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公开(公告)号：CN117259999A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311410417.0
申请日：2023-10-27
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/70 , B23K37/04 , B23K101/40
摘要： 本发明涉及打标机领域，公开了一种晶圆打标装置，能够适应不同尺寸的晶圆，便于安装。本发明包括机架；上料机构，设于机架，上料机构包括机械手和原料仓，原料仓用于放置产品，机械手用于运输产品；校准机构，设于机架，校准机构用于校准产品的方向；装夹机构，包括底板、模具、驱动组件、压盘、多个活动块，底板设有第一凹槽，模具设于底板，模具能够插入第一凹槽，模具的中部设有通孔，驱动组件包括第一动力件和升降支架，第一动力件设于底板，第一动力件用于驱动升降支架上下移动，升降支架设有多个第二凹槽，压盘用于压接产品，多个活动块滑动设于压盘，活动块能够靠近或者远离第二凹槽，使压盘固定所述升降支架或者与升降支架分离。
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公开(公告)号：CN116839728A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310815095.1
申请日：2023-07-05
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
摘要： 本发明涉及光斑分析系统，其包括壳体和分析组件，壳体设置有开口，设置于壳体内，用于光斑分析，分析组件包括准直透镜和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜，以及用于测量反射光束的测量相机和用于吸收透射光束的尾光吸收器，准直透镜设置于开口处，楔形棱镜设置于准直透镜和测量相机之间，其中一个分析组件设置有聚焦透镜，聚焦透镜设置于楔形棱镜和测量相机之间。本发明可应用于不同波长的大功率激光测量分析，同时实现成本的降低。
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公开(公告)号：CN116000445A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310157718.0
申请日：2023-02-23
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/064
摘要： 本发明涉及激光加工设备技术领域，公开了一种激光加工装置，能够对光束直径进行调整。本发明包括激光模块、振镜调节模块、激光聚焦模块、加工平面、控制模块、扩束模块和光斑调节器；扩束模块设于激光模块的对应激光光路上；光斑调节器设于对应扩束模块的输出光路上；振镜调节模块具有至少一个入射光路以及至少一个与对应入射光路匹配的出射光路，入射光路向对应的光斑调节器的所在方向延伸；激光聚焦模块设于出射光路上。本发明利用扩束模块，能改变对应激光的光束直径和发散角，再配合光斑调节器，能在发散角不变的情况下，对光束直径进行调节，避免因直接调节扩束模块而带来的焦点变化及导致振镜调节模块校准精度丢失的问题，提升了加工效率。
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公开(公告)号：CN118342139A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410456799.9
申请日：2024-04-16
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/70 , B23K26/142
摘要： 本发明涉及激光技术领域，公开了一种激光钻机，能够定位精确、加工稳定，防止激光加工时氧化并能在激光加工时进行清理灰尘。本发明包括基座，设有加工位，加工位用于放置工件；机罩，设于基座，基座设于机罩内；第一调节机构，包括第一转移组件和第二转移组件，第一转移组件用于驱动基座沿X方向移动，第二转移组件用于驱动第一转移组件沿Y方向移动；激光机构，设于基座，用于激光加工工件；定位机构，设于激光机构，定位机构用于定位工件，定位机构和第一调节机构电连接，定位机构用于确定工件的定位孔位置；送气机构，设于激光机构，送气机构能够朝加工位喷出气体；抽尘机构，设于激光机构，抽尘机构能够抽离机罩内的粉尘或者气体。
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公开(公告)号：CN116406095B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202310484630.X
申请日：2023-04-28
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
摘要： 本发明涉及金属线路加工及其加工方法，包括基座和画线单元，基座设置有用于移动加工件的位移单元，画线单元包括均可一次画线多条栅线的第一画线组件和第二画线组件，第一画线组件和第二画线组件均可移动地设置于基座；第一画线组件和第二画线组件均设置有用于在加工件上涂布栅线的多个喷涂针管，第一画线组件涂布的栅线垂直于第二画线组件涂布的栅线。其方法包括：对加工件进行多条栅线一次画线涂布，以及实现检测成像，采用紫外灯直接固化方式，以及在线栅线边缘修复。本发明可降低银浆浪费比例，降低制造成本。
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公开(公告)号：CN117369148A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311362382.8
申请日：2023-10-20
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
IPC分类号： G02B27/09 , B23K26/046 , B23K26/064 , B23K26/073 , H01S3/067 , H01S3/0941 , H01S3/094 , H01S5/40
摘要： 本发明涉及激光加工技术领域，公开了一种激光发射器和激光光束均匀性提高方法，能够提高激光光束的均匀性。本发明多二极管激光发生器；第一光纤，第一光纤为多芯光纤；进光片，设有多个第一透光口，第一透光口用于透过激光光束；光束导向器，用于传送激光；出光片，设有一个第二透光口，第二透光口用于透过激光光束；第二光纤，第二光纤为单芯光纤；第一聚焦镜；激光发生器、第一光纤、进光片、光束导向器、出光片、第二光纤、第一聚焦镜依次连接。
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公开(公告)号：CN114056856A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111267651.3
申请日：2021-10-29
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
摘要： 本发明公开了液晶面板加工领域的一种用于液晶面板加工用的扫描镜头，包括底板，底板上端前后左右位置固定连接有支撑柱且位于左右两侧支撑柱中部位置固定连接有支撑架；前后左右支撑柱之间设有传送带，传送带内部左右两侧的转轴与支撑柱转动连接；支撑架前端固定连接有电机且支撑架内部前后两端对称转动连接有不完全齿轮，前后两侧不完全齿轮互相固定连接且与电机输出轴固定连接；支撑架底端设有扫描镜头且支撑架内部设有用于调节扫描镜头移动的调节机构；该装置通过一个电机即可完成传送液晶面板以及带动扫描镜头移动扫描，同时在扫描镜头扫描时可以使得液晶面板保持静止，有效的节省能源同时提升了扫描镜头扫描的准确度。
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公开(公告)号：CN118060704A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410226200.2
申请日：2024-02-29
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
摘要： 本发明涉及激光加工技术领域，公开了一种激光加工方法及装置，能够提升激光剥离的加工安全性和加工精度。本发明包括控制模块、人体特征信号识别模块、控制开关模块、载物台、激光模块、光束整形模块以及聚焦模块；控制模块可以用于执行如本发明的激光加工方法或激光加工控制方法。本发明可以确定待加工件匹配的激光参数以及加工时的移动路径，从而能够实现根据不同待加工件以输出相应参数的激光，并完成定向加工；此外，由于同步识别了加工人员的第一人体特征信号，并同步与预留信息进行匹配，可以判断当前员工是否有相应的加工权限，可以限制无关人员启动激光加工装置，提升了安全性和可靠性，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN117891068A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410222996.4
申请日：2024-02-28
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
IPC分类号： G02B27/00 , G02B26/10 , B23K26/082
摘要： 本发明涉及激光加工领域，公开了振镜的校正方法及装置，其中方法包括确定场镜的扫描区域、第一校正区域和中心点；以中心点为基准点，以场镜的扫描区域的最外沿为边界，对场镜的扫描区域进行分区，得到多个辅助正方形和第二校正区域；以多个辅助正方形为基准，对辅助正方形进行分割，得到新的辅助正方形和新的校正区域；基于预设的精度阈值，迭代执行分割，迭代得到新的校正区域。本方案设计了一种分区域多次校正，然后再进行拟合的校正方法，可以有效的增加校正范围，使校正区域充满整个场镜圆区域，有效的避免了区域浪费。
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公开(公告)号：CN116406095A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310484630.X
申请日：2023-04-28
申请人： 珠海东辉半导体装备有限公司
摘要： 本发明涉及金属线路加工及其加工方法，包括基座和画线单元，基座设置有用于移动加工件的位移单元，画线单元包括均可一次画线多条栅线的第一画线组件和第二画线组件，第一画线组件和第二画线组件均可移动地设置于基座；第一画线组件和第二画线组件均设置有用于在加工件上涂布栅线的多个喷涂针管，第一画线组件涂布的栅线垂直于第二画线组件涂布的栅线。其方法包括：对加工件进行多条栅线一次画线涂布，以及实现检测成像，采用紫外灯直接固化方式，以及在线栅线边缘修复。本发明可降低银浆浪费比例，降低制造成本。
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