离。在泵送室与支撑构件之间提供热中断，用于阻碍泵送室与支撑构件之间的热传导，使得泵送室和支撑构件可维持在不同的温度下。支撑构件和转子元件由不同材料形成，形成支撑构件的材料的热膨胀系数比形成转子元件的材料的热膨胀系数更高。
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公开(公告)号：CN110214231A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201880007725.X
申请日：2018-01-19
申请人： 爱德华兹有限公司
摘要： 公开一种用于多级真空增压泵的级间联接器、一种真空泵和一种方法。用于多级真空泵的级间联接器包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。以此方式，可以通过使所述出口孔口与所述入口孔口流体联接来减轻级中的压力，以便使积聚气体从所述第一级泵的一部分再循环到所述第一级泵的另一部分，以便减少转子上的应变。
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公开(公告)号：CN104813025B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201380062498.8
申请日：2013-10-28
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： N.特纳 , J.R.塔特萨尔 , A.E.K.霍尔布鲁克 , M.R.维克斯
CPC分类号： F04B11/0091 , F04B37/14 , F04B39/0055 , F04B41/06 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C28/28 , F04C29/124
摘要： 在真空系统突然过载的情况下，存在遭受机械损坏的风险，例如，轴承损坏、齿轮滑移或转子和/或定子碰撞。突然的过载还能够导致电气损坏，例如，过电流或功率波动。因此，提供一种用于真空泵送系统的压力调节设备，其具有入口、出口以及插在入口和出口之间并且与入口和出口处于流体连通的管道，其中管道的截面积大于满足入口和出口的导通性要求所需的截面积。
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公开(公告)号：CN104285064B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201380025957.5
申请日：2013-04-23
申请人： 爱德华兹有限公司
CPC分类号： F04C25/02 , F04C23/005 , F04C28/02 , F04C28/28 , F04C2220/30 , F04D19/046 , F04D27/00 , F04D27/005 , F05C2251/04 , Y10T137/0324 , Y10T137/86083
摘要： 一种用于调整真空泵布置的操作参数的方法，包括确定流过真空泵布置的气体的特性；以及基于第一气体的确定的特性来设定真空泵布置的操作参数。控制器可构造成执行根据气体的特性来调整真空泵布置的操作参数的方法。
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公开(公告)号：CN103443400A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201280014037.9
申请日：2012-01-17
申请人： 爱德华兹有限公司
发明人： N.特纳 , S.道德斯韦尔 , S.凯拉萨姆 , A.E.K.霍尔布鲁克
IPC分类号： F01C19/10 , F04B39/12 , F01C21/10 , F04C23/00 , F04C25/02 , F04C27/00 , F04C18/12 , F01C19/00
CPC分类号： F04B25/00 , F01C19/005 , F01C19/10 , F01C21/10 , F04C18/12 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C27/008 , F04C2230/60
摘要： 本发明涉及一种多级真空泵，包括：第一半壳定子部件(102)和第二半壳定子部件(104)，限定多个泵送腔室(6)至(116)并且用于沿着相应纵向延伸面(118)、(20)组装在一起；第一端部定子部件(122)和第二端部定子部件(124)，用于在第一半壳定子部件与第二半壳定子部件的相应纵向端面(126)、(128)处组装；纵向密封件(12)，用于当在纵向延伸面处组装在一起时在第一半壳定子部件与第二半壳定子部件(10)之间进行密封；以及，环形密封件(146)，用于当组装时在所述第一端部定子部件和第二端部定子部件与第一和第二半壳定子部件之间进行密封；其中所述纵向密封件具有端部(24)，端部(24)邻接抵靠着环形密封件用于在环形密封件之间进行密封并且第一半壳定子部件和第二半壳定子部件具有用于当端部压缩于第一半壳定子部件与第二半壳定子部件之间时抵抗端部(1)远离环形密封件移动的构造(26)。
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