公开(公告)号：CN104011491A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201280059406.6

申请日：2012-11-30

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 池田伸一 ,  原史朗 ,  三原孝则 ,  羽深等 ,  坤邦·索玛万

IPC: F27D11/02

CPC classification number: C23C16/482 ,  C30B13/24 ,  F27B17/0025 ,  F27D2099/0026 ,  H01L21/67115 ,  Y10T117/108

Abstract: 本发明提供一种用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉，是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物，用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉，其特征在于，反射镜装置由一次反射镜及二次反射镜构成，使从光源放射的光依次被一次反射镜及二次反射镜反射而照射于被加热物，由该二次反射镜反射而照射于被加热物表面的光并未相对于该被加热物表面垂直地进行照射。由此，在通过聚光的红外线进行加热的装置中，即便是使用旋转椭圆面的装置也能保持加热性能并进行小型化。

公开(公告)号：CN104011491B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280059406.6

申请日：2012-11-30

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 池田伸一 ,  原史朗 ,  三原孝则 ,  羽深等 ,  坤邦·索玛万

IPC: F27D11/02

CPC classification number: C23C16/482 ,  C30B13/24 ,  F27B17/0025 ,  F27D2099/0026 ,  H01L21/67115 ,  Y10T117/108

Abstract: 本发明提供一种用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉，是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物，用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉，其特征在于，反射镜装置由一次反射镜及二次反射镜构成，使从光源放射的光依次被一次反射镜及二次反射镜反射而照射于被加热物，由该二次反射镜反射而照射于被加热物表面的光并未相对于该被加热物表面垂直地进行照射。由此，在通过聚光的红外线进行加热的装置中，即便是使用旋转椭圆面的装置也能保持加热性能并进行小型化。