公开(公告)号：CN105009270A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201480009585.1

申请日：2014-02-17

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 原史朗 ,  前川仁 ,  中野禅

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67778 ,  H01L21/67155 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67745

Abstract: 一种易于使前室在对处理基板实施的处理的种类不同的多个制造装置之间通用的制造系统。根据本发明的制造系统，能够使该制造装置的开发成本、制造成本廉价化。对小型制造装置的处理室和前室个别地设置控制部。当处理室控制部输出了搬入请求信号时，前室控制部将处理基板搬入到处理室，并输出搬入通知信号。处理室控制部当被输入搬入通知信号时进行处理基板的处理，在处理结束后输出搬出请求信号。前室控制部当被输入搬出请求信号时开始搬出处理基板，当从处理室搬出了该处理基板时，输出搬出通知信号。处理室当被输入搬出通知信号时开始下一次处理的准备。

公开(公告)号：CN105009270B

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201480009585.1

申请日：2014-02-17

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 原史朗 ,  前川仁 ,  中野禅

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67778 ,  H01L21/67155 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67739 ,  H01L21/67745

Abstract: 一种易于使前室在对处理基板实施的处理的种类不同的多个制造装置之间通用的制造系统。根据本发明的制造系统，能够使该制造装置的开发成本、制造成本廉价化。对小型制造装置的处理室和前室个别地设置控制部。当处理室控制部输出了搬入请求信号时，前室控制部将处理基板搬入到处理室，并输出搬入通知信号。处理室控制部当被输入搬入通知信号时进行处理基板的处理，在处理结束后输出搬出请求信号。前室控制部当被输入搬出请求信号时开始搬出处理基板，当从处理室搬出了该处理基板时，输出搬出通知信号。处理室当被输入搬出通知信号时开始下一次处理的准备。