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公开(公告)号:CN104126053A
公开(公告)日:2014-10-29
申请号:CN201380007075.6
申请日:2013-01-29
申请人: 爱德华兹有限公司
CPC分类号: F04C23/003 , F01C21/10 , F01C21/108 , F04C18/123 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C2230/60 , F04C2230/70 , F04C2230/80 , F04C2230/85 , F04C2240/805
摘要: 本发明涉及具有多个泵送级(12、14、16、18)的多级真空泵(10)。泵包括形成相应泵送级的泵送室(32、34、36、38)的定子和用于支撑多个转子(44a、44b;46a、46b;48a、48b;50a、50b)以在相应泵送室中的旋转的至少一根轴(40、42)。定子包括在多个定子级的轴向范围上延伸从而界定所述至少一根轴并形成多个定子级的内部轮廓的一件式定子封壳(20)和位于定子级的任一轴向侧上以形成相应的泵送室的多个横向壁(22、24、26、28、30)。横向壁之一是在定子级之间的级间(26、28、30),并且定子封壳构造成界定级间以将所述级间从定子零件径向向内地定位。
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公开(公告)号:CN104246230B
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201380022974.3
申请日:2013-04-24
申请人: 爱德华兹有限公司
发明人: J.R.塔特萨尔
CPC分类号: F04B49/02 , F04B23/04 , F04B49/20 , F04B2201/0801 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/06 , F04C2220/30 , F04C2270/701 , F04D19/046 , F04D27/0261 , F04D27/0292 , F05D2260/85
摘要: 一种用于预热真空泵装置的方法,该真空泵装置具有增压泵和在该增压泵下游的前级泵,用于抽空处理室,所述方法包括:将增压泵设定在第一速度处,该第一速度高于增压泵在其处于空转模式时的空转速度;以及至少在从真空泵装置从空转模式被起动时到增压泵达到等于或超过第一预定阈值的温度时的时间段内,将增压泵的出口处的前级压力控制在从0.1毫巴到10毫巴的范围内。还要求保护一种能够执行该方法的设备。
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公开(公告)号:CN104813025B
公开(公告)日:2018-03-30
申请号:CN201380062498.8
申请日:2013-10-28
申请人: 爱德华兹有限公司
发明人: N.特纳 , J.R.塔特萨尔 , A.E.K.霍尔布鲁克 , M.R.维克斯
CPC分类号: F04B11/0091 , F04B37/14 , F04B39/0055 , F04B41/06 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C28/28 , F04C29/124
摘要: 在真空系统突然过载的情况下,存在遭受机械损坏的风险,例如,轴承损坏、齿轮滑移或转子和/或定子碰撞。突然的过载还能够导致电气损坏,例如,过电流或功率波动。因此,提供一种用于真空泵送系统的压力调节设备,其具有入口、出口以及插在入口和出口之间并且与入口和出口处于流体连通的管道,其中管道的截面积大于满足入口和出口的导通性要求所需的截面积。
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公开(公告)号:CN104285064B
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201380025957.5
申请日:2013-04-23
申请人: 爱德华兹有限公司
CPC分类号: F04C25/02 , F04C23/005 , F04C28/02 , F04C28/28 , F04C2220/30 , F04D19/046 , F04D27/00 , F04D27/005 , F05C2251/04 , Y10T137/0324 , Y10T137/86083
摘要: 一种用于调整真空泵布置的操作参数的方法,包括确定流过真空泵布置的气体的特性;以及基于第一气体的确定的特性来设定真空泵布置的操作参数。控制器可构造成执行根据气体的特性来调整真空泵布置的操作参数的方法。
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公开(公告)号:CN104813025A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201380062498.8
申请日:2013-10-28
申请人: 爱德华兹有限公司
发明人: N.特纳 , J.R.塔特萨尔 , A.E.K.霍尔布鲁克 , M.R.维克斯
CPC分类号: F04B11/0091 , F04B37/14 , F04B39/0055 , F04B41/06 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C28/28 , F04C29/124
摘要: 在真空系统突然过载的情况下,存在遭受机械损坏的风险,例如,轴承损坏、齿轮滑移或转子和/或定子碰撞。突然的过载还能够导致电气损坏,例如,过电流或功率波动。因此,提供一种用于真空泵送系统的压力调节设备,其具有入口、出口以及插在入口和出口之间并且与入口和出口处于流体连通的管道,其中管道的截面积大于满足入口和出口的导通性要求所需的截面积。
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公开(公告)号:CN104285064A
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201380025957.5
申请日:2013-04-23
申请人: 爱德华兹有限公司
CPC分类号: F04C25/02 , F04C23/005 , F04C28/02 , F04C28/28 , F04C2220/30 , F04D19/046 , F04D27/00 , F04D27/005 , F05C2251/04 , Y10T137/0324 , Y10T137/86083
摘要: 一种用于调整真空泵布置的操作参数的方法,包括确定流过真空泵布置的气体的特性;以及基于第一气体的确定的特性来设定真空泵布置的操作参数。控制器可构造成执行根据气体的特性来调整真空泵布置的操作参数的方法。
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公开(公告)号:CN104246230A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380022974.3
申请日:2013-04-24
申请人: 爱德华兹有限公司
发明人: J.R.塔特萨尔
CPC分类号: F04B49/02 , F04B23/04 , F04B49/20 , F04B2201/0801 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/06 , F04C2220/30 , F04C2270/701 , F04D19/046 , F04D27/0261 , F04D27/0292 , F05D2260/85
摘要: 一种用于预热真空泵装置的方法,该真空泵装置具有增压泵和在该增压泵下游的前级泵,用于抽空处理室,所述方法包括:将增压泵设定在第一速度处,该第一速度高于增压泵在其处于空转模式时的空转速度;以及至少在从真空泵装置从空转模式被起动时到增压泵达到等于或超过第一预定阈值的温度时的时间段内,将增压泵的出口处的前级压力控制在从0.1毫巴到10毫巴的范围内。还要求保护一种能够执行该方法的设备。
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